本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種柔性顯示基板、柔性顯示裝置及載體基板。

背景技術(shù)：

有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode，簡稱：OLED)具有自發(fā)光的特性，當(dāng)有電流通過時，OLED就會發(fā)光。隨著顯示技術(shù)的快速進(jìn)步，作為顯示裝置核心的半導(dǎo)體元件技術(shù)也隨之得到了飛躍性的進(jìn)步。對于現(xiàn)有的顯示裝置而言，有機(jī)發(fā)光二極管作為一種電流型發(fā)光器件，因其所具有的自發(fā)光、快速響應(yīng)、寬視角和可制作在柔性襯底上等特點(diǎn)而越來越多地被應(yīng)用于高性能顯示領(lǐng)域當(dāng)中。

有機(jī)電致發(fā)光顯示面板(Organic Electro luminesecent Display)，憑借其低功耗、高色飽和度、廣視角、薄厚度、能實(shí)現(xiàn)柔性化等優(yōu)異性能，逐漸成為顯示領(lǐng)域的主流，可以廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦、電視等終端產(chǎn)品。OLED顯示裝置可視角度大，且能夠顯著節(jié)省電能，因此OLED顯示裝置具備了許多液晶顯示器(Liquid Crystal Display，簡稱：LCD)不可比擬的優(yōu)勢，在顯示技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛。而在柔性基底上制作的OLED產(chǎn)品有更加廣闊的應(yīng)用和前景，可以制造成各種可柔繞的異型產(chǎn)品。

柔性LTPS(低溫多晶硅)近期逐漸崛起，以更好的滿足市場的需求為其主要特點(diǎn)，在其特質(zhì)中，其可撓性是最大的亮點(diǎn)。但是，在實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)存在以下問題：

在柔性工藝中，一般在柔性基底上制造顯示器件。在現(xiàn)階段，器件依然采用了大量無機(jī)工藝。由于柔性基底表面制作的器件采用大量無機(jī)工藝，在頻繁彎折時，彎折區(qū)域由于受到正反兩面應(yīng)力的影響，其無機(jī)層較容易斷裂，從而造成器件功能的變差甚至損壞。在器件功能變差后，顯示效果和產(chǎn)品壽命則會受到極大的影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提出一種柔性顯示基板及其制造方法、柔性顯示裝置、載體基板，可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷。

基于上述目的本實(shí)用新型提供的柔性顯示基板，包括柔性基底，在所述柔性基底的彎折區(qū)域，設(shè)置有至少1個凹槽；所述凹槽的開口朝向與所述柔性顯示基板的出光方向相反。

可選的，處于彎折區(qū)域中部的凹槽的深度大于處于彎折區(qū)域邊緣的凹槽的深度。

可選的，所述凹槽的深度的范圍為

可選的，所述至少1個凹槽與所述彎折區(qū)域的折痕形成為0～45°的夾角。

可選的，所述至少1個凹槽中包括內(nèi)部空間為部分柱狀的凹槽，所述部分柱狀的凹槽設(shè)置在所述彎折區(qū)域的折痕上且所述部分柱狀的凹槽的長度方向與所述折痕平行。

可選的，所述凹槽的截面形狀為正方形、矩形、半圓形、弓形、三角形、梯形中的一種或多種。

可選的，所述凹槽的內(nèi)部空間的形狀為部分球狀、部分柱狀、多棱柱狀、不規(guī)則形狀中的一種或多種。

可選的，所述凹槽個數(shù)為多個，且多個凹槽形成為輪胎的胎面花紋形狀。

本實(shí)用新型的第二個方面，提供了一種柔性顯示裝置，包括如上任一所述的柔性顯示基板。

本實(shí)用新型的第三個方面，提供了一種用于制造如上任一所述柔性顯示基板的載體基板，其特征在于，所述載體基板上設(shè)置有與所述凹槽對應(yīng)的凸起。

從上面所述可以看出，本實(shí)用新型提供的所述柔性顯示基板、柔性顯示裝置、載體基板，通過在彎折區(qū)域?qū)?yīng)的柔性基底上設(shè)置凹槽，使得當(dāng)柔性顯示基板的彎折區(qū)域被彎折時，能夠?qū)⒋颂幃a(chǎn)生的應(yīng)力通過凹槽的設(shè)計進(jìn)行一定程度地分散，使彎折區(qū)域上的其他器件層不易開裂或斷裂，可以更好的減少彎曲時應(yīng)力對柔性顯示基板的彎折區(qū)域上的其他器件層的損傷，從而提高了器件的信賴性與壽命，進(jìn)而提高了柔性顯示基板的整體性能。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型提供的柔性顯示基板的一個實(shí)施例中柔性基底的仰視示意圖；

