本公開(kāi)涉及光電子制造,特別涉及一種改善電極松脫的發(fā)光二極管及其制備方法。
背景技術(shù):
1、發(fā)光二極管(英文:light?emitting?diode,簡(jiǎn)稱(chēng):led)作為光電子產(chǎn)業(yè)中極具影響力的新產(chǎn)品,具有體積小、使用壽命長(zhǎng)、顏色豐富多彩、能耗低等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于照明、顯示屏、信號(hào)燈、背光源、玩具等領(lǐng)域。
2、相關(guān)技術(shù)中,發(fā)光二極管包括:外延層、透明導(dǎo)電層、焊盤(pán)和手指條,透明導(dǎo)電層位于外延層的表面上,透明導(dǎo)電層具有通孔。手指條的一端與焊盤(pán)相連,焊盤(pán)位于通孔內(nèi)且與外延層電性連接,手指條位于透明導(dǎo)電層上,焊盤(pán)用于與外部電源連接,并通過(guò)手指條向外延層各處區(qū)域傳輸電流。
3、由于焊盤(pán)多為金屬材料,因此焊盤(pán)會(huì)吸收光線(xiàn)。為避免焊盤(pán)吸光,通常會(huì)在焊盤(pán)和外延層之間設(shè)置鈍化層,鈍化層多為氧化硅層,而鈍化層和外延層的折射率不同,以使得入射到鈍化層的光線(xiàn)路徑會(huì)發(fā)生改變,讓部分光折射,從而避免光線(xiàn)被焊盤(pán)吸收。然而焊盤(pán)與鈍化層直接連接,容易導(dǎo)致焊盤(pán)松脫的問(wèn)題,造成電極打線(xiàn)失效。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本公開(kāi)實(shí)施例提供了一種改善電極松脫的發(fā)光二極管及其制備方法,能改善電極打線(xiàn)失效的問(wèn)題。所述技術(shù)方案如下:
2、一方面,本公開(kāi)實(shí)施例提供了一種發(fā)光二極管,所述發(fā)光二極管包括外延層、透明導(dǎo)電層、鈍化層和焊盤(pán),所述透明導(dǎo)電層位于所述外延層的表面上,所述鈍化層位于所述外延層的表面上,且覆蓋所述透明導(dǎo)電層,所述透明導(dǎo)電層具有露出所述外延層的第一通孔,和/或所述鈍化層具有露出所述外延層的第二通孔;所述第一通孔和/或所述第二通孔內(nèi)設(shè)置有阻擋層,所述阻擋層具有鏤空,所述焊盤(pán)位于所述阻擋層的遠(yuǎn)離所述外延層的表面上,且通過(guò)所述鏤空與所述外延層電性連接。
3、可選地,所述阻擋層包括:阻擋塊和阻擋環(huán),所述阻擋塊位于所述阻擋環(huán)內(nèi),且所述阻擋塊與所述阻擋環(huán)同心排布,所述阻擋塊與所述阻擋環(huán)之間的環(huán)形間隙為所述鏤空。
4、可選地,所述焊盤(pán)和所述阻擋塊在所述外延層的表面上的正投影為圓形,所述阻擋塊的投影直徑小于所述焊盤(pán)的投影直徑的0.75倍。
5、可選地,所述焊盤(pán)在所述外延層的表面上的正投影為圓形,所述阻擋環(huán)在所述外延層的表面上的正投影為圓環(huán);所述阻擋環(huán)投影的內(nèi)徑大于所述焊盤(pán)投影的直徑的0.8倍,且所述阻擋環(huán)投影的內(nèi)徑小于所述焊盤(pán)投影的直徑的0.9倍;所述阻擋環(huán)投影的外徑大于所述焊盤(pán)投影的直徑,且所述阻擋環(huán)投影的外徑小于所述焊盤(pán)投影的直徑的1.1倍。
6、可選地,所述阻擋層包括多個(gè)阻擋塊,多個(gè)所述阻擋塊間隔排布在所述第一通孔和/或所述第二通孔內(nèi)。
7、可選地,所述焊盤(pán)在所述外延層的表面上的正投影為圓形,多個(gè)所述阻擋塊在所述外延層的表面上的正投影,以所述焊盤(pán)的圓心為圓心,環(huán)形陣列排布。
8、可選地,所述阻擋塊在所述外延層表面上的正投影為圓形,所述阻擋塊投影的直徑大于或者等于(d-14)/7,且所述阻擋塊投影的直徑小于或者等于(d-4)/3,所述焊盤(pán)投影的直徑為d,單位為微米。
9、可選地,所述阻擋塊在所述第一通孔和/或所述第二通孔的邊緣區(qū)域的分布密度小于所述阻擋塊在所述第一通孔的中心區(qū)域的分布密度。
10、可選地,所述阻擋塊在所述第一通孔的靠近所述第二通孔的區(qū)域的分布密度,大于所述阻擋塊在所述第一通孔的遠(yuǎn)離所述第二通孔的區(qū)域的分布密度。
11、另一方面,本公開(kāi)實(shí)施例還提供了一種發(fā)光二極管的制備方法,所述制備方法包括:形成外延層;在所述外延層的表面形成透明導(dǎo)電層,所述透明導(dǎo)電層具有露出所述外延層的第一通孔;在所述透明導(dǎo)電層和所述外延層的表面形成鈍化層,所述鈍化層的表面具有露出所述第一通孔的過(guò)孔,和/或所述鈍化層具有露出所述外延層的第二通孔;在所述第一通孔和/或所述第二通孔內(nèi)形成阻擋層,所述阻擋層具有鏤空;在所述阻擋層的遠(yuǎn)離所述外延層的表面上形成焊盤(pán),使所述焊盤(pán)通過(guò)所述鏤空與所述外延層電性連接。
