本實用新型涉及半導體制造領域，特別涉及一種晶邊位置調整裝置。

背景技術：

在半導體制造過程中，對于晶圓的檢查非常普遍，也十分重要。通過對晶圓的檢查能夠及時發(fā)現(xiàn)半導體制造工藝中可能存在的問題，從而可以盡快加以解決，盡量防止半導體制造工藝中的缺漏對于產(chǎn)品的影響；此外，通過對晶圓的檢查也能夠防止缺陷產(chǎn)品流入市場，保證了產(chǎn)品質量。

在半導體制造過程中，針對晶圓的晶邊狀況(如：晶邊顏色異常、晶邊粗糙度異常、晶邊存在小洞或晶邊破損缺角等等)的檢查，通常是操作人員通過目測去檢查，如操作人員將每片晶圓的晶邊手動轉動360度來完成晶邊狀況的檢查。另外，在有些特殊半導體工藝中，晶圓在進入下一流程之前，還需要操作人員手動對位晶圓的特殊位置(如平邊)。

然而，目前行業(yè)內并無標準的輔助裝置去協(xié)助產(chǎn)線人員調整晶圓的晶邊位置，因此在半導體制造過程中，晶圓的晶邊檢查會給操作人員帶來很多的不便，不僅非常費時費力，而且存在容易造成承載盒或者晶圓滑落等風險，大大降低了工作效率和安全性。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種晶邊位置調整裝置，可以有效的協(xié)助操作人員調整晶圓的晶邊位置，有利于操作人員更加快速便捷的完成晶圓的晶邊檢查過程，提高工作效率，增加良好的可靠性和安全性。

為解決上述技術問題及相關問題，本實用新型提供的晶邊位置調整裝置，至少一片晶圓放置于一承載盒中，包括：

一支撐座，所述承載盒放置于所述支撐座上；

一轉動組件，所述轉動組件安裝在所述支撐座上，所述轉動組件帶動所述晶圓轉動。

可選的，所述轉動組件包括滾輪部件，所述滾輪部件安裝在所述支撐座上，且位于所述晶圓的下方。

進一步的，所述承載盒具有一下開口，所述滾輪部件位于所述下開口的正下方。

可選的，所述滾輪部件包括至少一個主滾輪，且每個所述主滾輪中均嵌入一個可旋轉的主螺桿。

可選的，所述滾輪部件還包括至少一個副滾輪，且每個所述副滾輪中均嵌入一個可旋轉的副螺桿。

可選的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述副滾輪轉軸與所述主滾輪的轉軸相互平行。

可選的，所述滾輪部件還包括至少一對滾珠軸承，所述滾珠軸承固定在所述支撐座上，且每個所述副螺桿的兩端均插入所述滾珠軸承中。

進一步的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述副滾輪的直徑小于所述主滾輪的直徑。

可選的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述副滾輪在所述支撐座上的安裝位置高于所述主滾輪在所述支撐座上的安裝位置。

進一步的，所述滾輪部件包括一個所述主滾輪和兩個所述副滾輪。

可選的，在所述晶邊位置調整裝置中，兩個所述副滾輪分別位于所述主滾輪的兩側。

可選的，在所述晶邊位置調整裝置中，一個所述主滾輪和兩個所述副滾輪貼合所述晶圓的晶邊。

可選的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述轉動組件還包括一轉動控制部件，所述轉動控制部件與所述滾輪部件相連且控制所述滾輪部件的轉動。

可選的，所述轉動控制部件包括一旋轉部件、一安裝于所述旋轉部件上的手柄、以及一分別連接所述主螺桿和所述旋轉部件的連接件。

可選的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述手柄通過一螺絲與所述旋轉部件相連。

可選的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述連接件為一銷或者一螺絲。所述晶邊位置調整裝置。

進一步的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述支撐座具有一凹槽，所述承載盒的下開口位于所述凹槽中，所述轉動組件安裝在所述凹槽內。

可選的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述主螺桿的兩端均穿過所述凹槽中相對立的兩個側面。

進一步的，在所述晶邊位置調整裝置中，所述副螺桿的兩端均穿過所述相對立的兩個側面。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有以下有益效果：

本實用新型通過提供一具有轉動組件的晶邊位置調整裝置，所述轉動組件可以帶動晶圓轉動。于是，在進行晶邊狀況檢查時，就不再需要操作人員通過手動去轉動每片晶圓，而是通過所述轉動組件帶動所有晶圓的轉動，操作人員可以一次性檢查完一承載盒中的所有晶圓的晶邊狀況，這樣可以大大提高操作人員的工作效率，并且，所述晶邊位置調整裝置操作簡易、安全，可以避免因人為因素而導致承載盒或者晶圓滑落的風險。

