本申請涉及晶圓加工，特別涉及一種晶圓擴膜機構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、目前，市場上的擴晶機大部分是通過氣缸上升頂起膜材的方式，使得承載有晶圓的膜材發(fā)生拉伸，從而達到擴大晶圓上的芯片間距的目的。然而，在實際使用過程中發(fā)現(xiàn)，這種擴晶方式不僅無法根據(jù)需求去控制擴晶的間距，而且由于其頂升機構(gòu)一般為圓盤形狀，使得膜材被拉伸后會導(dǎo)致芯片跟著膜材發(fā)生一定角度的偏轉(zhuǎn)，從而不能很好保證芯片在膜材上整齊排布。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請實施例提供一種晶圓擴膜機構(gòu)，旨在有效解決現(xiàn)有擴晶機在進行晶圓擴膜時無法根據(jù)需求去控制擴晶的間距，而且不能保證芯片在膜材上整齊排布的技術(shù)問題。

2、為此，本申請實施例提供一種晶圓擴膜機構(gòu)，包括膜材吸附平臺以及至少三個夾持拉伸模組，所述至少三個夾持拉伸模組沿目標(biāo)圓的圓周方向均勻分布在所述膜材吸附平臺的周圍，且每一個所述夾持拉伸模組能夠在所在的方位夾持所述膜材吸附平臺上的膜材并沿所述目標(biāo)圓的徑向拉伸所述膜材，所述目標(biāo)圓以所述膜材吸附平臺的中心為圓心。

3、可選地，在本申請的一些實施例中，所述夾持拉伸模組包括夾持組件以及驅(qū)動所述夾持組件遠(yuǎn)離或靠近所述膜材吸附平臺運動的動力組件。

4、可選地，在本申請的一些實施例中，所述夾持拉伸模組還包括沿所述目標(biāo)圓的徑向延伸設(shè)置的直線導(dǎo)軌，所述夾持組件滑動設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上，且與所述動力組件驅(qū)動連接，以在所述動力組件的驅(qū)動下，沿所述直線導(dǎo)軌的延伸方向遠(yuǎn)離或靠近所述膜材吸附平臺運動。

5、可選地，在本申請的一些實施例中，所述夾持拉伸模組還包括滑塊和夾爪懸臂，所述夾持組件固設(shè)在所述夾爪懸臂上，且所述夾爪懸臂通過所述滑塊滑動設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上，所述滑塊還與所述動力組件驅(qū)動連接。

6、可選地，在本申請的一些實施例中，所述動力組件包括絲桿以及驅(qū)動所述絲桿轉(zhuǎn)動的伺服電機，所述絲桿的延伸方向與所述直線導(dǎo)軌的延伸方向相同，所述滑塊螺紋連接在所述絲桿上，以在所述伺服電機驅(qū)動所述絲桿轉(zhuǎn)動時，使得所述滑塊沿所述絲桿的延伸方向相對所述絲桿進行直線運動。

7、可選地，在本申請的一些實施例中，所述動力組件還包括減速機，所述伺服電機通過所述減速機傳動與所述絲桿的一端進行驅(qū)動連接。

8、可選地，在本申請的一些實施例中，所述動力組件包括氣缸軸以及驅(qū)動所述氣缸軸伸縮的伸縮氣缸，所述氣缸軸的延伸方向與所述直線導(dǎo)軌的延伸方向相同，所述滑塊固定在所述氣缸軸上，以在所述伸縮氣缸驅(qū)動所述氣缸軸伸縮時，使得所述滑塊沿所述直線導(dǎo)軌進行直線運動。

9、可選地，在本申請的一些實施例中，所述夾持拉伸模組還包括沿所述目標(biāo)圓的徑向延伸設(shè)置的導(dǎo)軌安裝支架，所述直線導(dǎo)軌安設(shè)在所述導(dǎo)軌安裝支架上。

10、可選地，在本申請的一些實施例中，所述夾持組件包括固定夾爪、活動夾爪以及升降氣缸，所述固定夾爪與所述活動夾爪在豎直方向上相對設(shè)置，且所述活動夾爪與所述升降氣缸驅(qū)動連接，以在所述升降氣缸的驅(qū)動下，遠(yuǎn)離或靠近所述固定夾爪運動。

11、可選地，在本申請的一些實施例中，所述膜材吸附平臺包括圓形平臺主體以及真空吸附機，所述圓形平臺主體的表面陣列分布有多個真空吸附孔，且每個所述真空吸附孔均與所述真空吸附機的氣管連通設(shè)置。

12、本申請技術(shù)方案提供的晶圓擴膜機構(gòu)，該晶圓擴膜機構(gòu)包括膜材吸附平臺以及至少三個夾持拉伸模組，至少三個夾持拉伸模組沿目標(biāo)圓的圓周方向均勻分布在膜材吸附平臺的周圍，且每一個夾持拉伸模組可在所在的方位夾持膜材吸附平臺上的膜材并沿目標(biāo)圓的徑向拉伸膜材，目標(biāo)圓以膜材吸附平臺的中心為圓心。如此，當(dāng)承載有晶圓的膜材吸附在膜材吸附平臺上后，便可通過其周圍設(shè)置的至少三個夾持拉伸模組，分別在所在的方位夾持該膜材并沿目標(biāo)圓的徑向拉伸該膜材來自動實現(xiàn)晶圓擴膜操作。同時，由于每一個夾持拉伸模組均在所在的方位夾持該膜材后，沿目標(biāo)圓的徑向拉伸膜材，即通過沿相應(yīng)的方位直線拉伸的方式拉伸該膜材，使得芯片只會跟隨該膜材的拉伸而發(fā)生間距變化，而不會出現(xiàn)角度偏轉(zhuǎn)的問題，從而很好地保證芯片在膜材上整齊排布，且還可通過控制對應(yīng)的夾持拉伸模組沿目標(biāo)圓的徑向拉伸膜材的行程來控制晶圓擴膜后的芯片間距?？梢?，本技術(shù)方案，其可自動實現(xiàn)晶圓擴膜操作的同時，可根據(jù)需求去控制擴晶的間距，以及保證芯片在膜材上整齊排布。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，包括膜材吸附平臺以及至少三個夾持拉伸模組，所述至少三個夾持拉伸模組沿目標(biāo)圓的圓周方向均勻分布在所述膜材吸附平臺的周圍，且每一個所述夾持拉伸模組能夠在所在的方位夾持所述膜材吸附平臺上的膜材并沿所述目標(biāo)圓的徑向拉伸所述膜材，所述目標(biāo)圓以所述膜材吸附平臺的中心為圓心；所述夾持拉伸模組包括夾持組件以及驅(qū)動所述夾持組件遠(yuǎn)離或靠近所述膜材吸附平臺運動的動力組件，所述動力組件包括伺服電機或伸縮氣缸。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，所述夾持拉伸模組還包括沿所述目標(biāo)圓的徑向延伸設(shè)置的直線導(dǎo)軌，所述夾持組件滑動設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上，且與所述動力組件驅(qū)動連接，以在所述動力組件的驅(qū)動下，沿所述直線導(dǎo)軌的延伸方向遠(yuǎn)離或靠近所述膜材吸附平臺運動。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，所述夾持拉伸模組還包括滑塊和夾爪懸臂，所述夾持組件固設(shè)在所述夾爪懸臂上，且所述夾爪懸臂通過所述滑塊滑動設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上，所述滑塊還與所述動力組件驅(qū)動連接。

4.如權(quán)利要求3所述的晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，所述動力組件包括絲桿以及驅(qū)動所述絲桿轉(zhuǎn)動的所述伺服電機，所述絲桿的延伸方向與所述直線導(dǎo)軌的延伸方向相同，所述滑塊螺紋連接在所述絲桿上，以在所述伺服電機驅(qū)動所述絲桿轉(zhuǎn)動時，使得所述滑塊沿所述絲桿的延伸方向相對所述絲桿進行直線運動。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，所述動力組件還包括減速機，所述伺服電機通過所述減速機傳動與所述絲桿的一端進行驅(qū)動連接。

6.如權(quán)利要求3所述的晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，所述動力組件包括氣缸軸以及驅(qū)動所述氣缸軸伸縮的所述伸縮氣缸，所述氣缸軸的延伸方向與所述直線導(dǎo)軌的延伸方向相同，所述滑塊固定在所述氣缸軸上，以在所述伸縮氣缸驅(qū)動所述氣缸軸伸縮時，使得所述滑塊沿所述直線導(dǎo)軌進行直線運動。

7.如權(quán)利要求2所述的晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，所述夾持拉伸模組還包括沿所述目標(biāo)圓的徑向延伸設(shè)置的導(dǎo)軌安裝支架，所述直線導(dǎo)軌安設(shè)在所述導(dǎo)軌安裝支架上。

8.如權(quán)利要求1所述的晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，所述夾持組件包括固定夾爪、活動夾爪以及升降氣缸，所述固定夾爪與所述活動夾爪在豎直方向上相對設(shè)置，且所述活動夾爪與所述升降氣缸驅(qū)動連接，以在所述升降氣缸的驅(qū)動下，遠(yuǎn)離或靠近所述固定夾爪運動。

9.如權(quán)利要求1-8任一項所述的晶圓擴膜機構(gòu)，其特征在于，所述膜材吸附平臺包括圓形平臺主體以及真空吸附機，所述圓形平臺主體的表面陣列分布有多個真空吸附孔，且每個所述真空吸附孔均與所述真空吸附機的氣管連通設(shè)置。

技術(shù)總結(jié)
本申請公開一種晶圓擴膜機構(gòu)，涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，該晶圓擴膜機構(gòu)包括膜材吸附平臺以及至少三個夾持拉伸模組，至少三個夾持拉伸模組沿目標(biāo)圓的圓周方向均勻分布在膜材吸附平臺的周圍，且每一個夾持拉伸模組能夠在所在的方位夾持膜材吸附平臺上的膜材并沿目標(biāo)圓的徑向拉伸膜材，目標(biāo)圓以膜材吸附平臺的中心為圓心。本技術(shù)方案，其可自動實現(xiàn)晶圓擴膜操作的同時，可根據(jù)需求去控制擴晶的間距，以及保證芯片在膜材上整齊排布。

技術(shù)研發(fā)人員：涂渭清,黃柏源,王元召,彭信翰,徐念,黃宇星
受保護的技術(shù)使用者：海目星激光科技集團股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231218
技術(shù)公布日：2025/1/9