圖2為圖1中的柔性基底的第一個實(shí)施例在A位置的放大示意圖；

圖3為圖2中的柔性基底在B-B方向的剖視示意圖；

圖4為圖1中的柔性基底的第二個實(shí)施例在A位置的放大示意圖；

圖5為圖4中的柔性基底在C-C方向的剖視示意圖；

圖6為圖1中的柔性基底的第三個實(shí)施例在A位置的放大示意圖；

圖7為圖1中的柔性基底的第四個實(shí)施例在A位置的放大示意圖；

圖8為本實(shí)用新型的柔性顯示基板的制造方法的第一個實(shí)施例中在玻璃基板上沉積薄膜的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為本實(shí)用新型的柔性顯示基板的制造方法的第一個實(shí)施例中形成的載體基板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為本實(shí)用新型的柔性顯示基板的制造方法的第一個實(shí)施例中在載體基板上涂布柔性基底材料的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖11為本實(shí)用新型的柔性顯示基板的制造方法的第二個實(shí)施例中在載體基板上涂布柔性基底材料的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖12為本實(shí)用新型的柔性顯示基板的制造方法的第一個實(shí)施例和/或第二個實(shí)施例中形成的柔性顯示面板(省略了除柔性基底外的其他器件層)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖13為本實(shí)用新型提供了一種用于制造柔性顯示基板的載體基板的一個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖14為本實(shí)用新型的柔性顯示基板的制造方法的第一個實(shí)施例的流程示意圖；

圖15為本實(shí)用新型的柔性顯示基板的制造方法的方法的第二個實(shí)施例的流程示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。

需要說明的是，本實(shí)用新型實(shí)施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是為了區(qū)分兩個相同名稱非相同的實(shí)體或者非相同的參量，可見“第一”“第二”僅為了表述的方便，不應(yīng)理解為對本實(shí)用新型實(shí)施例的限定，后續(xù)實(shí)施例對此不再一一說明。

基于前述目的，本實(shí)用新型的第一個方面提供了一種可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷的柔性顯示基板的第一個實(shí)施例。圖1為本實(shí)用新型提供的柔性顯示基板的一個實(shí)施例中柔性基底的仰視示意圖，圖2為圖1中的柔性基底的第一個實(shí)施例在A位置的放大示意圖，圖3為圖2中的柔性基底在B-B方向的剖視示意圖。

如圖1-3所示，所述柔性顯示基板，包括柔性基底10，所述柔性基底10包括非彎折區(qū)域20和彎折區(qū)域30；在所述柔性基底10的彎折區(qū)域30，設(shè)置有1個凹槽31；所述凹槽31的開口朝向與所述柔性顯示基板的出光方向(參照圖3中箭頭方向)相反，使得所述柔性顯示基板的出光方向上的表面上可以布設(shè)其他器件層。從彎折區(qū)域的彎曲應(yīng)力的分布而言，彎曲部分的外圈(遠(yuǎn)離彎折中心部分的位置)會給內(nèi)圈(靠近彎折中心部分的位置)施加相應(yīng)的壓力，從而使得內(nèi)圈的實(shí)際曲率半徑變小。在彎折區(qū)域的柔性基底制作相應(yīng)的凹槽后，彎折區(qū)域中的凹槽附近的柔性基底的外圈的壓力會被凹槽分散，從而減少對于內(nèi)圈的壓力。在彎折區(qū)域的曲率半徑較小的情況下，柔性基底外圈的壓力對于內(nèi)圈的影響會被凹槽較大大減小，從而減少內(nèi)圈部分對于其上各膜層的擠壓力，減少其彎折損傷，提高器件抗彎折能力。

從上述實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示基板，通過在彎折區(qū)域?qū)?yīng)的柔性基底上設(shè)置凹槽，使得當(dāng)柔性顯示基板的彎折區(qū)域被彎折時，能夠?qū)⒋颂幃a(chǎn)生的應(yīng)力通過凹槽的設(shè)計進(jìn)行一定程度地分散，使彎折區(qū)域上的其他器件層不易開裂或斷裂，可以更好的減少彎曲時應(yīng)力對柔性顯示基板的彎折區(qū)域上的其他器件層的損傷，從而提高了器件的信賴性與壽命，進(jìn)而提高了柔性顯示基板的整體性能。此外，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示基板，還可以更好的減少在后繼工藝對位及綁定工藝時的變形和偏移，從而可以提高后繼工藝的良率。

上述實(shí)施例中在整個彎折區(qū)域30中設(shè)置的所述凹槽31的數(shù)量為1個，雖然以舉例方式說明了其設(shè)置位置，但是可以知道，在彎折區(qū)域的任意位置都是可以設(shè)置該凹槽31的，而不僅限于本實(shí)施例中附圖中所示的位置。

需要指出的是，所述柔性顯示基板在上述實(shí)施例中僅提及了改進(jìn)的柔性基底，而沒有涉及其他必要的器件層，但并不代表所述柔性顯示基板的其他必要器件層并不包括在本實(shí)用新型實(shí)施例中，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠很容易地知道，要制得柔性顯示基板所必需的其他器件層的設(shè)計，因此在此不再進(jìn)行贅述。

在一些可選實(shí)施方式中，所述凹槽31的深度的范圍為采用這種深度范圍的凹槽，能夠更好地減少彎曲時應(yīng)力對器件的損傷。

在一些可選實(shí)施方式中，所述彎折區(qū)域30的寬度約為1.0mm～1.5mm，此時，與所述彎折區(qū)域30對應(yīng)的柔性基底(通常為PI基底)并不需要對表面平整性做貢獻(xiàn)，因此，凹槽31的設(shè)計不會影響表面平整度；并且，可選的，所述彎折區(qū)域30為柔性顯示基板中容易被頻繁彎折或者因?yàn)閺澱鄱鴮?dǎo)致曲率半徑較小的區(qū)域，在這樣的區(qū)域中進(jìn)行應(yīng)力分散，能夠更好地提高器件的信賴性與壽命。