12、本公開(kāi)實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益效果至少包括:
13、本公開(kāi)實(shí)施例提供的發(fā)光二極管中透明導(dǎo)電層位于外延層的表面上,且透明導(dǎo)電層具有露出外延層的第一通孔,在第一通孔內(nèi)設(shè)置有阻擋層,阻擋層具有鏤空,焊盤(pán)設(shè)置在阻擋層的遠(yuǎn)離外延層的表面上,且通過(guò)鏤空和外延層電性連接。這樣在阻擋層的表面設(shè)置鏤空,讓焊盤(pán)能夠嵌入鏤空內(nèi),并與外延層電性連接,這樣既滿(mǎn)足焊盤(pán)與外延層的電性連接需求,又使得焊盤(pán)與阻擋層采用凹凸結(jié)構(gòu)的嵌入式配合,從而有效提升焊盤(pán)和阻擋層的連接可靠性,防止焊盤(pán)輕易從外延層上松脫,改善電極打線(xiàn)失效的問(wèn)題。
14、并且,在外延層和焊盤(pán)之間設(shè)置阻擋層,還能增大焊盤(pán)與阻擋層的接觸面積,這樣能形成良好反射率的全方向反射鏡,減少光線(xiàn)被焊盤(pán)吸收,以提升出光率。
1.一種發(fā)光二極管,其特征在于,所述發(fā)光二極管包括外延層(20)、透明導(dǎo)電層(30)、鈍化層(42)和焊盤(pán)(51),所述透明導(dǎo)電層(30)位于所述外延層(20)的表面上,所述鈍化層(42)位于所述外延層(20)的表面上,且覆蓋所述透明導(dǎo)電層(30),所述透明導(dǎo)電層(30)具有露出所述外延層(20)的第一通孔(31),和/或所述鈍化層(42)具有露出所述外延層(20)的第二通孔(32);
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述阻擋層(41)包括:阻擋塊(411)和阻擋環(huán)(412),所述阻擋塊(411)位于所述阻擋環(huán)(412)內(nèi),且所述阻擋塊(411)與所述阻擋環(huán)(412)同心排布,所述阻擋塊(411)與所述阻擋環(huán)(412)之間的環(huán)形間隙為所述鏤空(410)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述焊盤(pán)(51)和所述阻擋塊(411)在所述外延層(20)的表面上的正投影為圓形,所述阻擋塊(411)的投影直徑小于所述焊盤(pán)(51)的投影直徑的0.75倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述焊盤(pán)(51)在所述外延層(20)的表面上的正投影為圓形,所述阻擋環(huán)(412)在所述外延層(20)的表面上的正投影為圓環(huán);
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述阻擋層(41)包括多個(gè)阻擋塊(411),多個(gè)所述阻擋塊(411)間隔排布在所述第一通孔(31)和/或所述第二通孔(32)內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述焊盤(pán)(51)在所述外延層(20)的表面上的正投影為圓形,多個(gè)所述阻擋塊(411)在所述外延層(20)的表面上的正投影,以所述焊盤(pán)(51)的圓心為圓心,環(huán)形陣列排布。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述阻擋塊(411)在所述外延層(20)表面上的正投影為圓形,所述阻擋塊(411)投影的直徑大于或者等于(d-14)/7,且所述阻擋塊(411)投影的直徑小于或者等于(d-4)/3,所述焊盤(pán)(51)投影的直徑為d,單位為微米。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述阻擋塊(411)在所述第一通孔(31)和/或所述第二通孔(32)的邊緣區(qū)域的分布密度小于所述阻擋塊(411)在所述第一通孔(31)的中心區(qū)域的分布密度。
9.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的發(fā)光二極管,其特征在于,所述阻擋塊(411)在所述第一通孔(31)的靠近所述第二通孔(32)的區(qū)域的分布密度,大于所述阻擋塊(411)在所述第一通孔(31)的遠(yuǎn)離所述第二通孔(32)的區(qū)域的分布密度。
10.一種發(fā)光二極管的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括: