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鈣鈦礦薄膜及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12888981閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種鈣鈦礦薄膜的制備方法,其包括如下步驟:將前驅(qū)體溶液噴涂在基板上,形成液膜;所述前驅(qū)體溶液包括溶劑、以及溶解在所述溶劑中的鈣鈦礦材料;加熱所述基板以使所述液膜形成半干膜;將反溶劑噴涂在所述半干膜上以使所述半干膜晶化。上述鈣鈦礦薄膜的制備方法,采用噴涂的方式,薄膜的面積取決于噴涂時(shí)噴頭的行程范圍,故而可以制備出大面積的鈣鈦礦薄膜。另外,由于采用噴涂的方式,還可以避免因旋涂所帶來(lái)的邊緣波浪形起伏的問題。本發(fā)明還提供了一種鈣鈦礦薄膜。

技術(shù)研發(fā)人員:田清勇;范斌
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蘇州協(xié)鑫納米科技有限公司;蘇州協(xié)鑫能源技術(shù)發(fā)展有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.07.10
技術(shù)公布日:2017.11.07
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