本發(fā)明涉及硅片刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種噴涂式刻蝕槽。

背景技術(shù)：

太陽能電池片的制造過程需要經(jīng)過很多個步驟，其中對硅片的刻蝕工藝也是必不可少的一部分，硅片在刻蝕過程中，需要使用刻蝕液對硅片除了擴散面以外的所有面進行刻蝕。

現(xiàn)有技術(shù)中，常用的刻蝕槽均采用粘液滾輪，來對硅片進行刻蝕，通過粘液滾輪將刻蝕液粘在滾輪上，然后滾輪將刻蝕液傳遞到硅片上完成刻蝕，但是這種方式存在一個較為明顯的缺陷：采用粘液滾輪的方式對硅片進行刻蝕時，使得硅片的側(cè)壁無法很好的進行刻蝕，從而導(dǎo)致了硅片在刻蝕過程中，無法很好的將除了擴散面以外的其余面均刻蝕到，也就容易造成硅片刻蝕質(zhì)量下降的情況。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種噴涂式刻蝕槽，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種噴涂式刻蝕槽，包括刻蝕槽、水泵以及噴嘴，所述刻蝕槽的內(nèi)側(cè)壁上對稱設(shè)置有固定板，所述固定板中開設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)活動設(shè)置有滑塊，所述滑塊中開設(shè)有安裝槽，所述安裝槽內(nèi)側(cè)壁上固定有定軸，所述定軸上活動連接有安裝柱；

所述噴嘴固定于安裝柱上，且噴嘴通過管道與水泵連通，所述刻蝕槽側(cè)壁上固定有固定環(huán)，所述安裝柱上固定有移動環(huán)，所述固定環(huán)與移動環(huán)通過連接線相連；

所述刻蝕槽安裝有固定板的內(nèi)側(cè)壁上水平設(shè)置有滾輪。

優(yōu)選的，每個所述噴嘴對應(yīng)連接于一個水泵上。

優(yōu)選的，所述水泵設(shè)置于支撐板上，所述支撐板固定于刻蝕槽外側(cè)壁上。

優(yōu)選的，所述滾輪上固定套設(shè)有限位輪。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明的噴嘴通過水泵的作用，可以噴涂出刻蝕液對硅片的側(cè)壁進行刻蝕，滑槽和滑塊的作用，可以用來調(diào)節(jié)噴嘴的水平位置，以針對不同長度的硅片進行刻蝕；而且安裝噴嘴的固定柱與定軸轉(zhuǎn)動連接，可以通過調(diào)節(jié)連接線的長度，來調(diào)整噴嘴向下噴涂刻蝕液的角度，以針對不同厚度的硅片進行刻蝕，從而使得噴嘴可以很好的將刻蝕液噴涂到硅片的側(cè)壁上，而且可以防止刻蝕液噴涂到擴散面上對硅片造成損壞。

本發(fā)明通過噴嘴和水泵的配合，可以很好的完成刻蝕液對硅片側(cè)壁的噴涂，而且通過對噴嘴的水平位置以及噴液角度的調(diào)節(jié)，可以針對不同尺寸的硅片進行噴涂，非常方便，使得硅片在擴散面背面刻蝕的過程中，完成對硅片側(cè)壁的刻蝕，在節(jié)約了大量時間的同時，還可以提高硅片刻蝕質(zhì)量，十分有效。

附圖說明

圖1為本發(fā)明刻蝕槽的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的固定板結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明的滑塊結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為實施例中噴嘴對硅片的噴涂角度示意圖。

圖中：1刻蝕槽、2水泵、21支撐板、3固定板、4滑槽、5滑塊、6安裝槽、7定軸、8安裝柱、9噴嘴、10固定環(huán)、11移動環(huán)、12連接線、13滾輪、14硅片、15限位輪。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

請參閱圖1-4，本發(fā)明提供一種技術(shù)方案：

一種噴涂式刻蝕槽，包括刻蝕槽1、水泵2以及噴嘴9，刻蝕槽1內(nèi)裝有刻蝕液，刻蝕槽1的內(nèi)側(cè)壁上對稱設(shè)置有固定板3，固定板3作為安裝基座，會接觸到刻蝕液，所以需要在固定板3上設(shè)置有防酸液腐蝕層。