在一些可選實(shí)施方式中，所述凹槽31的深度是可以變化的，其中，靠近彎折區(qū)域中部的深度較深而靠近彎折區(qū)域邊緣區(qū)域的深度較淺，即圖2所示的凹槽31的中心向兩邊延伸的方向上，凹槽31的深度逐漸減小，此時，凹槽31的截面形狀可以不是圖3中的矩形，而是半圓形、半橢圓形、三角形、弓形或梯形。這樣的好處在于，可以利用深度變化來使凹槽的不同位置對應(yīng)力的分散強(qiáng)度逐漸變化，達(dá)到更合理的分散效果。

在一些可選實(shí)施方式中，所述凹槽31的內(nèi)部空間的形狀除了圖2中所示形狀外，還可以為部分球狀(例如半球狀、半橢球狀、1/3球狀、1/3橢球狀等)、部分柱狀(例如半圓柱狀、半橢圓柱狀、1/3或1/4圓柱狀、1/3或1/4橢圓柱狀等)、多棱柱狀(例如三棱柱狀、四棱柱狀等)、不規(guī)則形狀中的一種或多種。具有這些形狀的內(nèi)部空間的所述凹槽31，均能起到分散應(yīng)力的作用，應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

在一些可選實(shí)施方式中，如圖2和圖3所示，所述凹槽31為內(nèi)部空間為長方體形(多棱柱的其中一種)的凹槽，所述凹槽31設(shè)置在所述彎折區(qū)域30的折痕32上且所述凹槽31的長度方向與所述折痕32平行。可選的，在柔性顯示基板的排布有引線等器件的非顯示區(qū)域和顯示區(qū)域之間的區(qū)域中設(shè)置所述彎折區(qū)域30。在制作柔性顯示裝置時，需要將制作完成的柔性顯示基板邊緣沿彎折區(qū)域30進(jìn)行彎折，從而使排布有引線等器件的非顯示區(qū)域埋進(jìn)邊框中以實(shí)現(xiàn)邊框封裝，所述折痕32則可以是指彎折區(qū)域30被彎折后曲率半徑最小的中心線位置。此處應(yīng)力最大，將凹槽31設(shè)置在折痕32上，則可最大程度分散應(yīng)力，更好地減少彎曲時應(yīng)力對器件的損傷。當(dāng)然，可以想到的時，附圖中折痕32是沿彎折區(qū)域30的中心線設(shè)置的，在某些情況下，若折痕32位置有偏移，所述凹槽31的位置也可以相應(yīng)地偏移，因此不應(yīng)將本實(shí)用新型的保護(hù)范圍限定在本實(shí)施例的附圖中所示的位置。

此外，在一些可選實(shí)施方式中，可以將所述凹槽31設(shè)置為多個，例如，沿折痕32的方向上等間隔設(shè)置在整個彎折區(qū)域30中，亦即，圖1中放大區(qū)域A的上方和下方的彎折區(qū)域30中都可以設(shè)置如圖2中所示的凹槽31。可選的，這些凹槽31可以是處于同一直線上的，也可以不是處于同一條直線上的，而是互相交錯的。這些實(shí)施方式，都能較好地實(shí)現(xiàn)應(yīng)力分散的效果。

本實(shí)用新型還提供了一種可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷的柔性顯示基板的第二個實(shí)施例。圖1為本實(shí)用新型提供的柔性顯示基板的一個實(shí)施例中柔性基底的仰視示意圖，圖4為圖1中的柔性基底的第二個實(shí)施例在A位置的放大示意圖，圖5為圖4中的柔性基底在C-C方向的剖視示意圖。

如圖1、圖4和圖5所示，所述柔性顯示基板，包括柔性基底10，在所述柔性基底10的彎折區(qū)域30，設(shè)置有3種凹槽——中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43；所述中心凹槽41與折痕44相平行，所述左凹槽42與折痕44呈一小于45°的夾角，所述右凹槽43與折痕44呈一小于45°的夾角，且左凹槽42和右凹槽43的傾斜方向相反。這樣的中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的排布方式，使得在與折痕44平行的沿向上形成的較大的彎折應(yīng)力能夠更好地分散；而由于傾斜的左凹槽42和右凹槽43的存在，使得在與折痕44垂直的沿向上也能有一定的應(yīng)力分散，從而能夠?qū)?yīng)力更好地從各個方向分散出去。所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的開口朝向均與所述柔性顯示基板的出光方向(參照圖5中箭頭方向)相反，使得所述柔性顯示基板的出光方向上的表面上可以布設(shè)其他器件層。

從上述實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示基板，通過在彎折區(qū)域?qū)?yīng)的柔性基底上設(shè)置三種凹槽(中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43)，使得當(dāng)柔性顯示基板的彎折區(qū)域被彎折時，能夠?qū)⒋颂幃a(chǎn)生的應(yīng)力通過凹槽的設(shè)計進(jìn)行較好地分散，使彎折區(qū)域上的其他器件層不易開裂或斷裂，可以更好的減少彎曲時應(yīng)力對柔性顯示基板的彎折區(qū)域上的其他器件層的損傷，從而提高了器件的信賴性與壽命，進(jìn)而提高了柔性顯示基板的整體性能。此外，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示基板，還可以更好的減少在后繼工藝對位及綁定工藝時的變形和偏移，從而可以提高后繼工藝的良率。

上述實(shí)施例中的三種凹槽其設(shè)置方式可以是：

在整個彎折區(qū)域30中設(shè)置的所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的數(shù)量分別為1個，雖然以舉例方式說明了其設(shè)置位置處于圖1中的放大區(qū)域A，但是可以知道，在彎折區(qū)域的任意位置都是可以設(shè)置該這樣的3個凹槽的，而不僅限于本實(shí)施例中附圖中所示的位置。

同時，類似的，若以1個所述中心凹槽41、1個左凹槽42和1個右凹槽43為1組，所述實(shí)施例的變型方式還可以是設(shè)置2組或更多組，并且每組凹槽之間的間距可以是相等的或者不等的。

此外，除了圖4中所示的排布方式，中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43之間的相對關(guān)系也是可以變化的，例如，中心凹槽41和左凹槽42調(diào)換位置，或者，中心凹槽41和右凹槽43調(diào)換位置，或者，中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43互相之間都是錯位設(shè)置的，等等。這些變型方式均應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

需要指出的是，所述柔性顯示基板在上述實(shí)施例中僅提及了改進(jìn)的柔性基底，而沒有涉及其他必要的器件層，但并不代表所述柔性顯示基板的其他必要器件層并不包括在本實(shí)用新型實(shí)施例中，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠很容易地知道，要制得柔性顯示基板所必需的其他器件層的設(shè)計，因此在此不再進(jìn)行贅述。

在一些可選實(shí)施方式中，如圖4和圖5所示，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43為內(nèi)部空間為長方體形(多棱柱的其中一種)的凹槽，所述中心凹槽41設(shè)置在所述彎折區(qū)域30的折痕44上且所述中心凹槽41的長度方向與所述折痕44平行。所述左凹槽42和右凹槽43則對稱設(shè)置在所述中心凹槽41兩側(cè)?？蛇x的，在柔性顯示基板的排布有引線等器件的非顯示區(qū)域和顯示區(qū)域之間的區(qū)域中設(shè)置所述彎折區(qū)域30。在制作柔性顯示裝置時，需要將制作完成的柔性顯示基板邊緣沿彎折區(qū)域30進(jìn)行彎折，從而使排布有引線等器件的非顯示區(qū)域埋進(jìn)邊框中以實(shí)現(xiàn)邊框封裝，所述折痕44則可以是指彎折區(qū)域30被彎折后曲率半徑最小的中心線位置。此處應(yīng)力最大，將中心凹槽41設(shè)置在折痕44上，則可最大程度分散應(yīng)力，而兩側(cè)的左凹槽42和右凹槽43能進(jìn)一步分散應(yīng)力，從而更好地減少彎曲時應(yīng)力對器件的損傷。當(dāng)然，可以想到的時，附圖中折痕44是沿彎折區(qū)域30的中心線設(shè)置的，在某些情況下，若折痕44位置有偏移，所述中心凹槽41的位置也可以相應(yīng)地偏移，所述左凹槽42和右凹槽43的位置也可以隨之偏移，因此不應(yīng)將本實(shí)用新型的保護(hù)范圍限定在本實(shí)施例的附圖中所示的位置。

在一些可選實(shí)施方式中，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的深度均是可以變化的，其中，靠近彎折區(qū)域中部的深度較深而靠近彎折區(qū)域邊緣區(qū)域的深度較淺，即圖4所示的所述中心凹槽41的中心向兩邊延伸的方向上，中心凹槽41的深度逐漸減小，此時，中心凹槽41的截面形狀可以不是圖5中的矩形，而是半圓形、半橢圓形、三角形、弓形或梯形。這樣的好處在于，可以利用深度變化來使凹槽的不同位置對應(yīng)力的分散強(qiáng)度逐漸變化，達(dá)到更合理的分散效果。而所述左凹槽42則可以是左側(cè)的深度淺且右側(cè)的深度深，相反，所述右凹槽43則可以是右側(cè)的深度淺且左側(cè)的深度深。

可選的，所述中心凹槽41的深度還可以是大于左凹槽42和右凹槽43的。這樣的好處在于，可以利用深度變化來使不同位置的凹槽對應(yīng)力的分散強(qiáng)度逐漸變化，達(dá)到更合理的分散效果。

在一些可選實(shí)施方式中，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的深度的范圍均為采用這種深度范圍的凹槽，能夠更好地減少彎曲時應(yīng)力對器件的損傷。較佳的，所述中心凹槽41的深度的范圍均為1～2μm，所述左凹槽42和右凹槽43的深度的范圍均為采用這種深度范圍的凹槽，能夠更好地減少彎曲時應(yīng)力對器件的損傷。

在一些可選實(shí)施方式中，所述彎折區(qū)域30的寬度約為1.0mm～1.5mm，此時，與所述彎折區(qū)域30對應(yīng)的柔性基底(通常為PI基底)并不需要對表面平整性做貢獻(xiàn)，因此，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的設(shè)計不會影響表面平整度；并且，可選的，所述彎折區(qū)域30為柔性顯示基板中容易被頻繁彎折或者因?yàn)閺澱鄱鴮?dǎo)致曲率半徑較小的區(qū)域，在這樣的區(qū)域中進(jìn)行應(yīng)力分散，能夠更好地提高器件的信賴性與壽命。

在一些可選實(shí)施方式中，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的內(nèi)部空間的形狀除了圖4中所示形狀外，還可以為部分球狀(例如半球狀、半橢球狀、1/3球狀、1/3橢球狀等)、部分柱狀(例如半圓柱狀、半橢圓柱狀、1/3或1/4圓柱狀、1/3或1/4橢圓柱狀等)、多棱柱狀(例如三棱柱狀、四棱柱狀等)、不規(guī)則形狀中的一種或多種。具有這些形狀的內(nèi)部空間的所述凹槽31，均能起到分散應(yīng)力的作用，應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

本實(shí)用新型還提供了一種可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷的柔性顯示基板的第三個實(shí)施例。圖1為本實(shí)用新型提供的柔性顯示基板的一個實(shí)施例中柔性基底的仰視示意圖，圖6為圖1中的柔性基底的第三個實(shí)施例在A位置的放大示意圖。

如圖1、圖4和圖5所示，所述柔性顯示基板，包括柔性基底10，在所述柔性基底10的彎折區(qū)域30，設(shè)置有6種凹槽——上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56；所述上中心凹槽51和下中心凹槽52與折痕57相平行，所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56均與折痕57呈一小于45°的夾角，左上凹槽53和左下凹槽54的傾斜方向相反，且右上凹槽55和右下凹槽56的傾斜方向也相反，而左上凹槽53和右下凹槽56的傾斜方向相同，且右上凹槽55和左下凹槽54的傾斜方向也相同。這樣的上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的排布方式，使得在與折痕57平行的沿向上形成的較大的彎折應(yīng)力能夠更好地分散；而由于傾斜且排布對稱的左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的存在，使得在與折痕57垂直的沿向上也能有一定的較為均勻的各向應(yīng)力分散，從而能夠?qū)?yīng)力更好地從各個方向分散出去。所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的開口朝向均與所述柔性顯示基板的出光方向相反，使得所述柔性顯示基板的出光方向上的表面上可以布設(shè)其他器件層。

從上述實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示基板，通過在彎折區(qū)域?qū)?yīng)的柔性基底上設(shè)置特殊排列方式的凹槽，使得當(dāng)柔性顯示基板的彎折區(qū)域被彎折時，能夠?qū)⒋颂幃a(chǎn)生的應(yīng)力通過凹槽的設(shè)計進(jìn)行較好地分散，使彎折區(qū)域上的其他器件層不易開裂或斷裂，可以更好的減少彎曲時應(yīng)力對柔性顯示基板的彎折區(qū)域上的其他器件層的損傷，從而提高了器件的信賴性與壽命，進(jìn)而提高了柔性顯示基板的整體性能。此外，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示基板，還可以更好的減少在后繼工藝對位及綁定工藝時的變形和偏移，從而可以提高后繼工藝的良率。

上述實(shí)施例中的三種凹槽其設(shè)置方式可以是：

在整個彎折區(qū)域30中設(shè)置的所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的數(shù)量分別為1個，雖然以舉例方式說明了其設(shè)置位置處于圖1中的放大區(qū)域A，但是可以知道，在彎折區(qū)域的任意位置都是可以設(shè)置該這樣的6個凹槽的，而不僅限于本實(shí)施例中附圖中所示的位置。

同時，可選的，若以1個上中心凹槽51、1個下中心凹槽52、1個左上凹槽53、1個左下凹槽54、1個右上凹槽55和1個右下凹槽56為1組，所述實(shí)施例的變型方式還可以是設(shè)置2組或更多組，并且每組凹槽之間的間距可以是相等的或者不等的。

此外，除了圖6中所示的排布方式，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56之間的相對關(guān)系也是可以變化的，例如，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56之間任意互相調(diào)換位置，或者，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56互相之間都是錯位設(shè)置的，等等。這些變型方式均應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

此外，還可以實(shí)現(xiàn)的實(shí)施方式也可以是，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52也是傾斜的，或者，傾斜的凹槽與所述彎折區(qū)域的折痕57形成為0～45°范圍內(nèi)的任意夾角，每個凹槽的夾角的都可以各不相同，等等。

需要指出的是，所述柔性顯示基板在上述實(shí)施例中僅提及了改進(jìn)的柔性基底，而沒有涉及其他必要的器件層，但并不代表所述柔性顯示基板的其他必要器件層并不包括在本實(shí)用新型實(shí)施例中，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠很容易地知道，要制得柔性顯示基板所必需的其他器件層的設(shè)計，因此在此不再進(jìn)行贅述。

