本公開涉及一種基板保持器具、基板處理裝置以及基板搬送方法。

背景技術(shù)：

1、在專利文獻1中公開了一種真空吸附并搬送基板的基板搬送裝置。基板搬送裝置具備：多個墊，該多個墊包括凸緣部，用于保持基板；以及機械手，其將多個墊以能夠裝卸的方式固定。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：日本特開2015-103696號公報

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問題

2、本公開所涉及的技術(shù)對于保持并搬送基板的搬送臂適當(dāng)?shù)卦u價基板的脫離性。

3、用于解決問題的方案

4、本公開的一個方式是一種基板保持器具，從搬送臂接受并保持基板，所述基板保持器具具有：載置部，其以在鉛直方向上升降自如的方式構(gòu)成，所述載置部載置基板；測定部，其測定所述載置部的重量、壓力以及位移中的至少任一方；以及控制部，其基于所述測定部的測定結(jié)果來預(yù)測所述搬送臂的狀態(tài)。

5、發(fā)明的效果

6、根據(jù)本公開，能夠?qū)τ诒３植崴突宓陌崴捅圻m當(dāng)?shù)卦u價基板的脫離性。

技術(shù)特征：

1.一種基板保持器具，從搬送臂接受并保持基板，所述基板保持器具具有：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持器具，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板保持器具，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基板保持器具，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求2～4中的任一項所述的基板保持器具，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求3～5中的任一項所述的基板保持器具，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求2～6中的任一項所述的基板保持器具，其中，

8.一種基板處理裝置，具有根據(jù)權(quán)利要求1～7中的任一項所述的基板保持器具，其中，

9.一種基板處理裝置，具有根據(jù)權(quán)利要求1～7中的任一項所述的基板保持器具，其中，

10.一種基板搬送方法，是從搬送臂向基板保持器具搬送基板來通過該基板保持器具保持基板的基板搬送方法，所述基板搬送方法包括以下工序：

技術(shù)總結(jié)
一種基板保持器具，從搬送臂接受并保持基板，所述基板保持器具具有：載置部，其以在鉛直方向上升降自如的方式構(gòu)成，所述載置部載置基板；測定部，其測定所述載置部的重量、壓力以及位移中的至少任一方；以及控制部，其基于所述測定部的測定結(jié)果來預(yù)測所述搬送臂的狀態(tài)?；逄幚硌b置對在大氣氣氛下保持于所述基板保持器具的基板進行處理。另外的基板處理裝置構(gòu)成為能夠在基板保持于所述基板保持器具的狀態(tài)下在大氣氣氛與真空氣氛之間進行切換。

技術(shù)研發(fā)人員：近藤圭祐,巖崎智德
受保護的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30