本技術(shù)涉及晶圓運(yùn)輸盒定位，尤其涉及一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒。

背景技術(shù)：

1、目前在晶圓的加工生產(chǎn)線上，通常設(shè)置有定位基準(zhǔn)平臺(tái)(操作平臺(tái))，定位基準(zhǔn)平臺(tái)上設(shè)置有定位柱結(jié)構(gòu)，晶圓運(yùn)輸盒底部對(duì)應(yīng)設(shè)置有定位基準(zhǔn)，加工時(shí)，需將晶圓運(yùn)輸盒放置于定位基準(zhǔn)平臺(tái)上，并使定位柱插入定位定位基準(zhǔn)內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)晶圓運(yùn)輸盒的定位操作，此時(shí)，晶圓運(yùn)輸盒內(nèi)晶圓與定位基準(zhǔn)平臺(tái)的距離即為晶圓高度，一般第一片晶圓的晶圓高度為44mm(行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))，只有在這個(gè)高度才能確保機(jī)械手可以正常的抓取和放置晶圓，可以理解，定位基準(zhǔn)的作用是定位，即確保晶圓高度在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及其誤差范圍內(nèi)。

2、而目前的晶圓運(yùn)輸盒上的定位基準(zhǔn)和殼體是一體的，因定位基準(zhǔn)的厚度較大，在注塑時(shí)會(huì)出現(xiàn)縮水問(wèn)題，所以不能一次成型，需要將定位基準(zhǔn)分成兩部分二次注塑成型為定位基準(zhǔn)，再將成型好的定位基準(zhǔn)二次注塑成型為殼體，期間涉及到兩次二次注塑，最終成型在殼體的定位基準(zhǔn)位置不穩(wěn)定，從而影響盒體的精準(zhǔn)點(diǎn)位，具體而言，若多個(gè)定位基準(zhǔn)中有一個(gè)產(chǎn)生變形，將會(huì)使得整個(gè)盒體傾斜，這對(duì)晶圓的高度尺寸影響很大，且上述定位基準(zhǔn)的生產(chǎn)過(guò)程復(fù)雜、生產(chǎn)效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是針對(duì)背景技術(shù)存在的技術(shù)問(wèn)題，提出一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，包括盒體，盒體于殼體外壁上設(shè)置有定位基準(zhǔn)，定位基準(zhǔn)包括定位槽以及導(dǎo)向裝置，定位槽設(shè)置在盒體上，導(dǎo)向裝置與定位槽可拆卸連接。

2、進(jìn)一步地，定位槽設(shè)置在盒體底部、且與盒體一體成型。

3、進(jìn)一步地，定位槽包括第一卡接部，導(dǎo)向裝置包括第二卡接部，第一卡接部與第二卡接部卡扣連接，以實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向裝置與定位槽的可拆卸連接。

4、進(jìn)一步地，第一卡接部為卡扣或卡槽，第二卡接部為與第一卡接部相匹配的卡槽或卡扣。

5、進(jìn)一步地，定位槽還包括凸起于盒體設(shè)置的定位主體，定位主體于頂部設(shè)置有插裝口。

6、進(jìn)一步地，導(dǎo)向裝置包括安裝端口，安裝端口用于與定位主體連接。

7、進(jìn)一步地，安裝端口于頂部?jī)A斜設(shè)置有導(dǎo)向面。

8、進(jìn)一步地，定位主體于外側(cè)壁上設(shè)置有定位筋，當(dāng)安裝端口與定位主體連接時(shí)，定位筋與安裝端口的內(nèi)側(cè)壁相接。

9、進(jìn)一步地，導(dǎo)向裝置于頂部端面的周側(cè)向下延伸出支撐壁，第二卡接部設(shè)置在支撐壁上，第一卡接部分布在定位主體周側(cè)、并凸起于盒體設(shè)置，當(dāng)安裝端口與定位主體連接時(shí)，第一卡接部與第二卡接部卡接。

10、進(jìn)一步地，盒體于定位主體周側(cè)設(shè)置有支撐平臺(tái)，當(dāng)安裝端口與定位主體連接時(shí)，支撐平臺(tái)用于與支撐壁底部以及安裝端口側(cè)壁底部相接，以對(duì)支撐壁以及安裝端口側(cè)壁起到支撐作用。

11、本實(shí)用新型的晶圓運(yùn)輸盒與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下有益的技術(shù)效果：因本實(shí)用新型將定位基準(zhǔn)分為定位槽以及導(dǎo)向裝置，定位槽設(shè)置在盒體上，導(dǎo)向裝置與定位槽可拆卸連接，通過(guò)上述結(jié)構(gòu)設(shè)置，本實(shí)用新型變相減小了定位基準(zhǔn)的體積和厚度，具體而言，本實(shí)用新型，無(wú)需將整個(gè)定位基準(zhǔn)與盒體注塑成型，僅需將定位槽與盒體一體注塑成型即可，使盒體注塑時(shí)可一次成型，這樣生產(chǎn)出來(lái)的定位基準(zhǔn)穩(wěn)定性更強(qiáng)，不易變形，解決了“傳統(tǒng)的定位基準(zhǔn)，需將整個(gè)定位基準(zhǔn)注塑于盒體，而定位基準(zhǔn)的厚度往往較大，在注塑時(shí)會(huì)出現(xiàn)縮水，所以不能一次成型，需要將定位基準(zhǔn)分成兩部分二次注塑成型，再將成型好的定位基準(zhǔn)二次注塑成型為殼體，期間涉及到兩次二次注塑，最終成型在殼體的定位基準(zhǔn)位置容易不穩(wěn)定，對(duì)晶圓的高度尺寸影響很大，且過(guò)程復(fù)雜、生產(chǎn)效率低?！钡募夹g(shù)問(wèn)題。

