本發(fā)明涉及一種連續(xù)取料裝置，屬于晶圓測試。

背景技術(shù)：

1、晶圓因其本身非常的輕薄，且上面承載著很多ic貼片，因此在生產(chǎn)過程中，取放晶圓時就必須輕拿輕放，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓通常上下堆疊的放置在晶圓卡塞盒內(nèi)，但是堆疊放置的晶圓之間的間距較小不便于機械手拾取，且使用吸附拾取時，吸附力不足晶圓容易跌落、接觸面積較大會對晶圓造成接觸干擾。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供一種連續(xù)取料裝置，該連續(xù)取料裝置既便于將條形片伸入上下疊置的晶圓片之間并對條形片上方的晶圓片進行吸附拾取、搬運且可以有效避免因吸附力不足導致晶圓片跌落的情況，又通過多個凸起部與晶圓片局部面接觸，在保證對晶圓片吸附力的同時減少與晶圓片的接觸干擾。

2、為達到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種連續(xù)取料裝置，包括：可沿水平方向移動的支撐板和晶圓卡塞盒，可沿豎直方向移動的所述晶圓卡塞盒內(nèi)設置有若干片沿豎直方向間隔排列的晶圓，所述支撐板的下表面安裝有一條形片，一端與支撐板的下表面密封連接的所述條形片的另一端水平向晶圓卡塞盒方向延伸，所述條形片的厚度小于相鄰晶圓之間的間距，使得所述條形片可伸入2個相鄰的晶圓之間；

3、所述條形片與支撐板連接一端的上表面開設有一氣槽，所述支撐板上開設有一與所述氣槽對應的氣孔，上端與真空發(fā)生器連通的所述氣孔的下端與條形片上的氣槽連通，所述條形片靠近晶圓卡塞盒一端的上表面開設有若干個吸附孔，每個所述吸附孔與氣槽之間均通過開設于條形片內(nèi)的氣道連通，每個所述吸附孔周向的外側(cè)均具有一凸起部，使得該凸起部的上表面高于條形片的上表面并可與晶圓的下表面接觸。

4、上述技術(shù)方案中進一步改進的方案如下：

5、1.?上述方案中，所述晶圓卡塞盒安裝于一頂升組件上，所述頂升組件包括：上基板、下基板、至少2根連接上基板與下基板的導柱、可轉(zhuǎn)動地安裝于上基板與下基板之間的絲桿和安裝于下基板下表面的電機，所述電機輸出軸的上端與絲桿的下端連接，所述絲桿上并位于上基板與下基板之間通過螺紋套裝有一活動塊，可沿絲桿上下移動的所述活動塊的外側(cè)連接有一下活動板，所述導柱可滑動地穿過該下活動板，所述上基板的上方設置有一上活動板，該上活動板與下活動板之間通過至少2個連接板連接，所述上活動板的上表面安裝有一載座，所述晶圓卡塞盒安裝于該載座上。