在一些可選實(shí)施方式中，如圖6所示，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的內(nèi)部空間為長條形(可為部分柱狀或多棱柱狀)，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52設(shè)置在所述彎折區(qū)域30的折痕57上且所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的長度方向與所述折痕57平行。所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56則分別對稱設(shè)置在所述上中心凹槽51和下中心凹槽52兩側(cè)?？蛇x的，在柔性顯示基板的排布有引線等器件的非顯示區(qū)域和顯示區(qū)域之間的區(qū)域中設(shè)置所述彎折區(qū)域30。在制作柔性顯示裝置時，需要將制作完成的柔性顯示基板邊緣沿彎折區(qū)域30進(jìn)行彎折，從而使排布有引線等器件的非顯示區(qū)域埋進(jìn)邊框中以實(shí)現(xiàn)邊框封裝，所述折痕57則可以是指彎折區(qū)域30被彎折后曲率半徑最小的中心線位置。此處應(yīng)力最大，將所述上中心凹槽51和下中心凹槽52設(shè)置在折痕57上，則可最大程度分散應(yīng)力，而兩側(cè)的所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56能進(jìn)一步分散應(yīng)力，從而更好地減少彎曲時應(yīng)力對器件的損傷。當(dāng)然，可以想到的時，附圖中折痕57是沿彎折區(qū)域30的中心線設(shè)置的，在某些情況下，若折痕57位置有偏移，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的位置也可以相應(yīng)地偏移，所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的位置也可以隨之偏移，因此不應(yīng)將本實(shí)用新型的保護(hù)范圍限定在本實(shí)施例的附圖中所示的位置。

在一些可選實(shí)施方式中，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的深度均是可以變化的，其中，靠近彎折區(qū)域中部的深度較深而靠近彎折區(qū)域邊緣區(qū)域的深度較淺，即圖6所示的所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的中心向兩邊延伸的方向上，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的深度均逐漸減小，此時，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的截面形狀可以不是矩形，而是半圓形、半橢圓形、三角形、弓形或梯形。這樣的好處在于，可以利用深度變化來使凹槽的不同位置對應(yīng)力的分散強(qiáng)度逐漸變化，達(dá)到更合理的分散效果。而所述左上凹槽53和左下凹槽54則可以是左側(cè)的深度淺且右側(cè)的深度深，相反，所述右上凹槽55和右下凹槽56則可以是右側(cè)的深度淺且左側(cè)的深度深。

可選的，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的深度還可以是大于左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的。這樣的好處在于，可以利用深度變化來使不同位置的凹槽對應(yīng)力的分散強(qiáng)度逐漸變化，達(dá)到更合理的分散效果。

在一些可選實(shí)施方式中，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的深度的范圍均為采用這種深度范圍的凹槽，能夠更好地減少彎曲時應(yīng)力對器件的損傷。較佳的，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的深度的范圍均為1～2μm，所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的深度的范圍均為采用這種深度范圍的凹槽，能夠更好地減少彎曲時應(yīng)力對器件的損傷。

在一些可選實(shí)施方式中，所述彎折區(qū)域30的寬度約為1.0mm～1.5mm，此時，與所述彎折區(qū)域30對應(yīng)的柔性基底(通常為PI基底)并不需要對表面平整性做貢獻(xiàn)，因此，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的設(shè)計不會影響表面平整度；并且，可選的，所述彎折區(qū)域30為柔性顯示基板中容易被頻繁彎折或者因?yàn)閺澱鄱鴮?dǎo)致曲率半徑較小的區(qū)域，在這樣的區(qū)域中進(jìn)行應(yīng)力分散，能夠更好地提高器件的信賴性與壽命。

在一些可選實(shí)施方式中，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的內(nèi)部空間的形狀，可以為部分球狀(例如半球狀、半橢球狀、1/3球狀、1/3橢球狀等)、部分柱狀(例如半圓柱狀、半橢圓柱狀、1/3或1/4圓柱狀、1/3或1/4橢圓柱狀等)、多棱柱狀(例如三棱柱狀、四棱柱狀等)、不規(guī)則形狀中的一種或多種。具有這些形狀的內(nèi)部空間的所述凹槽31，均能起到分散應(yīng)力的作用，應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

本實(shí)用新型還提供了一種可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷的柔性顯示基板的第四個實(shí)施例。圖1為本實(shí)用新型提供的柔性顯示基板的一個實(shí)施例中柔性基底的仰視示意圖，圖7為圖1中的柔性基底的第四個實(shí)施例在A位置的放大示意圖。

所述柔性顯示基板，包括柔性基底10，在所述柔性基底10的彎折區(qū)域30，設(shè)置有多個凹槽，所述多個凹槽形成為輪胎的胎面花紋形狀(圖7的彎折區(qū)域30中，非陰影部分為凹槽)；所述凹槽的開口朝向與所述柔性顯示基板的出光方向相反。輪胎的胎面花紋本身具有消除外界對輪胎本身產(chǎn)生的應(yīng)力的作用，在本實(shí)施例中，將所述多個凹槽形成為輪胎的胎面花紋形狀，使其能夠利用輪胎的胎面花紋消除應(yīng)力的原理，達(dá)到在彎折區(qū)域30內(nèi)消除彎折應(yīng)力影響的效果。