12、綜上，本實(shí)用新型的定位基準(zhǔn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于安裝，極大的提高了定位基準(zhǔn)安裝的便捷性，進(jìn)一步地，本實(shí)用新型的定位基準(zhǔn)成型時(shí)無(wú)需二次注塑，定位基準(zhǔn)更不易變形，使得盒體的定位更為精準(zhǔn)，以確保晶圓能保持在一個(gè)較為穩(wěn)定的高度尺寸，同時(shí)還提升了生產(chǎn)效率。

技術(shù)特征：

1.一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，包括盒體(1)，所述盒體(1)于外壁上設(shè)置有定位基準(zhǔn)(2)，其特征在于，所述定位基準(zhǔn)(2)包括定位槽(21)以及導(dǎo)向裝置(22)，所述定位槽(21)設(shè)置在所述盒體(1)上，且與所述盒體(1)一體成型，所述導(dǎo)向裝置(22)與所述定位槽(21)可拆卸連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述定位槽(21)設(shè)置在所述盒體(1)底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述定位槽(21)包括第一卡接部(211)，所述導(dǎo)向裝置(22)包括第二卡接部(221)，所述第一卡接部(211)與所述第二卡接部(221)卡扣連接，以實(shí)現(xiàn)所述導(dǎo)向裝置(22)與所述定位槽(21)的可拆卸連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述第一卡接部(211)為卡扣或卡槽，所述第二卡接部(221)為與所述第一卡接部(211)相匹配的卡槽或卡扣。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述定位槽(21)還包括凸起于所述盒體設(shè)置的定位主體(212)，所述定位主體(212)于頂部設(shè)置有插裝口(213)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述導(dǎo)向裝置(22)包括安裝端口(222)，所述安裝端口(222)用于與所述定位主體(212)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述安裝端口(222)于頂部?jī)A斜設(shè)置有導(dǎo)向面(223)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述定位主體(212)于外側(cè)壁上設(shè)置有定位筋(214)，當(dāng)所述安裝端口(222)與所述定位主體(212)連接時(shí)，所述定位筋(214)與所述安裝端口(222)的內(nèi)側(cè)壁相接。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述導(dǎo)向裝置(22)于頂部端面的周側(cè)向下延伸出支撐壁(224)，所述第二卡接部(221)設(shè)置在所述支撐壁(224)上，所述第一卡接部(211)分布在所述定位主體(212)周側(cè)、并凸起于所述盒體(1)設(shè)置，當(dāng)所述安裝端口(222)與所述定位主體(212)連接時(shí)，所述第一卡接部(211)與所述第二卡接部(221)卡接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，其特征在于，所述盒體(1)于所述定位主體(212)周側(cè)設(shè)置有支撐平臺(tái)(215)，當(dāng)所述安裝端口(222)與所述定位主體(212)連接時(shí)，所述支撐平臺(tái)(215)用于與所述支撐壁(224)底部以及所述安裝端口(222)側(cè)壁底部相接，以對(duì)所述支撐壁(224)以及所述安裝端口(222)側(cè)壁起到支撐作用。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)一種定位基準(zhǔn)可拆卸的晶圓運(yùn)輸盒，包括盒體，盒體于外壁上設(shè)置有定位基準(zhǔn)，定位基準(zhǔn)包括定位槽以及導(dǎo)向裝置，定位槽設(shè)置在盒體上，導(dǎo)向裝置與定位槽可拆卸連接，通過(guò)上述結(jié)構(gòu)設(shè)置，本技術(shù)變相減小了定位基準(zhǔn)的體積和厚度，具體而言，本技術(shù)無(wú)需將整個(gè)定位基準(zhǔn)與盒體注塑成型，僅需將定位槽與盒體一體注塑成型即可，使盒體可一次注塑成型，極大的提高了定位基準(zhǔn)安裝的便捷性，進(jìn)一步地，因本技術(shù)的定位基準(zhǔn)成型時(shí)無(wú)需二次注塑，定位基準(zhǔn)相對(duì)來(lái)說(shuō)更不易變形，使得盒體的定位更為精準(zhǔn)，以確保晶圓能保持在一個(gè)較為穩(wěn)定的高度尺寸，提升了生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：邱摩西,何江波,劉汝拯,楊波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蕪湖義柏載具精密技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231122
技術(shù)公布日：2025/1/2