本發(fā)明涉及一種載置裝置。

背景技術(shù)：

1、在專利文獻1中公開了如下的光掩?；宓鹊陌徇\工具：將可動框轉(zhuǎn)動自如地與能夠伸縮的固定框連結(jié)，在固定框及可動框的端部設(shè)置基板支承構(gòu)件，在可動框的與固定框的連結(jié)部附近設(shè)置手柄。通過使用兩個該搬運工具并將固定框彼此連結(jié)，能夠搬運大型的基板材料。

2、在先技術(shù)文獻

3、專利文獻

4、專利文獻1：日本特開2001－168182號公報

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的課題

2、專利文獻1所記載的搬運工具用于將收容于殼體等的光掩?；灏徇\至清洗支架等裝置。由該搬運工具搬運的光掩模基板水平地載置于裝置內(nèi)的載置面。

3、然而，在通過手工作業(yè)將光掩?；遢d置于載置面時，難以將光掩模基板的姿勢維持為水平，有可能因光掩?；迮鲎草d置面等而導(dǎo)致光掩模基板缺損或載置面的一部分變形。

4、本發(fā)明是鑒于這樣的情況而完成的，其目的在于提供一種在載置板狀的對象物時對象物等不易損傷的載置裝置。

5、用于解決課題的手段

6、為了解決上述課題，本發(fā)明的載置裝置例如是將板狀的對象物水平地載置于設(shè)置有孔的保持構(gòu)件的載置平面的載置裝置，其特征在于，所述載置裝置具備：基臺，其以能夠沿上下方向移動的方式設(shè)置于所述保持構(gòu)件的鉛垂方向下側(cè)；第一移動部，其使所述基臺沿上下方向移動；以及多個柱狀部，它們設(shè)置于所述基臺，所述柱狀部從所述基臺沿鉛垂方向向上突出，在所述柱狀部的前端設(shè)置有載置所述對象物的第一載置部，在所述基臺位于下端時，所述第一載置部位于比所述保持構(gòu)件靠下側(cè)的位置，若所述基臺從所述下端向上方移動，則所述柱狀部插入所述孔，在所述基臺位于上端時，所述第一載置部位于比所述載置平面靠上側(cè)的位置。

7、根據(jù)本發(fā)明的載置裝置，在前端設(shè)置有載置對象物的第一載置部的柱狀部從基臺沿鉛垂方向向上突出，在基臺位于上端時，第一載置部位于比載置平面靠上側(cè)的位置。因此，作業(yè)者只要將對象物載置于第一載置部即可，無需直接載置于載置平面。因此，在載置板狀的對象物時，對象物、載置平面不易損傷。

8、可以的是，所述載置裝置具備多個第二移動部，所述第二移動部具有設(shè)置于所述基臺的第一軌道和設(shè)置為能夠沿著所述第一軌道移動的移動構(gòu)件，通過在所述第二移動部分別設(shè)置所述柱狀部，從而所述柱狀部經(jīng)由所述第二移動部設(shè)置于所述基臺。由此，能夠利用一個載置裝置應(yīng)對各種大小的對象物。

9、可以的是，所述載置裝置具備驅(qū)動多個所述移動構(gòu)件的驅(qū)動部，所述第二移動部具有設(shè)置于所述移動構(gòu)件的帶，所述驅(qū)動部同時以相同的量驅(qū)動多個所述帶。由此，能夠使柱狀部同時移動相同的量。

10、可以的是，所述第一載置部具有高度不同的兩個面、即作為所述柱狀部的前端面的第一面和從所述第一面向下方降階的第二面，所述第一面設(shè)置于所述第二面的外側(cè)，所述第二面是載置所述對象物的面，以高度朝向內(nèi)側(cè)而變低的方式相對于水平方向傾斜1°～5°。由此，載置于第二面的對象物與第二面的接觸面積成為最小限度，作為對象物的功能面的對象物膜面不易被污染。

11、可以的是，連結(jié)所述第一面和所述第二面的面以隨著高度變高而向外側(cè)傾斜的方式相對于鉛垂方向傾斜1°～5°。由此，連結(jié)第一面和第二面的面與對象物的接觸面積成為最小限度，對象物不易被污染。

12、可以的是，所述第一面在內(nèi)側(cè)的兩端設(shè)置有缺口，在從鉛垂方向上側(cè)觀察時，所述缺口與以連結(jié)多個所述柱狀部的外側(cè)的角的圓的中心點為中心的任意半徑的曲面重疊。由此，不僅是矩形形狀的對象物，還能夠?qū)A形狀的對象物載置于第二載置部。

13、可以的是，所述載置裝置具備設(shè)置于所述基臺的接近傳感器，在所述保持構(gòu)件的背面設(shè)置有標記，所述接近傳感器檢測所述保持構(gòu)件，并且讀取所述標記。由此，能夠使基臺的中心與載置平面的中心一致，或者在與所載置的對象物的大小對應(yīng)的位置配置柱狀部。

14、可以的是，所述載置裝置具備：第二載置部，其在從鉛垂方向上側(cè)觀察時，與所述基臺相鄰地設(shè)置；以及掩膜搬運部，其具有能夠從下方保持所述對象物的臂和設(shè)置有所述臂的第二軌道，所述臂能夠沿著所述第二軌道移動。由此，能夠不經(jīng)由作業(yè)者而將對象物載置于第一載置部，或者從第一載置部卸下對象物。

15、發(fā)明效果

16、根據(jù)本發(fā)明，在載置板狀的對象物時，對象物等不易損傷。

技術(shù)特征：

1.一種載置裝置，其是將板狀的對象物水平地載置于設(shè)置有孔的保持構(gòu)件的載置平面的載置裝置，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載置裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的載置裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的載置裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的載置裝置，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的載置裝置，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載置裝置，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載置裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
在載置板狀的對象物時，對象物等不易損傷。載置裝置是將板狀的對象物水平地載置于設(shè)置有孔的保持構(gòu)件的載置平面的載置裝置，所述載置裝置具備：基臺，其以能夠沿上下方向移動的方式設(shè)置于保持部的鉛垂方向下側(cè)；第一移動部，其使基臺沿上下方向移動；以及多個柱狀部，它們設(shè)置于基臺。柱狀部從基臺沿鉛垂方向向上突出，在柱狀部的前端設(shè)置有載置對象物的第一載置部。在基臺位于下端時，第一載置部位于比所述保持部靠下側(cè)的位置，若基臺從所述下端向上方移動，則柱狀部插入孔，在基臺位于上端時，第一載置部位于比載置平面靠上側(cè)的位置。

技術(shù)研發(fā)人員：米澤良
受保護的技術(shù)使用者：株式會社 V 技術(shù)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30