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一種多工位掃描電鏡EBSD樣品臺(tái)的制作方法

文檔序號(hào):11406935閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種多工位掃描電鏡EBSD樣品臺(tái),其特征在于:它包括底座(1)和裝樣裝置,裝樣裝置包括多個(gè)放置樣品的平臺(tái)(2)和挖槽試樣臺(tái)(3),底座(1)為底面為正方形的長(zhǎng)方體,具有從其頂面一中心線沿20度面斜切形成的矩形面一(4)以及從頂面的該切口沿相對(duì)方向70度面斜切形成的矩形面二(5),在矩形面一(4)中間部位設(shè)置一個(gè)螺紋孔且與螺釘一(6)配合,在矩形面二(5)中間部位設(shè)置一個(gè)圓柱孔一(7),且矩形面一(4)上的螺紋孔與矩形面二(5)上的圓柱孔一(7)相通;平臺(tái)(2)為矩形薄板,在每一平臺(tái)(2)的矩形底面均焊接一個(gè)圓柱體二(11);挖槽試樣臺(tái)(3)為一長(zhǎng)方體,其上設(shè)置有能夠裝配平臺(tái)(2)的多個(gè)槽以及在槽內(nèi)設(shè)置有與圓柱體二(11)配合的圓柱孔二(8),在與挖槽試樣臺(tái)(3)開槽的面相鄰的底面上設(shè)置有多個(gè)螺紋孔且與螺釘二(9)配合,挖槽試樣臺(tái)(3)上的螺紋孔與其相應(yīng)位置的圓柱孔二(8)相通,在與挖槽試樣臺(tái)(3)開槽的面相對(duì)的面上焊接一個(gè)圓柱體一(10),該圓柱體一(10)與矩形面二(5)上的圓柱孔一(7)相配合,其中,挖槽試樣臺(tái)(3)上的槽、圓柱孔二(8)、螺紋孔、螺釘二(9)的個(gè)數(shù)均與平臺(tái)(2)的個(gè)數(shù)相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位掃描電鏡EBSD樣品臺(tái),其特征在于:包括4個(gè)平臺(tái)(2)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多工位掃描電鏡EBSD樣品臺(tái),其特征在于:底座(1)的側(cè)面正方形邊長(zhǎng)為7mm、高36mm,平臺(tái)(2)的長(zhǎng)為15mm、寬為15mm、高為1mm,平臺(tái)(2)的矩形底面焊接的圓柱體二(11)直徑為3mm、長(zhǎng)為10mm,挖槽試樣臺(tái)(3)上設(shè)置的槽長(zhǎng)為15mm、寬為15mm、高為1mm,挖槽試樣臺(tái)(3)上設(shè)置的圓柱孔二(8)直徑為3mm、孔深為4mm,挖槽試樣臺(tái)(3)上設(shè)置的螺紋孔直徑為3mm、孔深為6mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多工位掃描電鏡EBSD樣品臺(tái),其特征在于:將樣品裝至平臺(tái)(2)上時(shí),固定方式為導(dǎo)電膠。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多工位掃描電鏡EBSD樣品臺(tái),其特征在于:樣品臺(tái)選用鋁合金。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多工位掃描電鏡EBSD樣品臺(tái),其特征在于:樣品為AZ31鎂合金。

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