本發(fā)明涉及一種半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，更詳細地，涉及可利用短距離無線通信來更有效地管理和監(jiān)控半導體工藝用藥液儲存容器的系統(tǒng)。

背景技術：

1、通常，光刻工藝包括使預先進行了一系列半導體制造工藝的晶圓位于涂敷裝置的旋轉卡盤(spin?chuck)上來涂敷(coating)光刻膠(photoresist)的工藝。

2、其中，光刻膠包括樹脂(resin)、作為通過光活性化的光敏劑的抑制劑(inhibitor)以及液相(liquid?state)的溶劑(solvent)。

3、而且，在收容在由玻璃瓶制成的容器的狀態(tài)下，光刻膠可通過結合在容器蓋的光刻膠供給管(鐵氟龍管)供給到光刻膠供給管線，用光刻膠供給管線供給的光刻膠可經由多個閥門和中間罐來供給到涂敷裝置。

4、并且，在光刻法工藝中，為了將準確量的光刻膠填充到容器而需確認光刻膠的濃度、污染以及其他質量要求，在容器內填充光刻膠之后，將收容有光刻膠的容器與設置于半導體制造設備內的藥液供給裝置相連接。

5、但是，在設置這種容器的過程中，也會發(fā)生如下的情況，因工作人員的失誤而混用蓋并錯誤安裝在另一容器，或容器并未準確放置在正確位置。

6、在此情況下，當然，隨著在相應設備中執(zhí)行的整體工藝的中斷，將會發(fā)生非常大的損失，也可能發(fā)生因并未適當供給藥液而需要廢棄預先制造的產品的情況。

7、因此，需要一種方法來解決這些問題。

8、現(xiàn)有技術文獻

9、專利文獻

10、專利文獻0001：韓國公開專利第10-2014-0047636號

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明為了解決上述現(xiàn)有技術的問題而提出，本發(fā)明的目的在于，掌握用于儲存在半導體工藝中使用的藥液的藥液儲存容器的移動路徑，并且防止噴嘴的混用，另一方面，隨著自動判斷藥液儲存容器的保質期、廢棄與否，可以有效地執(zhí)行半導體工藝管理。

2、本發(fā)明的問題并不局限于以上提及的問題，本發(fā)明所屬技術領域的普通技術人員可通過以下的記載明確理解未提及的其他問題。

3、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的利用短距離無線通信的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)包括：藥液供給組件，將收容在藥液儲存容器的藥液供給到執(zhí)行半導體工藝的區(qū)域，生成與上述藥液儲存容器相關的多個信息，上述藥液儲存容器收容有用于半導體工藝的藥液；以及監(jiān)控管理部，接收在上述藥液供給組件所生成的多個信息來判斷上述藥液供給組件的操作情況，上述藥液供給組件包括：噴嘴安裝單元，以能夠拆卸的方式設置于上述藥液儲存容器，包括噴嘴識別標簽，上述噴嘴識別標簽儲存有相應藥液儲存容器的噴嘴相關信息；容器放置單元，以能夠使上述藥液儲存容器放置于內側的方式設置，獲取容器放置信息及容器相關信息，上述容器放置信息表示上述藥液儲存容器的放置與否，上述容器相關信息從預先安裝在上述藥液儲存容器的容器識別標簽通過短距離無線通信獲??；以及噴嘴信息獲取單元，通過短距離無線通信從上述噴嘴識別標簽獲取上述噴嘴相關信息并將其傳輸?shù)缴鲜鋈萜鞣胖脝卧獋取?/p>

4、在此情況下，上述噴嘴安裝單元包括：第一噴嘴安裝部，圍繞上述藥液儲存容器的至少一部分周圍，形成有上述噴嘴識別標簽；以及第二噴嘴安裝部，以圍繞上述藥液儲存容器的剩余周圍的形態(tài)結合在上述第一噴嘴安裝部。

5、而且，上述容器放置單元可包括：容器支架，在內部形成有放置上述藥液儲存容器的放置空間；以及通信板，形成于上述容器支架，根據(jù)識別上述藥液儲存容器是否位于上述放置空間內來生成容器放置信息，獲取上述容器相關信息及上述噴嘴相關信息并將其傳輸?shù)缴鲜霰O(jiān)控管理部。

6、并且，上述噴嘴信息獲取單元可包括：識別天線，識別上述噴嘴識別標簽并獲取上述噴嘴相關信息，將上述噴嘴相關信息傳輸?shù)缴鲜鋈萜鞣胖脝卧獋龋灰约肮潭ㄖЪ?，用于固定上述識別天線。

7、另一方面，上述藥液供給組件還可以包括安裝框架，在上述安裝框架中，多個上述噴嘴信息獲取單元及多個上述容器放置單元彼此1:1匹配，上述藥液供給組件能夠引入多個藥液儲存容器。