固定板3中開設(shè)有滑槽4，滑槽4內(nèi)活動設(shè)置有滑塊5，滑塊5可以在滑槽4內(nèi)自由移動，滑槽4的滑道對滑塊5進行限位，可以防止滑塊5從滑槽4內(nèi)掉出，滑塊5中開設(shè)有安裝槽6，安裝槽6內(nèi)側(cè)壁上固定有定軸7，定軸7的兩端固定插接在安裝槽6的側(cè)壁上，定軸7本身不會轉(zhuǎn)動，移動在定軸7上活動連接有安裝柱8，安裝柱8與定軸7之間采用鉸接的方式，使得安裝柱8可以繞著定軸7轉(zhuǎn)動，實現(xiàn)對安裝柱8的轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)，通過滑塊5的移動，從而帶動定軸7進行移動，也就實現(xiàn)了安裝柱8的左右移動，即帶動噴嘴9左右移動。

噴嘴9固定于安裝柱8上，噴嘴9安裝在安裝柱8遠離定軸7的一端，如說明書附圖4所示，噴嘴9安裝后的噴液方向朝向硅片14，且噴嘴9通過管道與水泵2連通，使得水泵2向噴嘴9輸送刻蝕液，且每個噴嘴9對應(yīng)連接于一個水泵2上，水泵2從tank槽內(nèi)進行抽液，采用單一水泵2對應(yīng)只對一個噴嘴9進行供液，使得噴嘴9之間相互不干擾。

作為一個優(yōu)選，使水泵2設(shè)置于支撐板21上，支撐板21固定于刻蝕槽7外側(cè)壁上，這樣方便水泵2的設(shè)置與固定，而且可以節(jié)約水泵2與噴嘴9之間的連接管道的長度，非常有效。

刻蝕槽1側(cè)壁上固定有固定環(huán)10，固定環(huán)10安裝在刻蝕槽1的側(cè)壁上表面，安裝柱8上固定有移動環(huán)11，移動環(huán)11安裝在固定柱8靠近固定環(huán)10的一側(cè)側(cè)壁上，固定環(huán)10與移動環(huán)11通過連接線12相連，連接線12的長度可調(diào)節(jié)，且連接線12對固定柱8起到一個拉持作用，如說明書附圖4所示，當需要對硅片14進行噴涂時，調(diào)節(jié)連接線12的長度，使得固定柱8繞著定軸7開始轉(zhuǎn)動，帶動著噴嘴9形成一個向下的噴液角度，也就使噴嘴9噴出的刻蝕液可以剛好噴涂到硅片14側(cè)壁的最上端，從而實現(xiàn)對硅片14側(cè)壁更好的噴涂效果。

刻蝕槽1安裝有固定板3的內(nèi)側(cè)壁上水平設(shè)置有滾輪13，滾輪13設(shè)置有多排，更加方便硅片14的運輸，滾輪13上固定套設(shè)有限位輪15，限位輪15之間的間隔距離用來放置硅片14，對硅片14進行調(diào)節(jié)限位，防止硅片14發(fā)生左右晃動，也就有效的防止了噴嘴9噴出的液體噴涂到硅片14的擴散面上。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種噴涂式刻蝕槽，包括刻蝕槽、水泵以及噴嘴，刻蝕槽的內(nèi)側(cè)壁上對稱設(shè)置有固定板，固定板中開設(shè)有滑槽，滑槽內(nèi)活動設(shè)置有滑塊，滑塊中開設(shè)有安裝槽，安裝槽內(nèi)側(cè)壁上固定有定軸，且噴嘴通過管道與水泵連通，刻蝕槽側(cè)壁上固定有固定環(huán)，所述安裝柱上固定有移動環(huán)，所述固定環(huán)與移動環(huán)通過連接線相連；所述刻蝕槽安裝有固定板的內(nèi)側(cè)壁上水平設(shè)置有滾輪。本發(fā)明通過噴嘴和水泵的配合，可以很好的完成刻蝕液對硅片側(cè)壁的噴涂，可以針對不同尺寸的硅片進行噴涂，非常方便，使得硅片在擴散面背面刻蝕的過程中，完成對硅片側(cè)壁的刻蝕，在節(jié)約了大量時間的同時，還可以提高硅片刻蝕質(zhì)量，十分有效。

技術(shù)研發(fā)人員：徐峰;陳剛;譚飛;徐光;葛新國
受保護的技術(shù)使用者：通威太陽能（安徽）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.14
技術(shù)公布日：2017.10.27