本技術涉及顯示,特別是涉及一種顯示面板及其制作方法、顯示裝置。
背景技術:
1、近年來,oled(organic?light-emitting?diode,有機發(fā)光二極管)因其在顯示領域的巨大應用市場近年來被廣泛關注。與其他的顯示技術相比,oled模組具有較多的優(yōu)勢,例如,視角寬、響應速度快、無需背光照明、可實現柔性顯示等。
2、但目前的oled顯示產品的使用性能有待提升。
技術實現思路
1、基于此,有必要提供一種顯示面板及其制作方法、顯示裝置,旨在改善顯示面板的使用性能。
2、根據本技術的一個方面,提出一種顯示面板。所述顯示面板包括:襯底;驅動電路層,設置于所述襯底的一側,所述驅動電路層包括薄膜晶體管結構層和金屬走線,所述薄膜晶體管結構層包括第一保護層,所述第一保護層覆蓋所述金屬走線;其中,所述金屬走線包括遠離所述襯底的第一面以及與所述第一面相鄰的側面,所述第一保護層至少覆蓋所述金屬走線的側面,覆蓋所述金屬走線的側面的所述第一保護層為平整結構。
3、本技術實施例中的顯示面板,其薄膜晶體管結構層的第一保護層覆蓋金屬走線,其中,金屬走線包括遠離襯底的第一面以及與第一面相鄰的側面,第一保護層至少覆蓋金屬走線的側面,覆蓋金屬走線的側面的第一保護層為平整結構。也就是說,第一保護層保持平整及完整的形貌,未出現孔洞及缺損,由此,使得第一保護層可以將金屬走線完全覆蓋,從而對金屬走線起到有效的保護作用。此時,金屬走線不會接觸到刻蝕液,這樣就不會發(fā)生側向刻蝕,由此有利于避免水氧入侵到顯示區(qū),從而有利于改善顯示面板的使用性能。
4、在一些實施例中,所述金屬走線在所述顯示面板的厚度方向上的剖面結構為多邊形結構。
5、在一些實施例中,所述金屬走線在所述顯示面板的厚度方向上的剖面結構為梯形結構。
6、在一些實施例中,所述金屬走線包括層疊設置的第一金屬層、第二金屬層和第三金屬層,其中,所述第二金屬層位于所述第一金屬層背離所述襯底的一側,所述第三金屬層位于所述第二金屬層背離所述第一金屬層的一側,其中,所述第二金屬層與所述第一金屬層的材料不同,和/或,所述第二金屬層與所述第三金屬層的材料不同。
7、在一些實施例中,所述第一金屬層和所述第三金屬層的材料為鈦,所述第二金屬層的材料為鋁。
8、在一些實施例中,所述第一保護層還覆蓋所述金屬走線的所述第一面。
9、在一些實施例中,所述第一保護層為鈍化保護層。
10、在一些實施例中,所述金屬走線的數量為多根,多根所述金屬走線包括第一金屬走線和第二金屬走線,所述第一金屬走線的第二金屬層具有第一寬度,所述第二金屬走線的第二金屬層具有第二寬度;其中,所述第一寬度與所述第二寬度的差值的絕對值不超過第一寬度的10%,所述第一寬度與所述第二寬度的差值的絕對值不超過第二寬度的10%。
11、在一些實施例中,其特征在于,所述金屬走線包括vdd信號線和/或vdata信號線。
12、在一些實施例中,所述薄膜晶體管結構層包括還包括第一源漏金屬層,所述第一保護層位于所述第一源漏金屬層背離所述襯底的一側,所述金屬走線與所述第一源漏金屬層同層設置。
13、在一些實施例中,所述薄膜晶體管結構層還包括有源層、柵極絕緣層、柵極層和層間絕緣層,所述柵極絕緣層位于所述有源層和所述柵極層之間,所述層間絕緣層位于所述柵極層和所述第一源漏金屬層之間;所述金屬走線設置于所述層間絕緣層背離所述襯底的一側。
14、在一些實施例中,所述顯示面板還包括:第一電極層,設置于所述驅動電路層背離所述襯底的一側,所述第一電極層包括間隔設置的多個第一電極部;隔離層,設置于所述第一電極層背離所述襯底的一側,所述隔離層設置有多個用于暴露所述第一電極部的第一開口。
15、在一些實施例中,所述隔離層的材料為氮化硅。
16、在一些實施例中,所述顯示面板還包括:發(fā)光功能層,包括間隔設置的多個發(fā)光功能部,所述發(fā)光功能部設置于所述第一電極部背離所述襯底的一側;隔斷結構,隔斷相鄰的所述發(fā)光功能部;第二電極層,設置于所述發(fā)光功能層背離所述襯底的一側。