從上述實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示基板，通過在彎折區(qū)域?qū)?yīng)的柔性基底上設(shè)置凹槽，且所述多個凹槽形成為輪胎的胎面花紋形狀，使得當(dāng)柔性顯示基板的彎折區(qū)域被彎折時，能夠?qū)⒋颂幃a(chǎn)生的應(yīng)力通過這種特殊設(shè)計的凹槽進(jìn)行很大程度地分散，使彎折區(qū)域上的其他器件層不易開裂或斷裂，可以更好的減少彎曲時應(yīng)力對柔性顯示基板的彎折區(qū)域上的其他器件層的損傷，從而提高了器件的信賴性與壽命，進(jìn)而提高了柔性顯示基板的整體性能。此外，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示基板，還可以更好的減少在后繼工藝對位及綁定工藝時的變形和偏移，從而可以提高后繼工藝的良率。

需要指出的是，本實(shí)施例中的圖7僅示出了多個凹槽組成的輪胎的胎面花紋的其中一種，可以知道，輪胎的胎面花紋各種各樣，只要能夠起到消除應(yīng)力的作用，均可應(yīng)用在本實(shí)用新型中，在此不再窮舉。

需要特別說明的是，圖2、圖4、圖6和圖7中彎折區(qū)域30中的陰影不是剖面線，而僅僅是為了將凹槽和彎折區(qū)域30進(jìn)行區(qū)分的區(qū)分方式。

基于前述目的，本實(shí)用新型的第二個方面提供了一種可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷的柔性顯示裝置的一個實(shí)施例。

所述柔性顯示裝置，包括如上任一實(shí)施例所述的柔性顯示基板。

其中，所述柔性顯示裝置可以是例如：電子紙、顯示器、手機(jī)、平板電腦、電視機(jī)、筆記本電腦、數(shù)碼相框、導(dǎo)航儀等任何具有顯示功能的產(chǎn)品或部件。

從上述實(shí)施例可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示裝置，通過在彎折區(qū)域?qū)?yīng)的柔性基底上設(shè)置凹槽，使得當(dāng)柔性顯示裝置的彎折區(qū)域被彎折時，能夠?qū)⒋颂幃a(chǎn)生的應(yīng)力通過凹槽進(jìn)行分散，使彎折區(qū)域上的其他器件層不易開裂或斷裂，可以更好的減少彎曲時應(yīng)力對柔性顯示基板的彎折區(qū)域上的其他器件層的損傷，從而提高了器件的信賴性與壽命，進(jìn)而提高了柔性顯示基板的整體性能。此外，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述柔性顯示裝置，還可以更好的減少在后繼工藝對位及綁定工藝時的變形和偏移，從而可以提高后繼工藝的良率。

基于前述目的，本實(shí)用新型的第三個方面提供了一種可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷的制造柔性顯示基板的方法的第一個實(shí)施例。圖14為本實(shí)用新型提供的制造柔性顯示基板的方法的第一個實(shí)施例的流程示意圖。

所述制造柔性顯示基板的方法，包括以下步驟：

步驟101：如圖8所示(圖8中僅示出了圖1的放大區(qū)域A處的放大的剖面示意圖)，在玻璃基板60上沉積SiNx或SiOx薄膜70(也可以是二者的復(fù)合膜層)；可選的，所述SiNx或SiOx薄膜70的厚度為

步驟102：如圖9所示(圖9中僅示出了圖1的放大區(qū)域A處的放大的剖面示意圖)，采用光刻-蝕刻-剝離工藝，將所述SiNx或SiOx薄膜70形成為與前述任意柔性顯示基板實(shí)施例中的所述凹槽對應(yīng)的凸起71，得到載體基板80。

步驟103：如圖10所示(圖10中僅示出了圖1的放大區(qū)域A處的放大的剖面示意圖)，在載體基板80上涂布柔性基底材料90，從而可以在柔性基底材料90中形成相應(yīng)的凹槽；

步驟104：進(jìn)行后繼其他工藝(例如布設(shè)其他的必要器件層)，并完成整體器件的制作；

步驟105：如圖12所示(圖12中僅示出了圖1的放大區(qū)域A處的放大的剖面示意圖)，將所述柔性基底材料90與所述載體基板80剝離，得到柔性顯示面板(圖12中僅示出剝離后的柔性顯示面板的柔性基底10，省略了其上其他器件層)；可選的，采用激光剝離工藝(LLO，laser lift-off)將所述柔性基底材料與所述載體基板剝離，這種剝離方式能夠減小柔性基底材料的損傷。

從上述實(shí)施例可以看出，采用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述制造柔性顯示基板的方法制得的柔性顯示裝置，通過在彎折區(qū)域?qū)?yīng)的柔性基底上設(shè)置凹槽，使得當(dāng)柔性顯示裝置的彎折區(qū)域被彎折時，能夠?qū)⒋颂幃a(chǎn)生的應(yīng)力通過凹槽進(jìn)行分散，使彎折區(qū)域上的其他器件層不易開裂或斷裂，可以更好的減少彎曲時應(yīng)力對柔性顯示基板的彎折區(qū)域上的其他器件層的損傷，從而提高了器件的信賴性與壽命，進(jìn)而提高了柔性顯示基板的整體性能。此外，采用本實(shí)用新型實(shí)施例提供制造柔性顯示基板的方法制得的所述柔性顯示裝置，還可以更好的減少在后繼工藝對位及綁定工藝時的變形和偏移，從而可以提高后繼工藝的良率。

