技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種脊波導(dǎo)激光器電極接觸窗口的制作方法，用以降低脊波導(dǎo)激光器電極接觸窗口制作成本，該方法包括：對(duì)晶元上沉積的波導(dǎo)層進(jìn)行刻蝕，形成脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu)以及脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu)兩側(cè)的結(jié)構(gòu)；在脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu)和脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu)兩側(cè)的結(jié)構(gòu)表面沉積電介質(zhì)層；在電介質(zhì)層的表面涂覆光刻膠；利用掩膜板對(duì)光刻膠進(jìn)行光刻，將電介質(zhì)層表面上覆蓋脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的光刻膠去除；對(duì)電介質(zhì)層表面未去除的光刻膠進(jìn)行熱處理，令未去除的光刻膠在發(fā)生形變；以光刻膠為掩膜對(duì)電介質(zhì)層進(jìn)行刻蝕，將覆蓋在脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu)表面的電介質(zhì)去除，形成電極接觸窗口，使得利用低精度的光刻設(shè)備便能完成脊波導(dǎo)激光器電極接觸窗口的制作，降低了成本。

技術(shù)研發(fā)人員：方瑞禹;郝潤(rùn)豹;丁凱文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.05
技術(shù)公布日：2017.10.17