本實(shí)用新型是一種高溫?cái)U(kuò)散工藝提高材料的韌性和延展性裝置，屬于加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

擴(kuò)散工藝的主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行摻雜，即將元素磷、硼擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。

現(xiàn)有技術(shù)公開了申請?zhí)枮椋?01220302081.7的一種用于硼擴(kuò)散工藝的石英爐門，包括石英門本體，所述石英門本體的內(nèi)壁附著有一層在硼擴(kuò)散高溫條件下化學(xué)性能穩(wěn)定、且熱脹冷縮系數(shù)低于所述石英門體材料的熱脹冷縮系數(shù)的保護(hù)膜；本實(shí)用新型中通過在石英門本體內(nèi)壁上設(shè)置高溫條件下穩(wěn)定性比較強(qiáng)、且熱脹冷縮系數(shù)小的保護(hù)膜，避免了硼玻璃與石英門本體內(nèi)壁的直接接觸，緩解了石英門本體內(nèi)壁由于較大熱脹冷縮現(xiàn)象產(chǎn)生的較大應(yīng)力，對石英門的損壞，可以提高石英爐門的使用壽命，并且延長石英爐門的維護(hù)周期，降低了石英爐門的頻繁檢修損耗、節(jié)省人力、物力，相應(yīng)提高了生產(chǎn)效率和太陽能電池片的生產(chǎn)質(zhì)量，進(jìn)而可以大大降低太陽能電池片生產(chǎn)成本。此外，本實(shí)用新型還提供了一種包括上述石英爐門的設(shè)備。但是其不足之處在于外部因素影響加工件摻雜元素，容易降低控制精準(zhǔn)度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型目的是提供一種高溫?cái)U(kuò)散工藝提高材料的韌性和延展性裝置，以解決外部因素影響加工件摻雜元素，容易降低控制精準(zhǔn)度的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：一種高溫?cái)U(kuò)散工藝提高材料的韌性和延展性裝置，其結(jié)構(gòu)包括散熱板、柜門、上蓋板、密封圈、機(jī)桿、轉(zhuǎn)動夾緊裝置、連件、電控箱、顯示屏、高溫加工室、透明窗、加工頭、底座、底腳座，所述散熱板設(shè)在底座上，所述上蓋板與密封圈相連接，所述機(jī)桿與轉(zhuǎn)動夾緊裝置相連接，所述轉(zhuǎn)動夾緊裝置由第一夾板、咬合座、第二夾件、轉(zhuǎn)動固件、手柄、分離底板組成，所述第一夾板與咬合座相嵌合，所述咬合座與第二夾件相嵌合，所述第二夾件與轉(zhuǎn)動固件相連接，所述轉(zhuǎn)動固件與手柄相連接，所述分離底板與轉(zhuǎn)動固件相連接，所述分離底板與連件相連接，所述電控箱上設(shè)有顯示屏，所述底座與底腳座緊固連接。

進(jìn)一步地，所述柜門設(shè)在高溫加工室上腔上。

進(jìn)一步地，所述密封圈與機(jī)桿相連接。

進(jìn)一步地，所述連件與電控箱相連接。

進(jìn)一步地，所述高溫加工室上設(shè)有透明窗。

進(jìn)一步地，所述透明窗內(nèi)部設(shè)有加工頭。

進(jìn)一步地，所述第一夾板與第二夾件端面相觸，與咬合座相嵌合。

進(jìn)一步地，所述連件直徑管面上形狀與咬合座、夾件形狀相對應(yīng)。

本實(shí)用新型的有益效果為設(shè)有轉(zhuǎn)動夾緊裝置，能夠通過咬合座與夾板夾緊連件，利用手柄的轉(zhuǎn)動特性，提高靈活性，方便作業(yè)中隨時(shí)查看顯示器數(shù)據(jù)，提高控制精準(zhǔn)度。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會變得更明顯：

圖1為本實(shí)用新型一種高溫?cái)U(kuò)散工藝提高材料的韌性和延展性裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的轉(zhuǎn)動夾緊裝置示意圖。

