本技術涉及半導體加工，尤其涉及一種花籃放置狀態(tài)檢測機構及半導體加工設備。

背景技術：

1、一種半導體加工設備，需要將晶圓放置于花籃內(nèi)，花籃和晶圓整體放置于工作臺上，供機械手取送晶圓。在現(xiàn)有技術中，將導柱設置于花籃底面與傳感器之間，花籃的底面具有高于花籃底面的凸起，將花籃放置于半導體加工設備上時，花籃底部的凸起先與導柱接觸，花籃和晶圓的重力作用在導柱上，導柱向下移動使花籃平穩(wěn)的放置于工作臺上，同時導柱的下端觸發(fā)傳感器，通過導柱是否能觸發(fā)傳感器反應出花籃是否被放至到準確的位置，當花籃未放置好時，導柱不能觸發(fā)傳感器，此時控制器會控制報警裝置啟動。

2、針對不同尺寸或不同材質(zhì)的晶圓，晶圓的重量不同，晶圓和花籃規(guī)格的不同以及晶圓放置于花籃內(nèi)晶圓片數(shù)的不同，造成晶圓和花籃的整體重量為不確定值。晶圓和花籃的整體重量不同會導致在晶圓和花籃整體壓在導柱上時，導柱下降的位移量不同。但是現(xiàn)有技術中導柱觸發(fā)傳感器的行程是固定的，因此會存在以下幾個問題：一、對于裝有晶圓的重量輕的花籃下壓導柱，導柱下移的位移小于導柱觸發(fā)傳感器的行程，傳感器未被觸發(fā)，出現(xiàn)花籃放置好后報警裝置誤報警；二、對于裝有晶圓的重量較重的花籃未放置好時，下壓導柱，導柱下移的行程剛好觸發(fā)傳感器的行程，導致花籃擺放錯位，卻未啟動報警裝置報警，使機械手取送晶圓時與晶圓發(fā)生碰撞，造成經(jīng)濟損失；三、花籃底部凸起的高度不同，也會導致花籃放置于工作臺后，導柱下降的位移量不同，在操作過程中，傳感器無法準確檢測出花籃位置是否放置正確，操作人員操作起來難度較大。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種花籃放置狀態(tài)檢測機構及半導體加工設備，以解決花籃放置于半導體設備后半導體設備誤報警或不報警的問題。

2、為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

3、一方面，提供一種花籃放置狀態(tài)檢測機構，設置于工作臺上，所述工作臺上用于放置待測部件，所述花籃放置狀態(tài)監(jiān)測機構包括：

4、傳感器，設置于所述工作臺的下方；

5、導柱，所述導柱滑動穿設所述工作臺，所述導柱的第一端位于所述工作臺的下方，用于觸發(fā)所述傳感器，所述導柱的第二端位于所述工作臺的上方，用于與所述花籃底部接觸，所述導柱的長度可調(diào)節(jié)，且所述導柱的第二端與所述工作臺間距可調(diào)節(jié)；

6、彈性件，設置于所述導柱和所述工作臺之間，在花籃不施加力于所述導柱的第二端上時，所述彈性件被配置為使所述導柱復位。

7、作為優(yōu)選，所述導柱包括柱體和柱頭，所述柱頭的一端套設于所述柱體的一端外側，且所述柱頭與所述柱體螺接。

8、作為優(yōu)選，所述導柱還包括緊固件，所述緊固件的至少部分位于所述柱頭內(nèi)且與所述柱頭螺接，所述緊固件抵接于所述柱體的端面。

9、作為優(yōu)選，所述工作臺的下方設有固定板，所述固定板的一端連接有連接板，所述連接板與所述工作臺的下表面連接，所述固定板上設有供所述導柱的所述第一端穿設的開口，所述傳感器設置于所述固定板的下表面，所述傳感器用于檢測所述導柱的第一端。

10、作為優(yōu)選，所述彈性件包括彈簧，所述彈簧套設于所述導柱上，所述導柱上設有卡槽，所述卡槽內(nèi)設有卡簧，所述彈簧的一端與所述卡簧連接，所述彈簧的另一端與所述固定板連接。

11、作為優(yōu)選，所述工作臺上設有支撐，所述支撐座上設有供所述花籃底部的凸起穿設的凹槽，所述導柱的第二端置于所述凹槽內(nèi)。

12、作為優(yōu)選，所述支撐座包括兩個固定塊，兩個所述固定塊間隔設置以形成所述凹槽。

13、作為優(yōu)選，所述凹槽的形狀與所述花籃底部的凸起的形狀相匹配。

14、另一方面，提供一種半導體加工設備，包括工作臺、機械手和以上所述中任一項所述的花籃放置檢測機構，所述機械手用于取送所述放置狀態(tài)檢測機構上的花籃內(nèi)的晶圓。

15、作為優(yōu)選，所述工作臺上間隔設有多個花籃定位件，多個所述花籃定位件用于支撐所述花籃的底部邊緣，所述花籃能通過所述花籃定位件放置于所述工作臺，所述花籃定位件相對于所述工作臺的位置可調(diào)節(jié)。

