本實用新型涉及一種焊管卡套的裝置，具體地涉及一種石英焊管冷卻一體化的卡套裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體行業(yè)中，一些高純材料如碲化鎘、砷化鎵等的合成要求在真空條件下進(jìn)行，需對石英管進(jìn)行抽真空封焊。常用方法是將外徑略小于大口徑的石英管內(nèi)徑的石英管帽放在石英管口處采用氫氧焰進(jìn)行輔助封焊。焊接時高溫焊接區(qū)的溫度最高達(dá)1700℃以上，持續(xù)焊接時間約4min，而高溫焊接區(qū)距離冷卻卡套后端面僅約50mm，如果焊管卡套的冷卻效果不好，極易使卡套與石英管之間的兩個密封圈過熱受損，喪失密封作用。

如附圖1所示是一種現(xiàn)有焊管卡套裝置結(jié)構(gòu)示意圖，附圖2是圖1的左視圖。焊管卡套裝置的環(huán)形前端220與環(huán)形后端230為獨立連接的兩部分，與真空管接頭210連接的環(huán)形前端220設(shè)有冷卻腔體240，焊管時，冷卻腔體240內(nèi)部流通有循環(huán)冷卻介質(zhì)，因腔體空間太小，致使冷卻效果太弱，第一密封圈251和第二密封圈252過熱受損，喪失密封效果。常用的補(bǔ)救措施是在卡套裝置后端的石英管270上纏繞約2cm厚的濕水巾紙260，以阻隔氫氧焰的高溫輻射。但是，濕水巾紙260有時會因高溫氫氧焰熱輻射而失水，以致于被氫氧焰燒蝕，部分喪失隔熱作用，同時燃燒的紙灰對車間清潔帶來負(fù)擔(dān)，也會增加空氣凈化系統(tǒng)負(fù)荷。

因此，亟需提供一種新的焊管卡套裝置來解決冷卻問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決以上技術(shù)缺陷，本實用新型提供了一種焊管卡套裝置，具有良好的冷卻作用，以保護(hù)密封圈不受熱損傷。

為實現(xiàn)前述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案：一種焊管卡套裝置，用于固定、密封、冷卻真空封焊的石英管，所述焊管卡套裝置包括一真空管接頭、與真空管接頭固定連接的一環(huán)形前端、與石英管嵌入連接的一環(huán)形后端；

所述環(huán)形前端與環(huán)形后端為一體成型，其內(nèi)部為用于流通冷卻介質(zhì)的一冷卻空腔；

所述環(huán)形前端或環(huán)形后端設(shè)有至少一冷卻介質(zhì)輸入口和至少一冷卻介質(zhì)輸出口；

所述環(huán)形前端與石英管管口的連接處設(shè)有一密封凹槽。

作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述密封凹槽的內(nèi)邊緣為弧形。

作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述密封凹槽內(nèi)墊設(shè)一U型剖面的密封圈。

作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述冷卻介質(zhì)輸入口設(shè)置在所述環(huán)形后端上。

作為本實用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述環(huán)形前端的外環(huán)直徑小于所述環(huán)形后端外環(huán)直徑。

本實用新型提供的焊接卡套裝置，卡套的環(huán)形前端與環(huán)形后端一體成型，其內(nèi)部為用于流通冷卻介質(zhì)的腔體，特別是增加了環(huán)形后端的腔體，使卡套裝置的冷卻空間最大化，增強(qiáng)冷卻效果，降低密封圈的損傷風(fēng)險，同時本實用新型，設(shè)計的密封凹槽配合使用一個U型剖面的密封圈，可代替現(xiàn)有裝置中使用的兩個密封圈，在石英管壓力作用下，密封圈可緊密貼合在凹槽的弧形內(nèi)邊緣上，增強(qiáng)密封效果。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有焊管卡套裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為現(xiàn)有焊管卡套裝置的左視圖。

圖3為焊管卡套裝置整體示意圖。

圖4為焊管卡套裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為焊管卡套裝置的左視圖。

圖6為圖5中焊管卡套裝置的B-B剖面視圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例對技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。

請參閱圖3至圖6所示，本實用新型的焊管卡套裝置，包括一真空管接頭1、與真空管接頭1固定連接的一環(huán)形前端2、與石英管9嵌入連接的一環(huán)形后端3，環(huán)形前端2與環(huán)形后端3一體成型，其內(nèi)部為用于流通冷卻介質(zhì)的一冷卻空腔6；環(huán)形前端2或環(huán)形后端3設(shè)有至少一冷卻介質(zhì)輸入口4和至少一冷卻介質(zhì)輸出口5；環(huán)形后端3與石英管9管口的連接處設(shè)有一密封凹槽72。

本實用新型，環(huán)形前端2與環(huán)形后端3一體成型，其內(nèi)部為一冷卻空腔6，用于循環(huán)流通冷卻循環(huán)介質(zhì)，冷卻空腔6空間體積越大，冷卻效果越好。焊管時，旋轉(zhuǎn)卡套，使卡套上的冷卻介質(zhì)輸出口5在上方，卡套的環(huán)形后端3靠近氫氧焰體，相對于環(huán)形前端2的溫度高，將至少一個冷卻介質(zhì)輸入口4設(shè)置在卡套的環(huán)形后端3上，使冷卻介質(zhì)先經(jīng)過溫度高的區(qū)域，再通過溫度低的區(qū)域，從冷卻介質(zhì)輸出口5中流出，帶走絕大部分熱量，以降低密封凹槽72的溫度。本實施例，焊管卡套裝置設(shè)有一個冷卻介質(zhì)輸入口4和一個冷卻介質(zhì)輸出口5，冷卻介質(zhì)輸入口4設(shè)置在環(huán)形后端3上。

固定連接石英管9時，石英管9從環(huán)形后端3的內(nèi)環(huán)孔中嵌入，嵌入的石英管9外壁與環(huán)形后端3的內(nèi)環(huán)孔壁之間留有2~3mm的間隙，石英管9的管口與環(huán)形前端2的后側(cè)相連接，連接處設(shè)有密封凹槽72，密封凹槽72的內(nèi)邊緣721為弧形，配合使用一U型剖面的密封圈71，密封圈71受到石英管9的管壁擠壓時，其兩側(cè)向外擴(kuò)張，能更好的與密封凹槽72的內(nèi)邊緣721貼合確保石英管9的管口處密封。石英管9在靠近環(huán)形后端3處設(shè)有一卡簧擋圈8，以防止焊管時氫氧焰焰體經(jīng)過上述間隙，使密封圈部分過熱受損。

環(huán)形前端2的外環(huán)直徑小于與環(huán)形后端3的外環(huán)直徑，可使環(huán)形后端3有效發(fā)揮冷卻和阻擋熱輻射的作用，減少熱輻射對密封凹槽72以及與冷卻介質(zhì)輸入口4、冷卻介質(zhì)輸出口5配合使用的塑膠管道的影響。

本實用新型提出的焊管卡套裝置，其環(huán)形前端2與環(huán)形后端3一體成型，增大了內(nèi)部冷卻空腔6的空間體積，從而有效增強(qiáng)了卡套的冷卻效果，保護(hù)密封圈71不因過熱而受損。另外，本實用新型的設(shè)計的密封凹槽72，只需配合使用一個U型剖面的密封圈71，即可達(dá)到現(xiàn)有裝置中兩個密封圈的密封效果，簡化了安裝程序。本實用新型的改進(jìn)，省去了使用焊管卡套裝置時在石英管上纏繞濕水巾紙的步驟，節(jié)約成本，增強(qiáng)了冷卻效果和密封效果，從而提高了焊管效率。

盡管為示例目的，已經(jīng)公開了本實用新型的優(yōu)選實施方式，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將意識到，在不脫離由所附的權(quán)利要求書公開的本實用新型的范圍和精神的情況下，各種改進(jìn)、增加以及取代是可能的。