進一步的，所述晶邊位置調整裝置的轉動組件包括滾輪部件，所述滾輪部件包括一個主滾輪和兩個副滾輪，兩個所述副滾輪位于所述主滾輪的兩側，且所述副滾輪的轉軸與所述主滾輪的轉軸相互平行，三者都貼合所述晶圓的晶邊，即三者形成一個向下的圓弧面，模擬所述晶圓的晶邊弧形。因一個所述主滾輪和兩個所副滾輪組成的所述滾輪部件具有良好的旋轉能力，使得所述轉動組件帶動所述晶圓旋轉更加順暢，且有利于保護所述晶圓的晶邊；也能夠進一步提高操作人員的工作效率和降低風險。

附圖說明

圖1為放置有晶圓的承載盒的示意圖；

圖2為本實用新型實施例中所述晶邊位置調整裝置的立體結構圖；

圖3為本實用新型實施例中所述晶邊位置調整裝置的俯視圖；

圖4為本實用新型實施例中所述晶邊位置調整裝置的前視圖。

具體實施方式

下面將結合示意圖對本實用新型晶邊位置調整裝置進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

本實用新型的核心思想在于，本實用新型提供的晶邊位置調整裝置，至少一片晶圓放置于一承載盒中，包括：

一支撐座，所述承載盒放置于所述支撐座上；

一轉動組件，所述轉動組件安裝在所述支撐座上，所述轉動組件帶動所述晶圓轉動。

本實用新型通過提供一具有轉動組件的晶邊位置調整裝置，所述轉動組件可以帶動晶圓轉動。于是，在進行晶邊狀況檢查時，就不再需要操作人員通過手動去轉動每片晶圓，而是通過所述轉動組件帶動所有晶圓的轉動，操作人員可以一次性檢查完一承載盒中的所有晶圓的晶邊狀況，這樣可以大大提高操作人員的工作效率，并且，所述晶邊位置調整裝置操作簡易、安全，可以避免因人為因素而導致承載盒或者晶圓滑落的風險。

以下列舉所述晶邊位置調整裝置的實施例，以清楚說明本實用新型的內容，應當明確的是，本實用新型的內容并不限制于以下實施例，其他通過本領域普通技術人員的常規(guī)技術手段的改進亦在本實用新型的思想范圍之內。

請參閱圖1至圖4，其中，圖1為放置有晶圓的承載盒(Cassette)的示意圖，圖2為本實施例中提供的一種晶邊位置調整裝置的立體結構圖，圖3為本實施例中所述晶邊位置調整裝置的俯視圖，圖4為本實施例中所述晶邊位置調整裝置的前視圖，所述晶邊位置調整裝置用于調整晶圓的晶邊位置，以便于檢查晶邊狀況。如圖1所示，至少一片晶圓2放置于一承載盒1中，較佳的，所述承載盒1具有一下開口A(傳統(tǒng)的晶邊狀況檢查過程為：操作人員對放置于承載盒1中的每片晶圓2的晶邊手動轉動360度來完成此檢查，如圖1中箭頭所示)。所述晶邊位置調整裝置包括：一支撐座30，所述支撐座30用于承載所述承載盒1和晶圓2，因考慮到所述晶圓2和所述承載盒1具有一定的重量，所述支撐座30的材料應該選用耐壓的材料，如可以為耐壓的樹脂材料或金屬材料，所述支撐座30的具體結構可依據(jù)所述承載盒1的大小和形狀(即實際需求)來設計。較佳的，在本實施例中，所述支撐座30可以為一長方體形狀，為了進一步穩(wěn)固所述承載盒1，增加所述晶邊位置調整裝置的可靠性和安全性，在所述支撐座30的中間設計一凹槽B，檢查所述晶圓2的晶邊狀況時，將所述承載盒1的下開口A放置于所述凹槽B中。

進一步的，所述晶邊位置調整裝置還包括一轉動組件，所述轉動組件安裝在所述支撐座30上，所述轉動組件帶動所述晶圓2轉動；相應的，在本實施例中，所述轉動組件安裝于所述支撐座30的凹槽B中。所述轉動組件需要要具有良好的旋轉能力、能夠靈活控制和操作，于是，在本實施例中，優(yōu)選所述轉動組件包括一滾輪部件，為了更好的實現(xiàn)晶邊位置的調整，將所述滾輪部件設置于所述下開口A的正下方，所述滾輪部件包括至少一個主滾輪311，且每個所述主滾輪311中均嵌入一個可旋轉的主螺桿310，為了使該裝置更加牢固耐用，將所述主螺桿310的兩端分別穿過所述凹槽B中相對立的兩個側面(如所述凹槽B中的前后兩個面)。

