1.一種用于擴(kuò)散爐的加熱裝置，其特征在于，包括導(dǎo)熱管體和傳熱至所述導(dǎo)熱管體的加熱元件，所述導(dǎo)熱管體的進(jìn)氣口經(jīng)第一單向閥與一載氣源連接以從所述載氣源接收載氣，所述導(dǎo)熱管體的出氣口經(jīng)第二單向閥與一擴(kuò)散爐連接以向所述擴(kuò)散爐輸送載氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述管體為石英管，所述加熱元件為加熱絲。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，還包括設(shè)于所述管體外側(cè)的保溫組件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加熱裝置，其特征在于，所述保溫組件包括第一保溫層和第二保溫層中的一層或內(nèi)外設(shè)置的兩層，所述第一保溫層和所述第二保溫層中，其中一層為保溫棉，另一層為真空鏡面保溫管，所述真空鏡面保溫管為真空鏡面管本體或內(nèi)壁涂覆有鏡面反射涂層的真空鏡面管或外壁涂覆有鏡面反射涂層的真空鏡面管或內(nèi)外壁均涂覆有鏡面反射涂層的真空鏡面管。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，還包括設(shè)于最外層的金屬防護(hù)殼體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，還包括自動(dòng)控制系統(tǒng)，所述自動(dòng)控制系統(tǒng)包括第一溫度傳感器和控制器，所述第一溫度傳感器設(shè)于所述導(dǎo)熱管體上并與所述控制器的輸入端連接，所述控制器的輸出端與所述加熱元件連接，所述控制器根據(jù)接收到的所述第一溫度傳感器的溫度信號(hào)以控制所述加熱元件的啟停。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱裝置，其特征在于，所述第一單向閥為電磁閥，所述自動(dòng)控制系統(tǒng)還包括壓力表，所述壓力表設(shè)于所述導(dǎo)熱管體上并與所述控制器的輸入端連接，所述控制器根據(jù)接收到的所述壓力表的壓力信號(hào)以控制所述第一單向閥的開閉。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱裝置，其特征在于，所述第二單向閥為電磁閥，所述自動(dòng)控制系統(tǒng)還包括感應(yīng)器和第二溫度傳感器，所述感應(yīng)器設(shè)于所述擴(kuò)散爐爐門上并與所述控制器的輸入端連接，所述第二溫度傳感器設(shè)于所述擴(kuò)散爐中并與所述控制器的輸入端連接，所述控制器根據(jù)接收到的感應(yīng)器的爐門開關(guān)信號(hào)以控制所述第二單向閥的開啟，所述控制器根據(jù)接收到的所述第二溫度傳感器的溫度信號(hào)以控制所述第二單向閥的關(guān)閉。
9.根據(jù)權(quán)利要求6或8所述的加熱裝置，其特征在于，所述溫度傳感器為熱電偶。
10.一種保溫?cái)U(kuò)散爐系統(tǒng)，包括載氣源、擴(kuò)散源以及擴(kuò)散爐，所述載氣源中載氣攜帶所述擴(kuò)散源中擴(kuò)散元素經(jīng)一進(jìn)氣管輸送至所述擴(kuò)散爐中，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1-9任一所述的加熱裝置，所述載氣源中載氣經(jīng)所述加熱裝置加熱后輸送至所述擴(kuò)散爐中，所述加熱裝置與所述擴(kuò)散爐連接同一載氣源或不同載氣源。