本實(shí)用新型涉及硅片腐蝕設(shè)備領(lǐng)域，特別是一種方便安裝，高效腐蝕，減少損傷的對應(yīng)硅片精密對準(zhǔn)倒片裝置的腐蝕籠。

背景技術(shù)：

在大部分4～6寸半導(dǎo)體襯底制造廠的腐蝕加工，往往使用人員手動(dòng)吸取硅片進(jìn)行插片取片作業(yè)。這樣存在作業(yè)時(shí)間相對較長并且在手動(dòng)作業(yè)時(shí)引起硅片有擦碰不良。

硅片腐蝕一般需要經(jīng)過倒片，轉(zhuǎn)動(dòng)腐蝕，取片的過程，一次腐蝕的數(shù)量越多，效率越高?，F(xiàn)有的腐蝕籠倒片數(shù)量較少，不能有效提高產(chǎn)能。倒片和取片的夾持方式需進(jìn)一步改進(jìn)，減少硅片在夾放過程中的損傷。

現(xiàn)有技術(shù)中需要一種方便安裝，高效腐蝕，減少損傷的對應(yīng)硅片精密對準(zhǔn)倒片裝置的腐蝕籠。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種方便安裝，高效腐蝕，減少損傷的對應(yīng)硅片精密對準(zhǔn)倒片裝置的腐蝕籠。

對應(yīng)硅片精密對準(zhǔn)倒片裝置的腐蝕籠，包括：

腐蝕籠本體，所述腐蝕籠本體的中心處設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸，兩端設(shè)有固定活動(dòng)花桿，固定花桿和配合花桿的擋板；

所述活動(dòng)花桿在擋板處設(shè)有活動(dòng)槽，所述活動(dòng)槽為圓弧狀，軸心為腐蝕籠本體的回轉(zhuǎn)中心；

所述活動(dòng)花桿和固定花桿分別設(shè)有對應(yīng)的卡槽。

所述活動(dòng)花桿和固定花桿分別設(shè)為四段，每段設(shè)有25個(gè)卡槽。

所述配合花桿共有四根。

所述配合花桿中的三根靠近固定花桿，另外一根靠近活動(dòng)花桿。

所述靠近固定花桿的三根配合花桿均勻分布。

所述活動(dòng)花桿,固定花桿和配合花桿的軸心共圓，圓心為腐蝕籠本體的軸心。

本實(shí)用新型腐蝕籠本體的中心處設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸，兩端設(shè)有固定活動(dòng)花桿，固定花桿和配合花桿的擋板；活動(dòng)花桿在擋板處設(shè)有活動(dòng)槽，活動(dòng)槽為圓弧狀，軸心為腐蝕籠本體的回轉(zhuǎn)中心；活動(dòng)花桿和固定花桿分別設(shè)有對應(yīng)的卡槽?；顒?dòng)花桿和固定花桿配合固定硅片，活動(dòng)花桿設(shè)有活動(dòng)槽，方便硅片的夾持和取下，配合花桿的增加可為硅片在360°上都可以提供充足的轉(zhuǎn)向動(dòng)力。本實(shí)用新型方便安裝，高效腐蝕，減少損傷。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的主視圖；

圖2為A-A向的剖面圖；

圖3為B-B向的剖面圖；

圖中：1、腐蝕籠本體，2、活動(dòng)花桿，3、固定花桿，4、活動(dòng)槽，5、配合花桿。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。

實(shí)施例1：

對應(yīng)硅片精密對準(zhǔn)倒片裝置的腐蝕籠，包括：腐蝕籠本體1，腐蝕籠本體1的中心處設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸，兩端設(shè)有固定活動(dòng)花桿2，固定花桿3和配合花桿5的擋板；活動(dòng)花桿2在擋板處設(shè)有活動(dòng)槽4，活動(dòng)槽4為圓弧狀，軸心為腐蝕籠本體1的回轉(zhuǎn)中心；活動(dòng)花桿2和固定花桿3分別設(shè)有對應(yīng)的卡槽。

活動(dòng)花桿2和固定花桿3分別設(shè)為四段，每段設(shè)有25個(gè)卡槽。配合花桿5共有四根。配合花桿5中的三根靠近固定花桿3，另外一根靠近活動(dòng)花桿2?？拷潭ɑU3的三根配合花桿5均勻分布?；顒?dòng)花桿2,固定花桿3和配合花桿5的軸心共圓，圓心為腐蝕籠本體1的軸心

腐蝕籠的設(shè)計(jì)考量與片盒的對準(zhǔn)性：腐蝕籠的卡槽與半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)片盒卡槽向?qū)?zhǔn)，以為翻轉(zhuǎn)倒片(避免硅片面接觸帶來的表面污染)提供可行性。

活動(dòng)花桿和固定花桿配合固定硅片，活動(dòng)花桿設(shè)有活動(dòng)槽，方便硅片的夾持和取下，配合花桿的增加可為硅片在360°上都可以提供充足的轉(zhuǎn)向動(dòng)力，可以提升現(xiàn)有產(chǎn)能。

腐蝕籠的設(shè)計(jì)為4段，每段的設(shè)計(jì)正好可以與半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)片盒對準(zhǔn)，每段設(shè)有25個(gè)卡槽，一次夾取5片，安裝時(shí)調(diào)整活動(dòng)花桿2在活動(dòng)槽4中的位置，方便固定?？傞L度可以匹配腐蝕機(jī)械臂。腐蝕籠的滾軸位置設(shè)計(jì)為硅片在360°上都可以提供充足的轉(zhuǎn)向動(dòng)力。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。