本發(fā)明涉及檢查裝置和載置臺。

背景技術：

1、專利文獻1的檢查裝置，能夠在使光入射到形成在被檢查體上的拍攝器件的同時，使接觸端子與該拍攝器件的配線層電接觸來對拍攝器件進行檢查。在專利文獻1中，拍攝器件是光能夠從該拍攝器件的作為設置有配線層的相反側的面的背面入射的拍攝器件。專利文獻1的檢查裝置包括：由透光部件形成的載置臺，其用于以與拍攝器件的背面相對的方式載置被檢查體；和光照射機構，其以隔著載置臺與被檢查體相對的方式配置，具有指向被檢查體的多個led。

2、現(xiàn)有技術文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：日本特開2019-106491號公報

技術實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的技術問題

2、本發(fā)明的技術使得能夠在背面照射型的拍攝器件的檢查中，不對向拍攝器件照射的光造成不良影響地準確地測量拍攝器件的溫度。

3、用于解決技術問題的手段

4、本發(fā)明的一個方式是一種檢查裝置，其用于對檢查對象器件進行檢查，所述檢查裝置的特征在于：所述檢查對象器件是背面照射型的拍攝器件，形成在檢查對象體上，光能夠從所述拍攝器件的作為設置有配線層的一側的相反側的面的背面入射至所述拍攝器件，所述檢查裝置包括載置臺，其用于以與所述拍攝器件的所述背面相對的方式支承所述檢查對象體，所述載置包括：由透光材料構成的頂板，其具有用于載置所述檢查對象體的載置面；照射部，其配置在隔著所述頂板與所述檢查對象體相對的位置，用于向被載置在所述載置面上的所述檢查對象體照射光；和溫度調節(jié)部，其用于對被載置在所述載置面上的所述檢查對象體的所述檢查對象器件的溫度進行調節(jié)，所述頂板在所述載置面和其相反側的面中的至少任一者上形成有由金屬材料構成的能夠使光透過的厚度的圖案。

5、發(fā)明效果

6、采用本發(fā)明，能夠在背面照射型的拍攝器件的檢查中，不對向拍攝器件照射的光造成不良影響地準確地測量拍攝器件的溫度。

技術特征：

1.一種檢查裝置，其用于對檢查對象器件進行檢查，所述檢查裝置的特征在于：

2.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，還包括：

3.如權利要求2所述的檢查裝置，其特征在于：

4.如權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于：

5.如權利要求4所述的檢查裝置，其特征在于，還包括：

6.如權利要求5所述的檢查裝置，其特征在于：

7.如權利要求2、3、5、6中任一項所述的檢查裝置，其特征在于：

8.如權利要求1～6中任一項所述的檢查裝置，其特征在于：

9.如權利要求1～6中任一項所述的檢查裝置，其特征在于：

10.如權利要求9所述的檢查裝置，其特征在于：

11.如權利要求8所述的檢查裝置，其特征在于：

12.如權利要求1～6中任一項所述的檢查裝置，其特征在于：

13.一種載置臺，其為用于對檢查對象器件進行檢查的檢查裝置的載置臺，其特征在于：

技術總結
本發(fā)明提供一種檢查裝置，其用于對檢查對象器件進行檢查，所述檢查對象器件是背面照射型的拍攝器件，形成在檢查對象體上，光能夠從所述拍攝器件的作為設置有配線層的一側的相反側的面的背面入射至所述拍攝器件，所述檢查裝置包括載置臺，其用于以與所述拍攝器件的所述背面相對的方式支承所述檢查對象體，所述載置臺包括：由透光材料構成的頂板，其具有用于載置所述檢查對象體的載置面；照射部，其配置在隔著所述頂板與所述檢查對象體相對的位置，用于向被載置在所述載置面上的所述檢查對象體照射光；和溫度調節(jié)部，其用于對被載置在所述載置面上的所述檢查對象體的所述檢查對象器件的溫度進行調節(jié)，所述頂板在所述載置面和其相反側的面中的至少任一者上形成有由金屬材料構成的能夠使光透過的厚度的圖案。

技術研發(fā)人員：河西繁,秋山直樹,高瀨文哉,中山博之,熊坂肇
受保護的技術使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/2