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一種P型太陽能電池的制備方法及P型太陽能電池與流程

文檔序號:40562951發(fā)布日期:2025-01-03 11:23閱讀:10來源:國知局
一種P型太陽能電池的制備方法及P型太陽能電池與流程

本發(fā)明涉及光伏,特別是涉及一種p型太陽能電池的制備方法及p型太陽能電池。


背景技術(shù):

1、ibc(interdigitated?back?contact)電池是全背電極接觸晶硅太陽能電池的簡稱,ibc電池的特點(diǎn)是向光面無柵線,背光面正負(fù)金屬柵線呈指狀交叉排列,從而,朝向太陽的ibc電池的向光面呈全黑色,看不到金屬柵線。這種結(jié)構(gòu)使得ibc電池向光側(cè)“零遮擋”,從而增加了光的吸收和利用,在同等面積的情況下,帶來更高的發(fā)電效率,并且,外表更加美觀。

2、由于磷與硅相溶性差,導(dǎo)致拉棒時磷分布不均,最終切割得到的n型硅片的品質(zhì)不高,使得采用n型硅片制備得到的ibc電池的質(zhì)量較差。

3、現(xiàn)有技術(shù)中,采用p型硅片制備得到的p型ibc電池的制備過程中,在背光面p型區(qū)域和n型區(qū)域形成之后,需要對向光面進(jìn)行制絨,通常會對p型區(qū)域和向光面一起進(jìn)行制絨,但是制絨的時候,需要考慮對背光面n型區(qū)域的影響,只能在有限的范圍內(nèi)調(diào)整制絨參數(shù)。此外,p型區(qū)域?yàn)榻q面結(jié)構(gòu),制備電極過程中p型區(qū)域與電極漿料的接觸效果較差,對p型ibc電池的光電轉(zhuǎn)換效率造成影響。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種p型太陽能電池的制備方法及p型太陽能電池,旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中p型ibc電池的制備過程中,制絨的時候,需要考慮對背光面n型區(qū)域的影響,只能在有限的范圍內(nèi)調(diào)整制絨參數(shù),以及p型區(qū)域?yàn)榻q面結(jié)構(gòu),制備電極過程中p型區(qū)域與電極漿料的接觸效果較差,對p型ibc電池的光電轉(zhuǎn)換效率造成影響的問題。

2、本發(fā)明的第一方面,提供一種p型太陽能電池的制備方法,所述方法包括:

3、提供p型硅片,所述p型硅片的第一表面包括:p型區(qū)域和n型區(qū)域;在所述p型硅片的第一表面中的n型區(qū)域依次層疊有隧穿氧化層、磷摻雜多晶硅層、磷硅玻璃層;所述p型硅片的第一表面中的p型區(qū)域裸露;

4、以所述n型區(qū)域的所述磷硅玻璃層作為第一掩膜層,對所述p型區(qū)域進(jìn)行拋光,使得所述p型區(qū)域形成拋光結(jié)構(gòu);在所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)上形成第二掩膜層;

5、在所述第二掩膜層的保護(hù)作用下,對所述p型硅片的第二表面進(jìn)行制絨,使得所述第二表面形成絨面結(jié)構(gòu);所述第一表面和所述第二表面相對分布。

6、本發(fā)明中,提供p型硅片,所述p型硅片的第一表面包括:p型區(qū)域和n型區(qū)域;在所述p型硅片的第一表面中的n型區(qū)域依次層疊有隧穿氧化層、磷摻雜多晶硅層、磷硅玻璃層;所述p型硅片的第一表面中的p型區(qū)域裸露;以所述n型區(qū)域的所述磷硅玻璃層作為第一掩膜層,對所述p型區(qū)域進(jìn)行拋光,使得所述p型區(qū)域形成拋光結(jié)構(gòu);所述p型區(qū)域形成拋光結(jié)構(gòu),便于后期制備電極時,p型區(qū)域與電極漿料形成更好的接觸,可以提升p型太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率;n型區(qū)域的所述磷硅玻璃層作為第一掩膜層,可以對n型區(qū)域進(jìn)行保護(hù),防止拋光時n型區(qū)域結(jié)構(gòu)受到破壞。在所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)上形成第二掩膜層,第二掩膜層可以對所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù);在所述第二掩膜層的保護(hù)作用下,對所述p型硅片的第二表面進(jìn)行制絨,使得所述第二表面形成絨面結(jié)構(gòu);所述第二表面形成絨面結(jié)構(gòu)可以增強(qiáng)光吸收,提高p型太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率;由于所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)有第二掩膜層進(jìn)行保護(hù),可以使得第二表面制絨參數(shù)的調(diào)節(jié)范圍增大,制絨的工藝窗口變寬。