本實(shí)用新型還提供了一種可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷的制造柔性顯示基板的方法的第二個實(shí)施例。圖15為本實(shí)用新型提供的制造柔性顯示基板的方法的第二個實(shí)施例的流程示意圖。

所述制造柔性顯示基板的方法，包括以下步驟：

步驟201：如圖11所示(圖11中僅示出了圖1的放大區(qū)域A處的放大的剖面示意圖)，在載體基板80’上涂布柔性基底材料90；其中，所述載體基板80’上已經(jīng)設(shè)置有與前述任意柔性顯示基板實(shí)施例中的所述凹槽對應(yīng)的凸起；

步驟202：進(jìn)行后繼其他工藝(例如布設(shè)其他的必要器件層)，并完成整體器件的制作；

步驟203：如圖12所示(圖12中僅示出了圖1的放大區(qū)域A處的放大的剖面示意圖)，將所述柔性基底材料90與所述載體基板80’剝離，得到柔性顯示面板(圖12中僅示出剝離后的柔性顯示面板的柔性基底10，省略了其上其他器件層)；可選的，采用激光剝離工藝(LLO，laser lift-off)將所述柔性基底材料與所述載體基板剝離，這種剝離方式能夠減小柔性基底材料的損傷。

從上述實(shí)施例可以看出，采用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的所述制造柔性顯示基板的方法制得的柔性顯示裝置，通過在彎折區(qū)域?qū)?yīng)的柔性基底上設(shè)置凹槽，使得當(dāng)柔性顯示裝置的彎折區(qū)域被彎折時，能夠?qū)⒋颂幃a(chǎn)生的應(yīng)力通過凹槽進(jìn)行分散，使彎折區(qū)域上的其他器件層不易開裂或斷裂，可以更好的減少彎曲時應(yīng)力對柔性顯示基板的彎折區(qū)域上的其他器件層的損傷，從而提高了器件的信賴性與壽命，進(jìn)而提高了柔性顯示基板的整體性能。并且，本實(shí)施例的方法中載體基板為已制作完成的成品，因此能夠節(jié)省制造工序，提升了制造效率。此外，采用本實(shí)用新型實(shí)施例提供制造柔性顯示基板的方法制得的所述柔性顯示裝置，還可以更好的減少在后繼工藝對位及綁定工藝時的變形和偏移，從而可以提高后繼工藝的良率。

需要指出的是，圖9～圖12中均采用了柔性顯示基板的第二個實(shí)施例的凹槽排布方式對應(yīng)的結(jié)構(gòu)，但并不代表上述制造所述柔性顯示基板的方法實(shí)施例只針對這一種柔性顯示基板的實(shí)施方式?；谇笆鋈嵝燥@示基板的各個實(shí)施例，可以推知相應(yīng)柔性顯示基板實(shí)施例的制作工藝過程中，與其凹槽排布方式對應(yīng)的結(jié)構(gòu)所應(yīng)當(dāng)呈現(xiàn)的形狀，在此不再贅述。

基于前述目的，本實(shí)用新型的第四個方面提供了一種用于制造可以減少彎曲時應(yīng)力對器件本身的損傷的柔性顯示基板的載體基板的一個實(shí)施例。圖13為與圖1中放大區(qū)域A對應(yīng)的所述載體基板的部分放大的主視結(jié)構(gòu)示意圖。

用于制造如上任一所述柔性顯示基板實(shí)施例的載體基板80’，所述載體基板80’上設(shè)置有與所述凹槽對應(yīng)的凸起。

從上述實(shí)施例可以看出，采用本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于制造如上任一所述柔性顯示基板實(shí)施例的載體基板，能夠方便前述任一所述柔性顯示基板實(shí)施例的制作，提高工作效率。

需要指出的是，圖13中采用了柔性顯示基板的第二個實(shí)施例的凹槽排布方式對應(yīng)的載體基板結(jié)構(gòu)，但并不代表上述用于制造所述柔性顯示基板的載體基板實(shí)施例只針對這一種柔性顯示基板的實(shí)施方式?；谇笆鋈嵝燥@示基板的各個實(shí)施例，可以推知相應(yīng)柔性顯示基板實(shí)施例的制作工藝過程中，與其凹槽排布方式對應(yīng)的載體基板結(jié)構(gòu)所應(yīng)當(dāng)呈現(xiàn)的形狀，在此不再贅述。

所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：以上任何實(shí)施例的討論僅為示例性的，并非旨在暗示本公開的范圍(包括權(quán)利要求)被限于這些例子；在本實(shí)用新型的思路下，以上實(shí)施例或者不同實(shí)施例中的技術(shù)特征之間也可以進(jìn)行組合，并存在如上所述的本實(shí)用新型的不同方面的許多其它變化，為了簡明它們沒有在細(xì)節(jié)中提供。因此，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何省略、修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。