6、2.?上述方案中，所述載座的上表面設置有至少2個與晶圓卡塞盒配合的限位塊。

7、4.?上述方案中，所述限位塊為l型限位塊。

8、5.?上述方案中，4個所述限位塊分別設置于晶圓卡塞盒下端的4個拐角處。

9、6.?上述方案中，所述支撐板安裝于水平傳送機構(gòu)上。

10、7.?上述方案中，若干個氣道之間相互連通。

11、8.?上述方案中，一嵌入所述氣槽內(nèi)的密封圈與支撐板的下表面擠壓接觸。

12、由于上述技術(shù)方案的運用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點：

13、本發(fā)明連續(xù)取料裝置，其可沿豎直方向移動的晶圓卡塞盒內(nèi)設置有若干片沿豎直方向間隔排列的晶圓，支撐板的下表面安裝有一條形片，一端與支撐板的下表面密封連接的條形片的另一端水平向晶圓卡塞盒方向延伸，條形片的厚度小于相鄰晶圓之間的間距，使得條形片可伸入2個相鄰的晶圓之間，條形片與支撐板連接一端的上表面開設有一氣槽，支撐板上開設有一與氣槽對應的氣孔，上端與真空發(fā)生器連通的氣孔的下端與條形片上的氣槽連通，條形片靠近晶圓卡塞盒一端的上表面開設有若干個吸附孔，每個吸附孔與氣槽之間均通過開設于條形片內(nèi)的氣道連通，每個吸附孔周向的外側(cè)均具有一凸起部，使得該凸起部的上表面高于條形片的上表面并可與晶圓的下表面接觸，既便于將條形片伸入上下疊置的晶圓片之間并對條形片上方的晶圓片進行吸附拾取、搬運且可以有效避免因吸附力不足導致晶圓片跌落的情況，又通過多個凸起部與晶圓片局部面接觸，在保證對晶圓片吸附力的同時減少與晶圓片的接觸干擾，還可以通過疊置有多個晶圓片的卡塞盒在豎直方向上的逐級移動，實現(xiàn)條形片對在豎直方向上間隔排列的晶圓片的逐片拾取作業(yè)，提高對晶圓進行拾取、運送的效率。

技術(shù)特征：

1.一種連續(xù)取料裝置，包括：可沿水平方向移動的支撐板（15）和晶圓卡塞盒（10），其特征在于：可沿豎直方向移動的所述晶圓卡塞盒（10）內(nèi)設置有若干片沿豎直方向間隔排列的晶圓（100），所述支撐板（15）的下表面安裝有一條形片（16），一端與支撐板（15）的下表面密封連接的所述條形片（16）的另一端水平向晶圓卡塞盒（10）方向延伸，所述條形片（16）的厚度小于相鄰晶圓（100）之間的間距，使得所述條形片（16）可伸入2個相鄰的晶圓（100）之間；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)取料裝置，其特征在于：所述晶圓卡塞盒（10）安裝于一頂升組件上，所述頂升組件包括：上基板（1）、下基板（2）、至少2根連接上基板（1）與下基板（2）的導柱（3）、可轉(zhuǎn)動地安裝于上基板（1）與下基板（2）之間的絲桿（4）和安裝于下基板（2）下表面的電機（5），所述電機（5）輸出軸的上端與絲桿（4）的下端連接，所述絲桿（4）上并位于上基板（1）與下基板（2）之間通過螺紋套裝有一活動塊（6），可沿絲桿（4）上下移動的所述活動塊（6）的外側(cè)連接有一下活動板（71），所述導柱（3）可滑動地穿過該下活動板（71），所述上基板（1）的上方設置有一上活動板（72），該上活動板（72）與下活動板（71）之間通過至少2個連接板（8）連接，所述上活動板（72）的上表面安裝有一載座（9），所述晶圓卡塞盒（10）安裝于該載座（9）上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連續(xù)取料裝置，其特征在于：所述載座（9）的上表面設置有至少2個與晶圓卡塞盒（10）配合的限位塊（91）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的連續(xù)取料裝置，其特征在于：所述限位塊（91）為l型限位塊。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的連續(xù)取料裝置，其特征在于：4個所述限位塊（91）分別設置于晶圓卡塞盒（10）下端的4個拐角處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)取料裝置，其特征在于：所述支撐板（15）安裝于水平傳送機構(gòu)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)取料裝置，其特征在于：若干個氣道（163）之間相互連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)取料裝置，其特征在于：一嵌入所述氣槽（161）內(nèi)的密封圈（164）與支撐板（15）的下表面擠壓接觸。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種連續(xù)取料裝置，包括：可沿水平方向移動的支撐板和晶圓卡塞盒，可沿豎直方向移動的所述晶圓卡塞盒內(nèi)設置有若干片沿豎直方向間隔排列的晶圓，所述支撐板的下表面安裝有一條形片，所述條形片與支撐板連接一端的上表面開設有一氣槽，所述支撐板上開設有一與所述氣槽對應的氣孔，所述條形片靠近晶圓卡塞盒一端的上表面開設有若干個吸附孔，每個所述吸附孔周向的外側(cè)均具有一凸起部。本發(fā)明既便于將條形片伸入上下疊置的晶圓片之間并對條形片上方的晶圓片進行吸附拾取、搬運且可以有效避免因吸附力不足導致晶圓片跌落的情況，又通過多個凸起部與晶圓片局部面接觸，在保證對晶圓片吸附力的同時減少與晶圓片的接觸干擾。

技術(shù)研發(fā)人員：廉哲,王勇,謝智寅,唐仁偉
受保護的技術(shù)使用者：蘇州聯(lián)訊儀器股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6