技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種集合式干法制絨裝置，包括前清洗機(jī)構(gòu)、后清洗機(jī)構(gòu)、自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)和RIE干法制絨機(jī)；前清洗機(jī)構(gòu)與自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端連接；后清洗機(jī)構(gòu)與自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的出料端連接；RIE干法制絨機(jī)與自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)連接。本實(shí)用新型將前清洗，干法制絨，后清洗整合到一臺(tái)設(shè)備上，中間用自動(dòng)化硅片上下料和傳輸，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，降低生產(chǎn)成本。在此基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還提供了一種采用該集合式干法制絨裝置的生產(chǎn)線。

技術(shù)研發(fā)人員：上官泉元;譚興波;楊虎;李妙
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江西比太科技有限公司
文檔號(hào)碼：201720327974
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.30
技術(shù)公布日：2017.10.27