16、本實用新型的有益效果：

17、本實用新型所提供的花籃放置狀態(tài)檢測機構包括傳感器和長度可調(diào)節(jié)的導柱，導柱用于與花籃底底部接觸，導柱的第一端滑動穿設工作臺置于工作臺的下方，導柱的第一端能觸發(fā)傳感器，導柱的第二端與工作臺間的距離可調(diào)節(jié)，導柱的第二端用于與花籃底部接觸，導柱的長度可調(diào)節(jié)能更好的適應底面凸起形狀不同以及重量不同的花籃，使花籃放置好后，導柱下降的位移量為定值，即導柱的第一端相對于傳感器的位移量為定值，便于工人操作，避免花籃放置好后誤報警和花籃放置錯位不報警的情況，避免了機械手與花籃內(nèi)半導體材料的碰撞，減少經(jīng)濟損失。

技術特征：

1.一種花籃放置狀態(tài)檢測機構，設置于工作臺(1)上，所述工作臺(1)上用于放置待測部件，其特征在于，所述花籃放置狀態(tài)監(jiān)測機構包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的花籃放置狀態(tài)檢測機構，所述導柱(2)包括柱體(23)和柱頭(24)，所述柱頭(24)的一端套設于所述柱體(23)的一端外側，且所述柱頭(24)與所述柱體(23)螺接。

3.根據(jù)權利要求2所述的花籃放置狀態(tài)檢測機構，其特征在于，所述導柱(2)還包括緊固件(3)，所述緊固件(3)的至少部分位于所述柱頭(24)內(nèi)且與所述柱頭(24)螺接，所述緊固件(3)抵接于所述柱體(23)的端面。

4.根據(jù)權利要求1所述的花籃放置狀態(tài)檢測機構，其特征在于，所述工作臺(1)的下方設有固定板(6)，所述固定板(6)的一端連接有連接板(7)，所述連接板(7)與所述工作臺(1)的下表面連接，所述固定板(6)上設有供所述導柱(2)的所述第一端(21)穿設的開口，所述傳感器(4)設置于所述固定板(6)的下表面，所述傳感器(4)用于檢測所述導柱(2)的第一端(21)。

5.根據(jù)權利要求4所述的花籃放置狀態(tài)檢測機構，其特征在于，所述彈性件包括彈簧(8)，所述彈簧(8)套設于所述導柱(2)上，所述導柱(2)上設有卡槽(231)，所述卡槽(231)內(nèi)設有卡簧，所述彈簧(8)的一端與所述卡簧連接，所述彈簧(8)的另一端與所述固定板(6)連接。

6.根據(jù)權利要求1所述的花籃放置狀態(tài)檢測機構，其特征在于，所述工作臺(1)上設有支撐座(9)，所述支撐座(9)上設有供所述花籃(5)底部的凸起(51)穿設的凹槽，所述導柱(2)的第二端(22)置于所述凹槽內(nèi)。

7.根據(jù)權利要求6所述的花籃放置狀態(tài)檢測機構，其特征在于，所述支撐座(9)包括兩個固定塊，兩個所述固定塊間隔設置以形成所述凹槽。

8.根據(jù)權利要求6-7中任一項所述的花籃放置狀態(tài)檢測機構，其特征在于，所述凹槽的形狀與所述花籃(5)底部的凸起(51)的形狀相匹配。

9.一種半導體加工設備，包括工作臺(1)、機械手和權利要求1-8中任一項所述的花籃放置檢測機構，所述機械手用于取送所述放置狀態(tài)檢測機構上的花籃(5)內(nèi)的晶圓(10)。

10.根據(jù)權利要求9所述的半導體加工設備，其特征在于，所述工作臺(1)上間隔設有多個花籃定位件(11)，多個所述花籃定位件(11)用于支撐所述花籃(5)的底部邊緣，所述花籃(5)能通過所述花籃定位件(11)放置于所述工作臺(1)，所述花籃定位件(11)相對于所述工作臺(1)的位置可調(diào)節(jié)。

技術總結
本技術屬于半導體加工技術領域，公開了一種花籃放置狀態(tài)檢測機構，花籃放置狀態(tài)檢測機構包括傳感器和長度可調(diào)節(jié)的導柱，導柱在半導體設備中應用時，導柱的第一端滑動穿設工作臺置于工作臺的下方，導柱的第一端能觸發(fā)傳感器，導柱的第二端凸出于工作臺的上表面且可與花籃底部接觸，導柱的第一端與工作臺間的距離可調(diào)節(jié)，使導柱的第二端相對于傳感器的位移量為定值，長度可調(diào)節(jié)的導柱可配合底面形狀不同以及質(zhì)量不同的花籃，確保花籃放置平穩(wěn)后，半導體設備不會發(fā)生誤報警；或避免花籃放置錯位，半導體設備不報警的情況。

技術研發(fā)人員：劉歡
受保護的技術使用者：上海眾鴻半導體設備有限公司
技術研發(fā)日：20231128
技術公布日：2025/1/6