8、并且，本發(fā)明還可以包括網關，上述網關對從多個上述噴嘴信息獲取單元及多個上述容器放置單元獲取的上述容器放置信息、上述容器相關信息以及上述噴嘴相關信息進行區(qū)分并單獨傳輸?shù)缴鲜霰O(jiān)控管理部，對通過上述監(jiān)控管理部生成的無線通信主機協(xié)議信息進行區(qū)分并單獨傳輸?shù)蕉鄠€上述噴嘴信息獲取單元及多個上述容器放置單元。

9、與此同時，本發(fā)明還可以包括自主檢測終端，上述自主檢測終端接收上述容器放置信息，監(jiān)控上述藥液儲存容器裝載到上述容器放置單元或從其卸載的過程的現(xiàn)狀及錯誤發(fā)生情況。

10、在此情況下，上述自主檢測終端可包括警報部，上述警報部接收上述容器放置信息，以在上述藥液儲存容器裝載到上述容器放置單元或從其卸載的過程中生成警報。

11、并且，本發(fā)明還可以包括發(fā)聲裝置，當上述監(jiān)控管理部對上述藥液供給組件判斷為發(fā)生預設的錯誤情況時，上述發(fā)聲裝置通過上述監(jiān)控管理部的控制指令再生聲音并發(fā)出警報。

12、用于解決上述問題的本發(fā)明的利用短距離無線通信的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)具有如下的優(yōu)點，隨著監(jiān)控管理部接收并使用從安裝于藥液儲存容器的噴嘴安裝單元及放置藥液儲存容器的容器放置單元分別生成并通過短距離無線通信匯集的噴嘴相關信息、容器放置信息以及容器相關信息，可以有效地執(zhí)行半導體工藝管理。

13、尤其，在本發(fā)明中，監(jiān)控管理部可掌握藥液儲存容器的移動路徑，并防止噴嘴蓋的混用，另一方面，隨著自動判斷藥液儲存容器的保質期、廢棄與否，根本上消除工藝失敗原因，在工藝操作過程中大幅度降低整體費用并提高生產性。

14、本發(fā)明的效果并不局限于以上提及的效果，本發(fā)明所屬技術領域的普通技術人員可通過發(fā)明要求保護范圍的記載明確理解未提及的其他效果。

技術特征：

1.一種半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，

2.根據(jù)權利要求1所述的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，上述噴嘴安裝單元包括：

3.根據(jù)權利要求1所述的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，上述容器放置單元包括：

4.根據(jù)權利要求1所述的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，上述噴嘴信息獲取單元包括：

5.根據(jù)權利要求1所述的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，

6.根據(jù)權利要求5所述的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，還包括網關，上述網關對從多個上述噴嘴信息獲取單元及多個上述容器放置單元獲取的上述容器放置信息、上述容器相關信息以及上述噴嘴相關信息進行區(qū)分并單獨傳輸?shù)缴鲜霰O(jiān)控管理部，對通過上述監(jiān)控管理部生成的無線通信主機協(xié)議信息進行區(qū)分并單獨傳輸?shù)蕉鄠€上述噴嘴信息獲取單元及多個上述容器放置單元。

7.根據(jù)權利要求1所述的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，還包括自主檢測終端，上述自主檢測終端接收上述容器放置信息，監(jiān)控上述藥液儲存容器裝載到上述容器放置單元或從其卸載的過程的現(xiàn)狀及錯誤發(fā)生情況。

8.根據(jù)權利要求7所述的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，上述自主檢測終端包括警報部，上述警報部接收上述容器放置信息，以在上述藥液儲存容器裝載到上述容器放置單元或從其卸載的過程中生成警報。

9.根據(jù)權利要求1所述的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，其特征在于，還包括發(fā)聲裝置，當上述監(jiān)控管理部對上述藥液供給組件判斷為發(fā)生預設的錯誤情況時，上述發(fā)聲裝置通過上述監(jiān)控管理部的控制指令再生聲音并發(fā)出警報。

技術總結
本發(fā)明的利用短距離無線通信的半導體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)包括：藥液供給組件，將收容在藥液儲存容器的藥液供給到執(zhí)行半導體工藝的區(qū)域，生成與藥液儲存容器相關的多個信息，藥液儲存容器收容有用于半導體工藝的藥液；以及監(jiān)控管理部，接收在藥液供給組件所生成的多個信息來判斷藥液供給組件的操作情況，藥液供給組件包括：噴嘴安裝單元，以能夠拆卸的方式設置于藥液儲存容器，包括儲存有相應藥液儲存容器的噴嘴相關信息的噴嘴識別標簽；容器放置單元，以能夠使藥液儲存容器放置于內側的方式設置，獲取容器放置信息及容器相關信息；以及噴嘴信息獲取單元，通過短距離無線通信從噴嘴識別標簽獲取噴嘴相關信息并將其傳輸?shù)饺萜鞣胖脝卧獋取?br/>
技術研發(fā)人員：洪淳錫,文淳石,金權洙,張世炫
受保護的技術使用者：半導體科技全球有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/6