圖中：散熱板-1、柜門-2、上蓋板-3、密封圈-4、機(jī)桿-5、轉(zhuǎn)動夾緊裝置-6、第一夾板-601、咬合座-602、第二夾件-603、轉(zhuǎn)動固件-604、手柄-605、分離底板-606、連件-7、電控箱-8、顯示屏-9、高溫加工室-10、透明窗-11、加工頭-12、底座-13、底腳座-14。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施方式，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

請參閱圖1-圖2，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種高溫?cái)U(kuò)散工藝提高材料的韌性和延展性裝置，其結(jié)構(gòu)包括散熱板1、柜門2、上蓋板3、密封圈4、機(jī)桿5、轉(zhuǎn)動夾緊裝置6、連件7、電控箱8、顯示屏9、高溫加工室10、透明窗11、加工頭12、底座13、底腳座14，所述散熱板1設(shè)在底座13上，所述上蓋板3與密封圈4相連接，所述機(jī)桿5與轉(zhuǎn)動夾緊裝置6相連接，所述轉(zhuǎn)動夾緊裝置6由第一夾板601、咬合座602、第二夾件603、轉(zhuǎn)動固件604、手柄605、分離底板606組成，所述第一夾板601與咬合座602相嵌合，所述咬合座602與第二夾件603相嵌合，所述第二夾件603與轉(zhuǎn)動固件604相連接，所述轉(zhuǎn)動固件604與手柄605相連接，所述分離底板606與轉(zhuǎn)動固件604相連接，所述分離底板606與連件7相連接，所述電控箱8上設(shè)有顯示屏9，所述底座13與底腳座14緊固連接，所述柜門2設(shè)在高溫加工室10上腔上，所述密封圈4與機(jī)桿5相連接，所述連件7與電控箱8相連接，所述高溫加工室10上設(shè)有透明窗11，所述透明窗11內(nèi)部設(shè)有加工頭12。

本專利所說的手柄605為轉(zhuǎn)動手柄，采用鋅合金制成，預(yù)埋在手柄里的螺絲為六角螺帽、全牙螺紋，來防止螺絲在手柄里360度旋轉(zhuǎn)或是脫落。

當(dāng)使用者想使用本實(shí)用新型的時(shí)候就可以通過咬合座602與第一夾板601、第二夾件603夾緊連件，第一夾板601與第二夾件603端面相觸，與咬合座602相嵌合，連件7直徑管面上形狀與咬合座602、第一夾板601與第二夾件603形狀相對應(yīng)，利用手柄605的轉(zhuǎn)動特性，使分離底板606與連件7底部連接轉(zhuǎn)動，提高靈活性，方便作業(yè)中隨時(shí)查看顯示器數(shù)據(jù)，提高控制精準(zhǔn)度。

本實(shí)用新型的散熱板1、柜門2、上蓋板3、密封圈4、機(jī)桿5、轉(zhuǎn)動夾緊裝置6、連件7、電控箱8、顯示屏9、高溫加工室10、透明窗11、加工頭12、底座13、底腳座14，部件均為通用標(biāo)準(zhǔn)件或本領(lǐng)域技術(shù)人員知曉的部件，其結(jié)構(gòu)和原理都為本技術(shù)人員均可通過技術(shù)手冊得知或通過常規(guī)實(shí)驗(yàn)方法獲知，本實(shí)用新型解決的問題是外部因素影響加工件摻雜元素，容易降低控制精準(zhǔn)度，本實(shí)用新型通過上述部件的互相組合，可以通過咬合座與夾板夾緊連件，利用手柄的轉(zhuǎn)動特性，提高靈活性，方便作業(yè)中隨時(shí)查看顯示器數(shù)據(jù)，提高控制精準(zhǔn)度。具體如下所述：

第一夾板601與咬合座602相嵌合，所述咬合座602與第二夾件603相嵌合，所述第二夾件603與轉(zhuǎn)動固件604相連接，所述轉(zhuǎn)動固件604與手柄605相連接，所述分離底板606與轉(zhuǎn)動固件604相連接。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn),對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。