技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種DFB激光器外延片，包括襯底，所述襯底的正面上依次沉積有緩沖層、限制層、下波導(dǎo)層、量子阱、上波導(dǎo)層、上限制層、緩沖層、腐蝕阻擋層、包層和蝕刻的光柵制作層，光柵制作層上依次生長(zhǎng)有二次外延層、勢(shì)壘漸變層和歐姆接觸層，所述襯底的背面設(shè)有保護(hù)層。通過在磷化銦襯底背面預(yù)先制作一層保護(hù)層，使外延生長(zhǎng)的DFB激光器一次外延片質(zhì)量好，均勻性和一致性好可穩(wěn)定DFB激光器外延片生產(chǎn)，提高DFB激光器生產(chǎn)良率。

技術(shù)研發(fā)人員：單智發(fā)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州全磊光電有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.30
技術(shù)公布日：2017.08.18