7、可選的,所述對所述p型區(qū)域進(jìn)行拋光的時間為1min至10min,所述對所述p型區(qū)域進(jìn)行拋光的溫度為50℃至70℃。

8、可選的,所述在所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)上形成第二掩膜層包括:

9、對所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)進(jìn)行氧化,在所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)上形成第二掩膜層。

10、可選的,所述對所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)進(jìn)行氧化的溫度為700℃至900℃,所述對所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)進(jìn)行氧化的時間為5min至30min。

11、可選的,所述第二掩膜層的厚度為10nm至50nm。

12、可選的,所述對所述p型硅片的第二表面進(jìn)行制絨的溫度為70℃至85℃,所述對所述p型硅片的第二表面進(jìn)行制絨的時間為300s至600s。

13、可選的,所述對所述p型硅片的第二表面進(jìn)行制絨之后,所述方法還包括:

14、去除所述第二掩膜層和所述n型區(qū)域的所述磷硅玻璃層;

15、在所述p型硅片的兩側(cè)依序?qū)盈B形成氧化鋁層及氮化硅層;

16、制備電極。

17、可選的,所述p型區(qū)域和所述n型區(qū)域通過激光消融工藝形成。

18、本發(fā)明的第二方面,提供一種p型太陽能電池,采用如第一方面所述的p型太陽能電池的制備方法制備得到。

19、可選的,所述p型太陽能電池包括p型全背電極接觸晶硅太陽能電池。



技術(shù)特征:

1.一種p型太陽能電池的制備方法,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的p型太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述對所述p型區(qū)域進(jìn)行拋光的時間為1min至10min,所述對所述p型區(qū)域進(jìn)行拋光的溫度為50℃至70℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的p型太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述在所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)上形成第二掩膜層包括:

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的p型太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述對所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)進(jìn)行氧化的溫度為700℃至900℃,所述對所述磷硅玻璃層以及所述拋光結(jié)構(gòu)進(jìn)行氧化的時間為5min至30min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的p型太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述第二掩膜層的厚度為10nm至50nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的p型太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述對所述p型硅片的第二表面進(jìn)行制絨的溫度為70℃至85℃,所述對所述p型硅片的第二表面進(jìn)行制絨的時間為300s至600s。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一所述的p型太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述對所述p型硅片的第二表面進(jìn)行制絨之后,所述方法還包括:

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一所述的p型太陽能電池的制備方法,其特征在于,所述p型區(qū)域和所述n型區(qū)域通過激光消融工藝形成。

9.一種p型太陽能電池,其特征在于,采用如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的p型太陽能電池的制備方法制備得到。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的p型太陽能電池,其特征在于,所述p型太陽能電池包括p型全背電極接觸晶硅太陽能電池。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種P型太陽能電池的制備方法及P型太陽能電池,涉及光伏技術(shù)領(lǐng)域。方法包括:提供P型硅片,P型硅片的第一表面包括:P型區(qū)域和N型區(qū)域;N型區(qū)域依次層疊有隧穿氧化層、磷摻雜多晶硅層、磷硅玻璃層;P型區(qū)域裸露;以N型區(qū)域的磷硅玻璃層作為第一掩膜層,對P型區(qū)域進(jìn)行拋光,使得P型區(qū)域形成拋光結(jié)構(gòu);在磷硅玻璃層以及拋光結(jié)構(gòu)上形成第二掩膜層;在第二掩膜層的保護(hù)作用下,對P型硅片的第二表面進(jìn)行制絨,使得第二表面形成絨面結(jié)構(gòu)。磷硅玻璃層對N型區(qū)域進(jìn)行保護(hù),P型區(qū)域形成拋光結(jié)構(gòu),便于后期與電極漿料形成更好的接觸。磷硅玻璃層以及拋光結(jié)構(gòu)有第二掩膜層進(jìn)行保護(hù),使得第二表面制絨參數(shù)的調(diào)節(jié)范圍增大。

技術(shù)研發(fā)人員:劉凱,章康平,石劍,蔡敬國,劉培培,王建明,介雷,姚川朋,周靜,李銘偉,金浩,張尋尋,周錦鳳,李家棟,周小寶,劉汪利,胥星星,劉駿,孫亞楠,鄭勝,馮維敏,沈杰,王芬,周雯,吳菲菲
受保護(hù)的技術(shù)使用者:一道新能源科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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