技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及硅片吸筆領(lǐng)域,具體是一種新型批量插卸硅片裝置。該新型批量插卸硅片裝置,包括手握持面板。本實用新型是通過底板、鏤空盒、第一公共氣盒、第二公共氣盒和手握持面板組合安裝,通過此種安裝方式,為了便于兩組錯位,能直接從花籃中取出,裝置的底部安裝有多個吸筆頭氣道盒,且多個吸筆頭氣道盒分別與第一公共氣盒和第二公共氣盒連接,通過其可以對硅片進行吸附,此種設(shè)計是根據(jù)現(xiàn)有花籃之間距設(shè)計,能直接在花籃中取出硅片,大大提高工作效率;手推移動錯位塊可以對吸筆頭氣道盒的相對位置進行調(diào)節(jié)。此外,該新型批量插卸硅片裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,使用可靠穩(wěn)定,適合推廣使用。
技術(shù)研發(fā)人員:劉麗琴
受保護的技術(shù)使用者:劉麗琴
文檔號碼:201720348452
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.05
技術(shù)公布日:2017.11.10