本實(shí)用新型涉及石墨加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種優(yōu)化的石墨部件。

背景技術(shù)：

近年來(lái)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體晶圓廠，國(guó)家出臺(tái)了4000億國(guó)家集成電路的產(chǎn)業(yè)大基金來(lái)支持國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)。離子注入機(jī)是目前半導(dǎo)體晶圓廠內(nèi)的最精密的關(guān)鍵設(shè)備，石墨類的耗材需求量很大，對(duì)石墨類的零部件不但要求高純度無(wú)污染，還要求同一套石墨保護(hù)組件能最大限度提升使用壽面，延長(zhǎng)機(jī)臺(tái)倆次保養(yǎng)的間隔時(shí)段，這樣石墨表面噴砂就有了應(yīng)用市場(chǎng)，現(xiàn)有的石墨零部件常規(guī)設(shè)計(jì)方式，更換周期較短，中央?yún)^(qū)域被沖擊損耗的很快，為此，我們提出一種優(yōu)化的石墨部件。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種優(yōu)化的石墨部件，可以有效解決背景技術(shù)中的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為：

一種優(yōu)化的石墨部件，包括石墨零件和替換零件，所述石墨零件表面中央設(shè)有替換零件，所述替換零件和石墨零件可拆卸連接，所述替換零件為噴砂處理的石墨件。

進(jìn)一步的，所述石墨零件采用高純石墨材料制成。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果：該實(shí)用新型的石墨零件表面中央可拆卸設(shè)有替換零件，且替換零件為噴砂處理的石墨件，增大石墨零部件的使用壽命，增強(qiáng)石墨對(duì)束流的抗沖擊，可以有效增長(zhǎng)石墨使用壽命，延長(zhǎng)石墨件保養(yǎng)時(shí)間。

【附圖說(shuō)明】

圖1為優(yōu)化前石墨部件損耗狀態(tài)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型優(yōu)化的石墨部件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、石墨零件；2、替換零件。

【具體實(shí)施方式】

為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施方式，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

如圖1-2所示，一種優(yōu)化的石墨部件，包括石墨零件1和替換零件2，所述石墨零件1表面中央設(shè)有替換零件2，所述替換零件2和石墨零件1可拆卸連接，所述替換零件2為噴砂處理的石墨件。

其中，所述石墨零件1采用高純石墨材料制成。

工作原理：該實(shí)用新型的石墨零件1表面中央可拆卸設(shè)有替換零件2，且替換零件2為噴砂處理的石墨件，增大石墨零部件的使用壽命，增強(qiáng)石墨對(duì)束流的抗沖擊，可以有效增長(zhǎng)石墨使用壽命，延長(zhǎng)石墨件保養(yǎng)時(shí)間。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界定。