本技術(shù)涉及一種晶圓傳輸腔室的抽氣裝置及晶圓傳輸腔室。

背景技術(shù)：

1、當(dāng)今，半導(dǎo)體鍍膜工藝產(chǎn)品的種類(lèi)呈現(xiàn)多樣化的發(fā)展趨勢(shì)，有些工藝要求在晶圓鍍膜過(guò)程中，確保反應(yīng)腔室處于一個(gè)高真空的狀態(tài)，成膜后，晶圓從反應(yīng)腔室傳出。

2、不可避免地，此時(shí)傳輸腔室內(nèi)的壓力及傳輸腔室內(nèi)氣體成分會(huì)對(duì)膜的質(zhì)量有影響，因而對(duì)于晶圓傳輸腔室有著較高的真空度要求?，F(xiàn)有技術(shù)中一些方案直接采用干泵對(duì)傳輸腔室進(jìn)行抽氣，然而干泵的抽真空能力局限，無(wú)法達(dá)到傳輸腔室預(yù)期的高真空效果。

3、因而本領(lǐng)域亟需一種晶圓傳輸腔室的抽氣裝置及晶圓傳輸腔室，可以在半導(dǎo)體工藝過(guò)程中，將傳輸腔室抽氣至高真空狀態(tài)，同時(shí)保護(hù)分子泵，在更好的保證工藝膜質(zhì)量同時(shí)，擴(kuò)大傳輸腔室傳片壓力的可控范圍，實(shí)現(xiàn)工藝的多樣性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服上述缺陷，本實(shí)用新型旨在提供一種晶圓傳輸腔室的抽氣裝置，包括：分別通過(guò)閥門(mén)與傳輸腔室相連接的干泵和分子泵，該干泵與該分子泵之間也通過(guò)閥門(mén)相連接，該分子泵上還連接有帶有氣動(dòng)隔離閥的氮?dú)庠础?/p>

2、在一實(shí)施例中，優(yōu)選地，本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置中，位于該分子泵與該傳輸腔室之間連接管路上的閥門(mén)為插板閥，該分子泵和該傳輸腔室在分別與該干泵相連接的管路閥門(mén)均為角閥。

3、在一實(shí)施例中，優(yōu)選地，本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置中，該分子泵的前端和后端各設(shè)有一個(gè)帶有繼電器的真空規(guī)。

4、在一實(shí)施例中，優(yōu)選地，本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置中，該插板閥和兩個(gè)該角閥之間配置為根據(jù)該真空規(guī)測(cè)得的壓力值聯(lián)動(dòng)控制。

5、在一實(shí)施例中，優(yōu)選地，本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置中，該傳輸腔室上還連接有量程范圍大于該真空規(guī)的電離規(guī)。

6、在一實(shí)施例中，優(yōu)選地，本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置中，該傳輸腔室的輸出端管路上設(shè)有一個(gè)手閥。

7、在一實(shí)施例中，優(yōu)選地，本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置中，該干泵的前端管路上也設(shè)有一個(gè)手閥。

8、在一實(shí)施例中，優(yōu)選地，本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置中，該傳輸腔室內(nèi)設(shè)有加熱組件。

9、在一實(shí)施例中，優(yōu)選地，本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置中，該傳輸腔室采用金屬材質(zhì)的密封部件進(jìn)行密封。

10、本實(shí)用新型的另一方面還提供了一種晶圓傳輸腔室，包含如上文中任一項(xiàng)所描述的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置。

11、根據(jù)本實(shí)用新型提供的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置及傳輸腔室，可以在半導(dǎo)體工藝過(guò)程中，將傳輸腔室抽氣至高真空狀態(tài)，同時(shí)保護(hù)分子泵，在更好的保證工藝膜質(zhì)量同時(shí)，擴(kuò)大傳輸腔室傳片壓力的范圍，實(shí)現(xiàn)工藝的多樣性。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓傳輸腔室的抽氣裝置，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的抽氣裝置，其特征在于，位于所述分子泵與所述傳輸腔室之間連接管路上的閥門(mén)為插板閥，所述分子泵和所述傳輸腔室在分別與所述干泵相連接的管路閥門(mén)均為角閥。

3.如權(quán)利要求2所述的抽氣裝置，其特征在于，所述分子泵的前端和后端各設(shè)有一個(gè)帶有繼電器的真空規(guī)。

4.如權(quán)利要求3所述的抽氣裝置，其特征在于，所述插板閥和兩個(gè)所述角閥之間配置為根據(jù)所述真空規(guī)測(cè)得的壓力值聯(lián)動(dòng)控制。

5.如權(quán)利要求3所述的抽氣裝置，其特征在于，所述傳輸腔室上還連接有量程范圍大于所述真空規(guī)的電離規(guī)。

6.如權(quán)利要求1所述的抽氣裝置，其特征在于，所述傳輸腔室的輸出端管路上設(shè)有一個(gè)手閥。

7.如權(quán)利要求1所述的抽氣裝置，其特征在于，所述干泵的前端管路上也設(shè)有一個(gè)手閥。

8.如權(quán)利要求1所述的抽氣裝置，其特征在于，所述傳輸腔室內(nèi)設(shè)有加熱組件。

9.如權(quán)利要求1所述的抽氣裝置，其特征在于，所述傳輸腔室采用金屬材質(zhì)的密封部件進(jìn)行密封。

10.一種晶圓傳輸腔室，其特征在于，包含如權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的晶圓傳輸腔室的抽氣裝置。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種晶圓傳輸腔室的抽氣裝置及晶圓傳輸腔室，包括：分別通過(guò)閥門(mén)與傳輸腔室相連接的干泵和分子泵，該干泵與該分子泵之間也通過(guò)閥門(mén)相連接，該分子泵上還連接有帶有氣動(dòng)隔離閥的氮?dú)庠?，該抽氣裝置可以提升傳輸腔室的真空度。

技術(shù)研發(fā)人員：牛沛澤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：拓荊科技(上海)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231218
技術(shù)公布日：2025/1/6