較佳的，在本實施例中，為了使所述晶圓2轉動的更加平穩(wěn)和順暢，所述滾輪部件還包括至少一個副滾輪331，且每個所述副滾輪331中均嵌入一個可旋轉的副螺桿330。例如：所述滾輪部件包括一個所述主滾輪311和兩個所述副滾輪331，兩個所述副滾輪331分別位于所述主滾輪311的兩側，而且，為了使所述晶圓2的晶邊受力方向一致，所述副滾輪331的轉軸與所述主滾輪311的轉軸相互平行，且所述副滾輪331在所述凹槽B中的安裝位置要高于所述主滾輪311的安裝位置，且使三者都貼合所述晶圓2的晶邊，即三者形成一向下的圓弧面；進一步的，所述副滾輪331的直徑小于所述主滾輪311的直徑，有利于所述轉動組件更加流暢的轉動。而且，所述主滾輪311通過所述主螺桿310的轉動帶動其旋轉，所述副滾輪331通過所述副螺桿330的轉動帶動其旋轉；更進一步的，每個所述副螺桿330配置一對滾珠軸承332，所述滾珠軸承332固定在所述支撐座30上(具體的，所述滾珠軸承332固定在所述凹槽B的內側面上)，且每個所述副螺桿330的兩端均插入所述滾珠軸承332中，且所述副螺桿330的兩端也穿過所述凹槽B中的前后兩個面，所述滾珠軸承332可以帶動所述副螺桿330的轉動。

為了更加方便操作和控制所述轉動組件，在本實施例中，所述轉動組件還包括一轉動控制部件32，所述轉動控制部件32與所述滾輪部件相連且控制其轉動，較佳的，所述轉動控制部件32與所述主螺桿310的一端相連。

在本實施例中，所述轉動控制部件32是用于控制所述主螺桿310轉動的，為了便于操作，所述轉動控制部件32安裝于所述支撐座30的正面(即所述凹槽B的前面)，在本實施例中，所述轉動控制部件32包括一旋轉部件320、一安裝于所述旋轉部件320上的手柄321、以及一分別連接所述主螺桿310和所述旋轉部件320的連接件322。較佳的，所述手柄321選擇側翼安裝、采用內握的方式，能夠增加使用中良好的可靠性和安全性；所述手柄321即可以順時針旋轉，也可以逆時針旋轉，所述手柄321可以通過一內六角螺絲安裝在所述旋轉部件320上。所述旋轉部件320用于承受所述手柄321的旋轉力量以通過所述連接件322帶動所述主螺桿310旋轉。所述連接件322可以為銷或者內六角螺絲，將所述旋轉部件320和所述主螺桿310相連，所述連接件322起到連接和固定的作用。

這樣，通過轉動所述手柄321便可帶動所述主螺桿310的轉動，于是所述主滾輪311就會在所述主螺桿310的帶動下進行旋轉，以帶動晶圓2轉動；同時，所述滾珠軸承332可帶動所述副螺桿330轉動，從而帶動所述副滾輪331的轉動。因此，在本實施例中的所述晶邊位置調整裝置中，在所述主滾輪311和所述副滾輪331的共同作用下，所述承載盒1中所有的晶圓2會很穩(wěn)定的一起進行轉動，操作人員只需要控制所述手柄321，就能完成所有所述晶圓2的晶邊狀況的檢查，操作簡易方便，大大提高了操作人員的工作效率；并且也能夠避免承載盒或者晶圓的滑落風險，增加了操作的可靠性和安全性；此外，所述晶邊位置調整裝置也可以滿足調整所述晶圓2的特殊位置的需求。

綜上，本實用新型通過提供一具有轉動組件的晶邊位置調整裝置，所述轉動組件可以帶動晶圓轉動。于是，在進行晶邊狀況檢查時，就不再需要操作人員通過手動去轉動每片晶圓，而是通過所述轉動組件帶動所有晶圓的轉動，操作人員可以一次性檢查完一承載盒中的所有晶圓的晶邊狀況，這樣可以大大提高操作人員的工作效率，并且，所述晶邊位置調整裝置操作簡易、安全，可以避免因人為因素而導致承載盒或者晶圓滑落的風險。

進一步的，所述晶邊位置調整裝置的轉動組件包括滾輪部件，所述滾輪部件包括一個主滾輪和兩個副滾輪，兩個所述副滾輪位于所述主滾輪的兩側，且所述副滾輪的轉軸與所述主滾輪的轉軸相互平行，三者都貼合所述晶圓的晶邊，即三者形成一個向下的圓弧面，模擬所述晶圓的晶邊弧形。因一個所述主滾輪和兩個所副滾輪組成的所述滾輪部件具有良好的旋轉能力，使得所述轉動組件帶動所述晶圓旋轉更加順暢，且有利于保護所述晶圓的晶邊；也能夠進一步提高操作人員的工作效率和降低風險。

顯然，在上述實施例中僅為本實用新型的較佳實施例而已，在上述晶邊位置調整裝置的基礎上，還能夠得出多種類似的晶邊位置調整裝置，以實現(xiàn)協(xié)助操作人員快速便捷的進行晶邊位置的調整。因此，上述實施例并不用以限制本實用新型。本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。