17、在一些實施例中,所述第二電極層包括間隔設置的多個第二電極部,所述第二電極部設置于所述發(fā)光功能部背離所述襯底的一側,所述隔斷結構包括導電材料,所述第二電極部與所述隔斷結構電連接。
18、在一些實施例中,所述隔斷結構包括隔離體和阻擋部,所述阻擋部位于所述隔離體背離所述襯底的一側,所述隔離體的頂表面在所述襯底的正投影位于所述阻擋部的底表面在所述襯底的正投影內。
19、在一些實施例中,所述隔斷結構還包括承載部,所述承載部設置于所述隔離體靠近所述襯底的一側,所述隔離體的底表面在所述襯底的正投影位于所述承載部的頂表面在所述襯底的正投影內;所述隔離體和所述承載部均包括導電材料,所述第二電極部與所述隔離體和所述承載部中的至少一者電連接。
20、在一些實施例中,所述隔斷結構界定出多個第二開口,所述發(fā)光功能部和所述第二電極部設置于所述第二開口內,所述第一開口在所述襯底上的正投影位于所述第二開口在所述襯底上的正投影之內。
21、根據本技術的另一個方面,提出一種顯示面板,所述顯示面板包括:襯底;驅動電路層,設置于所述襯底的一側,所述驅動電路層包括薄膜晶體管結構層和金屬走線,所述薄膜晶體管結構層包括第一保護層,所述第一保護層覆蓋所述金屬走線;第二保護層,設置于所述第一保護層背離所述金屬走線的一側,所述金屬走線在所述襯底的正投影位于所述第二保護層在所述襯底的正投影內。
22、在一些實施例中,所述顯示面板還包括:第一電極層,設置于所述驅動電路層背離所述襯底的一側,所述第一電極層包括間隔設置的多個第一電極部;隔離層,設置于所述第一電極層背離所述襯底的一側,所述隔離層設置有多個用于暴露所述第一電極部的第一開口。
23、在一些實施例中,所述顯示面板具有顯示區(qū)和非顯示區(qū),所述非顯示區(qū)包括邊框區(qū),所述金屬走線位于所述邊框區(qū)或顯示區(qū),所述第二保護層與所述隔離層同層設置且材質相同。
24、在一些實施例中,所述隔離層的材料為氮化硅。
25、根據本技術的又一個方面,提出一種顯示裝置,包括上述任一實施例中的顯示面板。
26、根據本技術的再一個方面,提出一種顯示面板的制作方法,所述制作方法包括:
27、提供基板,所述基板包括襯底、位于所述襯底一側的驅動電路層、位于所述驅動電路層背離所述襯底一側的第一電極層,所述第一電極層包括間隔設置的多個第一電極部,其中,所述驅動電路層包括薄膜晶體管結構層和金屬走線,所述薄膜晶體管結構層包括第一保護層,所述第一保護層覆蓋所述金屬走線的遠離所述襯底的第一面以及所述金屬走線的與所述第一面相鄰的側面;
28、形成第二保護層,所述第二保護層設置于所述第一保護層背離所述金屬走線的一側,所述金屬走線在所述襯底的正投影位于所述第二保護層在所述襯底的正投影內。
29、在一些實施例中,所述顯示面板具有顯示區(qū)和非顯示區(qū),所述非顯示區(qū)包括邊框區(qū),所述金屬走線位于所述邊框區(qū);所述制作方法還包括:
30、形成覆蓋所述第一電極層的隔離材料層,所述隔離材料層由所述顯示區(qū)延伸至所述邊框區(qū),且覆蓋所述第一保護層位于所述邊框區(qū)的部分,其中,所述隔離層材料層延伸至所述邊框區(qū)的部分為所述第二保護層;
31、在所述隔離材料層上形成第一過孔;
32、在所述隔離材料層上形成金屬圖案層,所述金屬圖案層包括圖案開口,所述圖案開口露出部分所述隔離材料層,所述圖案開口在所述基板上的正投影與所述第一電極部在所述基板上的正投影有交疊;
33、對由所述圖案開口露出的所述隔離材料層進行圖案化處理,并在所述隔離層材料層形成用于暴露第一電極部的第一開口。
34、在一些實施例中,所述制作方法還包括:
35、在對由所述圖案開口露出的所述隔離材料層進行圖案化處理的同時,去除所述隔離材料層的位于所述金屬走線上的部分。