本發(fā)明涉及視覺檢測領(lǐng)域，尤其涉及一種平面度外觀視覺檢測一體機。

背景技術(shù)：

1、ic芯片制作好后，需要對芯片的六面的平面度以及金手指的平面度進行檢測，平面度能檢測是否存在凹坑、刮傷、臟污等瑕疵，目前對于平面度檢測利用視覺相機檢測裝置進行，如公開號為cn115178476a、公開日為2022.10.14的發(fā)明專利，公開了一種用于芯片高速高精度六面外觀檢測設(shè)備，其公開的檢測機構(gòu)包括第一檢測工業(yè)相機、第二檢測工業(yè)相機、第三檢測工業(yè)相機，實現(xiàn)對芯片的六面進行檢測，然而，該外觀檢測設(shè)備沒有集成對于芯片的金手指的檢測，目前對于金手指的檢測，需要在額外設(shè)備上進行檢測，這樣降低了檢測效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為克服上述缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種集芯片的金手指和六面視覺檢測于一體、提高檢測效率、結(jié)構(gòu)緊湊、分布合理的平面度外觀視覺檢測一體機。

2、為了達到以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種平面度外觀視覺檢測一體機，包括x軸走向的料盤輸送線，所述料盤輸送線的同一側(cè)依次設(shè)置有用于與料盤輸送線形成“口”字型的掃碼機構(gòu)、金手指檢測機構(gòu)、芯片頂部檢測機構(gòu)、長邊相對兩側(cè)及底部檢測機構(gòu)、檢測中轉(zhuǎn)臺、短邊相對兩側(cè)檢測機構(gòu)、廢料剔除機構(gòu)；所述金手指檢測機構(gòu)包括玻璃檢測平臺、對準玻璃檢測平臺的線掃相機以及驅(qū)動線掃相機移動的線掃x軸直線模組，所述料盤輸送線的入料端、掃碼機構(gòu)、玻璃檢測平臺的上方設(shè)置有用以連接三者的第一y軸真空機械手；所述玻璃檢測平臺與芯片頂部檢測機構(gòu)之間通過第二y軸真空機械手連接；所述芯片頂部檢測機構(gòu)、長邊相對兩側(cè)及底部檢測機構(gòu)以及檢測中轉(zhuǎn)臺通過第一x軸真空機械手連接，所述檢測中轉(zhuǎn)臺、短邊相對兩側(cè)檢測機構(gòu)之間通過第二x軸真空機械手連接；所述短邊相對兩側(cè)檢測機構(gòu)、廢料剔除機構(gòu)、料盤輸送線的出料端的上方設(shè)置有用以連接三者的第三y軸真空機械手。

3、優(yōu)選地，所述料盤輸送線包括由多對輸送皮帶構(gòu)成的皮帶組，所述皮帶組的上料端、收料端分別設(shè)置有上料倉、收料倉，所述上料倉、收料倉均包括：倉體，用以存儲料盤，所述倉體上下以及相對兩側(cè)貫穿；兩個支撐件，所述支撐件設(shè)置在倉體貫穿的相對兩側(cè)；兩個倉體兩軸驅(qū)動模組，分別驅(qū)動兩個所述支撐件升降及平移，迫使兩個所述支撐件相向或反向移動，當兩個所述支撐件相向移動，該兩個支撐件支撐所述倉體內(nèi)的料盤，當兩個所述支撐件反向移動，該兩個支撐件松開所述倉體內(nèi)的料盤；升降平臺，所述升降平臺位于倉體下方的兩條輸送皮帶之間，所述升降平臺通過倉體升降氣缸的驅(qū)動升降，當所述升降平臺上升，能伸入所述倉體內(nèi)，當所述升降平臺下降，所述升降平臺低于皮帶組。

4、優(yōu)選地，所述第一y軸真空機械手、第一x軸真空機械手、第二x軸真空機械手以及第三y軸真空機械手均包括第一機械手兩軸驅(qū)動模組、伺服電機、第一真空吸頭，所述伺服電機通過第一機械手兩軸驅(qū)動模組的驅(qū)動能在兩軸方向來回移動，所述第一真空吸頭由伺服電機驅(qū)動旋轉(zhuǎn)；所述第二y軸真空機械手包括第二機械手兩軸驅(qū)動模組、第二真空吸頭，所述第二真空吸頭通過第二機械手兩軸驅(qū)動模組的驅(qū)動能在y軸和z軸方向來回移動；所述檢測中轉(zhuǎn)臺通過配套的燕尾槽滑塊與螺栓能在z軸方向調(diào)節(jié)。

5、優(yōu)選地，所述料盤輸送線的入料端上方設(shè)置有位置檢測相機，所述芯片上設(shè)置有識別孔洞，所述位置檢測相機通過檢測識別孔洞的位置，用以識別芯片的極性方向是否擺反。

6、優(yōu)選地，所述掃碼機構(gòu)包括掃碼槍，所述掃碼槍固定在第一y軸真空機械手的第一真空吸頭的一側(cè)，所述掃碼槍的掃描口對準玻璃檢測平臺上的芯片的二維碼，用以對玻璃檢測平臺上的芯片的二維碼進行掃碼；所述玻璃檢測平臺的一側(cè)設(shè)置有掃碼ng平臺，所述掃碼ng平臺上設(shè)置有多個掃碼ng槽，所述掃碼ng平臺通過掃碼x軸直線模組的驅(qū)動能移動至掃碼槍與玻璃檢測平臺之間。

