本技術(shù)屬于半導(dǎo)體去膠工藝設(shè)備，具體地說是一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、目前在半導(dǎo)體去膠工藝中，隨著工藝的更新與發(fā)展，作用于晶圓表面的藥水種類越來越多，使用的藥水的壓力及流量越來越大，原有去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的密封結(jié)構(gòu)所采用的防水罩不能很好地保護(hù)電機(jī)。

2、具體來說，半導(dǎo)體去膠工藝設(shè)備中一般由承載臺直接承接晶圓，承載臺通過轉(zhuǎn)接軸002的上端連接，轉(zhuǎn)接軸002的下端伸入至現(xiàn)有技術(shù)的防水罩001的頂部凸臺的中心處的通孔中，轉(zhuǎn)接軸002的外周設(shè)有用于罩住現(xiàn)有技術(shù)的防水罩001的頂部凸臺的彎折邊沿部0021。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的防水罩001的頂部凸臺的外周面一般僅為圓柱面狀，而在進(jìn)行半導(dǎo)體去膠工藝過程中，當(dāng)藥水流量或壓力過大時，藥水容易直接順著現(xiàn)有技術(shù)的防水罩001的頂部凸臺外周面與轉(zhuǎn)接軸002的彎折邊沿部0021之間的縫隙流入現(xiàn)有技術(shù)的防水罩001內(nèi)側(cè)并到達(dá)與轉(zhuǎn)接軸002連接的電機(jī)所在區(qū)域，而使得電機(jī)有容易損壞的風(fēng)險。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對上述問題，本實用新型的目的在于提供一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)。

2、本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的：

3、一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)，包括防水罩主體，所述防水罩主體的外周面向下延伸、并使防水罩主體的內(nèi)側(cè)形成容納空間，所述防水罩主體的頂面中部設(shè)置有中心凸臺部，所述中心凸臺部的頂面的高度位置高于所述防水罩主體的頂面的高度位置，所述中心凸臺部的中心處開設(shè)有轉(zhuǎn)接軸穿過孔，所述轉(zhuǎn)接軸穿過孔與所述容納空間相連通，所述中心凸臺部的外周面頂部向外周延伸凸設(shè)有橫向阻擋邊沿，所述橫向阻擋邊沿的下表面與所述防水罩主體的頂面之間具有間隙a。

4、所述橫向阻擋邊沿的下表面上的遠(yuǎn)離所述中心凸臺部的外周面處向下延伸凸設(shè)有豎直環(huán)狀凸起，所述豎直環(huán)狀凸起的內(nèi)側(cè)面與所述中心凸臺部的外周面之間具有間隙b。

5、所述轉(zhuǎn)接軸穿過孔外側(cè)的所述中心凸臺部的內(nèi)部開設(shè)有氮氣通過孔道，所述氮氣通過孔道連通有若干個與所述容納空間相連通的氮氣輸入孔道，所述氮氣通過孔道還連通有若干個氮氣輸出孔道，各所述氮氣輸出孔道遠(yuǎn)離所述氮氣通過孔道的開口均位于所述中心凸臺部的頂面上。

6、在所述中心凸臺部的頂面上的所有所述氮氣輸出孔道的開口沿圓周方向均勻分布。

7、所述防水罩主體的頂面由中心向外周方向逐漸向下傾斜。

8、所述防水罩主體的頂面在豎直平面中的投影線與水平面之間形成傾斜角，所述傾斜角為1-3度。

9、本實用新型的優(yōu)點與積極效果為：

10、1.本實用新型通過橫向阻擋邊沿的設(shè)置，可起到阻擋藥水的作用，避免藥水直接順中心凸臺部外周面及頂面與轉(zhuǎn)接軸的彎折邊沿部之間的縫隙流入轉(zhuǎn)接軸穿過孔、并進(jìn)入容納空間以及到達(dá)與轉(zhuǎn)接軸連接的電機(jī)所在區(qū)域。

11、2.本實用新型通過豎直環(huán)狀凸起的設(shè)置，可使橫向阻擋邊沿與豎直環(huán)狀凸起形成剖面形狀為倒鉤狀的結(jié)構(gòu)，能夠更有效地使順中心凸臺部外周面流上來的藥水順著橫向阻擋邊沿下表面及豎直環(huán)狀凸起內(nèi)側(cè)面回流。

技術(shù)特征：

1.一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)，包括防水罩主體(1)，所述防水罩主體(1)的外周面向下延伸、并使防水罩主體(1)的內(nèi)側(cè)形成容納空間(100)，其特征在于：所述防水罩主體(1)的頂面中部設(shè)置有中心凸臺部(101)，所述中心凸臺部(101)的頂面的高度位置高于所述防水罩主體(1)的頂面的高度位置，所述中心凸臺部(101)的中心處開設(shè)有轉(zhuǎn)接軸穿過孔(102)，所述轉(zhuǎn)接軸穿過孔(102)與所述容納空間(100)相連通，所述中心凸臺部(101)的外周面頂部向外周延伸凸設(shè)有橫向阻擋邊沿(103)，所述橫向阻擋邊沿(103)的下表面與所述防水罩主體(1)的頂面之間具有間隙a。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述橫向阻擋邊沿(103)的下表面上的遠(yuǎn)離所述中心凸臺部(101)的外周面處向下延伸凸設(shè)有豎直環(huán)狀凸起(104)，所述豎直環(huán)狀凸起(104)的內(nèi)側(cè)面與所述中心凸臺部(101)的外周面之間具有間隙b。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接軸穿過孔(102)外側(cè)的所述中心凸臺部(101)的內(nèi)部開設(shè)有氮氣通過孔道(105)，所述氮氣通過孔道(105)連通有若干個與所述容納空間(100)相連通的氮氣輸入孔道(106)，所述氮氣通過孔道(105)還連通有若干個氮氣輸出孔道(107)，各所述氮氣輸出孔道(107)遠(yuǎn)離所述氮氣通過孔道(105)的開口均位于所述中心凸臺部(101)的頂面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)，其特征在于：在所述中心凸臺部(101)的頂面上的所有所述氮氣輸出孔道(107)的開口沿圓周方向均勻分布。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述防水罩主體(1)的頂面由中心向外周方向逐漸向下傾斜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述防水罩主體(1)的頂面在豎直平面中的投影線與水平面之間形成傾斜角，所述傾斜角為1-3度。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于半導(dǎo)體去膠工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種去膠工藝腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的防水罩結(jié)構(gòu)，包括防水罩主體，防水罩主體的頂面中部設(shè)置有中心凸臺部，中心凸臺部的頂面的高度位置高于防水罩主體的頂面的高度位置，中心凸臺部的中心處開設(shè)有轉(zhuǎn)接軸穿過孔，轉(zhuǎn)接軸穿過孔與防水罩主體內(nèi)側(cè)的容納空間相連通，中心凸臺部的外周面頂部向外周延伸凸設(shè)有橫向阻擋邊沿，橫向阻擋邊沿的下表面與防水罩主體的頂面之間具有間隙A。本技術(shù)通過橫向阻擋邊沿的設(shè)置，可起到阻擋藥水的作用，避免藥水直接順中心凸臺部外周面及頂面與轉(zhuǎn)接軸的彎折邊沿部之間的縫隙流入轉(zhuǎn)接軸穿過孔、并進(jìn)入容納空間以及到達(dá)與轉(zhuǎn)接軸連接的電機(jī)所在區(qū)域。

技術(shù)研發(fā)人員：向浩源,劉遲,劉忠賀,胡嗣卓,李巍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231201
技術(shù)公布日：2025/1/2