7、優(yōu)選地，所述芯片頂部檢測機構(gòu)包括：頂部視覺檢測相機，所述頂部視覺檢測相機通過多組配套的燕尾槽滑塊與螺栓能在x軸以及z軸方向調(diào)節(jié)；滑動中轉(zhuǎn)臺，所述滑動中轉(zhuǎn)臺位于頂部視覺檢測相機下方，所述第二y軸真空機械手連接玻璃檢測平臺、滑動中轉(zhuǎn)臺；檢測y軸直線模組，所述檢測y軸直線模組驅(qū)動滑動中轉(zhuǎn)臺在玻璃檢測平臺與長邊相對兩側(cè)及底部檢測機構(gòu)之間沿著y軸來回移動。

8、優(yōu)選地，所述長邊相對兩側(cè)及底部檢測機構(gòu)包括：兩個長邊視覺檢測相機，兩個所述長邊視覺檢測相機相對設(shè)置且沿著y軸方向分布，兩個所述長邊視覺檢測相機均通過配套的燕尾槽滑塊與螺栓能在y軸方向調(diào)節(jié)；底部視覺檢測相機，位于兩個所述長邊視覺檢測相機中間的下方，底部視覺檢測相機通過多組配套的燕尾槽滑塊與螺栓能在x軸及z軸方向調(diào)節(jié)；當所述第一x軸真空機械手帶動芯片移動至兩個長邊視覺檢測相機之間并位于底部視覺檢測相機上方，兩個長邊視覺檢測相機、底部視覺檢測相機逐一對芯片的兩個側(cè)面和底面進行視覺檢測。

9、優(yōu)選地，所述短邊相對兩側(cè)檢測機構(gòu)包括兩個短邊視覺檢測相機，兩個所述短邊視覺檢測相機相對設(shè)置且沿著y軸方向分布，當所述第二x軸真空機械手帶動芯片移動至兩個短邊視覺檢測相機之間，兩個所述短邊視覺檢測相機逐一對芯片的兩個側(cè)面進行視覺檢測；兩個所述短邊視覺檢測相機均通過配套的燕尾槽滑塊與螺栓能在y軸方向調(diào)節(jié)。

10、優(yōu)選地，所述廢料剔除機構(gòu)與短邊相對兩側(cè)檢測機構(gòu)之間設(shè)置有出料中轉(zhuǎn)臺，所述出料中轉(zhuǎn)臺由出料y軸直線模組驅(qū)動沿著y軸來回移動，所述第二x軸真空機械手向出料中轉(zhuǎn)臺移送芯片，所述第三y軸真空機械手將出料中轉(zhuǎn)臺上的芯片移送至廢料剔除機構(gòu)。

11、優(yōu)選地，所述廢料剔除機構(gòu)包括廢料平臺、廢料x軸直線模組，所述廢料平臺通過廢料x軸直線模組驅(qū)動至第三y軸真空機械手的正下方；所述廢料平臺上設(shè)置有金手指ng槽、芯片頂部ng槽、長側(cè)面ng槽、底面ng槽、短側(cè)面ng槽，分別用于接收由所述第三y軸真空機械手移送的瑕疵芯片。

12、本發(fā)明平面度外觀視覺檢測一體機的有益效果是：

13、其一，本技術(shù)集芯片的掃碼檢測、金手指檢測、芯片頂部檢測、長邊相對兩側(cè)及底部檢測、短邊相對兩側(cè)檢測、廢料剔除功能于一體，無需在其他設(shè)備進行檢測，提高了檢測的效率；

14、其二，料盤輸送線、掃碼機構(gòu)、金手指檢測機構(gòu)、芯片頂部檢測機構(gòu)、長邊相對兩側(cè)及底部檢測機構(gòu)、檢測中轉(zhuǎn)臺、短邊相對兩側(cè)檢測機構(gòu)、廢料剔除機構(gòu)與料盤輸送線圍設(shè)形成“口”字型，芯片從料盤輸送線的上料端上料，空料盤在料盤輸送線上流轉(zhuǎn)，流轉(zhuǎn)過程中，芯片依次進行檢測，檢測好后，再由收料端收料，使得結(jié)構(gòu)緊湊，布局合理；

15、其三，集成有掃碼ng平臺、廢料剔除機構(gòu)，提高了瑕疵芯片的收料效率；對于掃碼ng平臺而言，本技術(shù)利用第一y軸真空機械手的第一機械手兩軸驅(qū)動模組與掃碼x軸直線模組的共同配合，實現(xiàn)了x軸、y軸、z軸方向的移動，能將掃碼ng的芯片直接整齊的裝盤至掃碼ng槽內(nèi)，無需后期裝盤；對于廢料剔除機構(gòu)而言，本技術(shù)利用第三y軸真空機械手的第一機械手兩軸驅(qū)動模組與廢料x軸直線模組的配合，實現(xiàn)了x軸、y軸、z軸方向的移動，能將檢測出來金手指瑕疵、六面瑕疵的芯片整齊的裝盤至與其對應(yīng)的廢料平臺上的ng槽內(nèi)，無需后期裝盤，提高了瑕疵芯片的收料效率；

16、其四，由于該設(shè)備整體呈“口”字型，其中部空間比較大，兩個長邊視覺檢測相機、兩個短邊視覺檢測相機均在y軸方向布置，這樣布局更為合理。