本發(fā)明涉及半導(dǎo)體清洗，具體是涉及一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測(cè)溫上有著廣泛的應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。無論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的。半導(dǎo)體生產(chǎn)包括清洗、氧化、化學(xué)氣相淀積、金屬化、光刻、刻蝕、摻雜等，半導(dǎo)體的清洗去除雜質(zhì)，半導(dǎo)體清洗以及清洗后的甩干具有重要的意義。

2、中國專利cn201420190299.7公開了一種安裝于用于清洗半導(dǎo)體芯片的清洗機(jī)的卡扣，包括支撐板和夾緊裝置，支撐板上設(shè)置有盲孔和u型槽，盲孔內(nèi)設(shè)置有磁鐵，夾緊裝置由旋轉(zhuǎn)板和固定桿組成，旋轉(zhuǎn)板通過轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)安裝于u型槽的兩個(gè)側(cè)壁上，旋轉(zhuǎn)板與u型槽相對(duì)的側(cè)壁的頂端設(shè)置有的凹槽，固定桿穿過u型槽且設(shè)置在旋轉(zhuǎn)板上；支撐板上設(shè)置有兩個(gè)u型槽，兩個(gè)u型槽內(nèi)均設(shè)置有夾緊裝置。本實(shí)用新型的有益效果是：承載能力大、夾緊待清洗芯片固定環(huán)牢固、使用方便、能有效避免在高速旋轉(zhuǎn)過程中芯片飛出，造成產(chǎn)品和人員的傷害。

3、但是在實(shí)際使用過程中，上述文件提供的卡扣裝置通過磁鐵的磁力來進(jìn)行裝夾零件，磁力把把控非常嚴(yán)格，磁力過小不足以對(duì)抗告訴旋轉(zhuǎn)帶來的離心力會(huì)導(dǎo)致零件飛出，造成經(jīng)濟(jì)損失甚至人員傷亡，磁力過大會(huì)導(dǎo)致拆裝需要克服磁力做工，導(dǎo)致裝夾效率低下。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問題，提供一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，本技術(shù)方案解決了上述背景技術(shù)中提出的上述文件提供的卡扣裝置通過磁鐵的磁力來進(jìn)行裝夾零件，磁力把把控非常嚴(yán)格，磁力過小不足以對(duì)抗告訴旋轉(zhuǎn)帶來的離心力會(huì)導(dǎo)致零件飛出，造成經(jīng)濟(jì)損失甚至人員傷亡，磁力過大會(huì)導(dǎo)致拆裝需要克服磁力做工，導(dǎo)致裝夾效率低下的問題。

2、為達(dá)到以上目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

3、一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，包括箱體，所述箱體的內(nèi)部兩側(cè)均固定安裝有支撐板，兩側(cè)所述支撐板相互靠近的一側(cè)均通過伸縮機(jī)構(gòu)與連接座固定連接，所述連接座的外側(cè)設(shè)置有夾持機(jī)構(gòu)，所述箱體的內(nèi)部頂端通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)與框體和活動(dòng)板連接，且所述框體的內(nèi)部設(shè)置有噴頭機(jī)構(gòu)，所述活動(dòng)板的內(nèi)部固定安裝有第一筒件，所述第一筒件的內(nèi)部滑動(dòng)連接有第二筒件，所述第二筒件的內(nèi)部滑動(dòng)連接有第三筒件，且所述第三筒件的內(nèi)部滑動(dòng)連接有第四筒件，所述第一筒件、第二筒件、第三筒件和第四筒件之間通過升降機(jī)構(gòu)連接，所述第四筒件的底端固定安裝有清理板。

4、優(yōu)選的，所述伸縮機(jī)構(gòu)包括固定板，所述固定板固定安裝在支撐板的內(nèi)側(cè)，所述固定板的周表面通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接有端面齒輪，且所述固定板上固定連接有四組固定座，所述固定座的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端固定連接有與端面齒輪嚙合的傳動(dòng)齒輪，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的另一端固定連接有第一連接臂，所述第一連接臂遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端與第二連接臂轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第二連接臂遠(yuǎn)離第一連接臂的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接座的外側(cè)。

5、優(yōu)選的，所述支撐板的內(nèi)側(cè)還固定連接有電機(jī)安裝板，所述電機(jī)安裝板上固定安裝有傳動(dòng)電機(jī)，所述傳動(dòng)電機(jī)的輸出端貫穿電機(jī)安裝板的側(cè)面，并與其中一個(gè)所述傳動(dòng)齒輪的外側(cè)中部固定連接。

6、優(yōu)選的，所述夾持機(jī)構(gòu)包括第一固定塊、第一螺紋桿和活動(dòng)板，所述連接座外側(cè)的上下對(duì)稱位置處均固定連接有兩組第一固定塊，且兩組所述第一固定塊的內(nèi)部均與導(dǎo)向桿固定連接，所述導(dǎo)向桿的兩端均焊接有連接板，所述連接座的外側(cè)中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)板，所述導(dǎo)向桿外表面的兩端分別滑動(dòng)連接有傳動(dòng)板和活動(dòng)板，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板的兩端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連桿，且兩組所述連桿遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)板的一端分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在傳動(dòng)板和活動(dòng)板的外側(cè)表面，且所述傳動(dòng)板和活動(dòng)板的外側(cè)均通過連接件與第一夾持板固定連接。

7、優(yōu)選的，所述連接座的外側(cè)還固定連接有第二固定塊，所述第二固定塊和其中一個(gè)所述連接板之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一螺紋桿，所述活動(dòng)板螺紋連接于第一螺紋桿的表面，且其中一個(gè)所述連接板的外側(cè)中部固定安裝有步進(jìn)電機(jī)，所述第一螺紋桿的一端固定連接在步進(jìn)電機(jī)的輸出端。

8、優(yōu)選的，兩個(gè)所述第一夾持板相互靠近的一側(cè)均固定安裝有兩組安裝座，兩組所述安裝座相互遠(yuǎn)離的一側(cè)均固定安裝有電動(dòng)推桿，且所述電動(dòng)推桿的輸出端貫穿安裝座的外側(cè)，并與第二夾持板固定連接，兩組所述第二夾持板的內(nèi)側(cè)固定連接有若干組橡膠軟盤。

9、優(yōu)選的，所述升降機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)固定安裝在第一筒件的內(nèi)壁，所述第一筒件的內(nèi)壁還固定連接有橫板，所述第一螺紋桿的一端固定連接在第一伺服電機(jī)的輸出端，且所述第一螺紋桿另一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于橫板的內(nèi)部，所述升降件螺紋連接在第一螺紋桿的外表面上，所述第一筒件的內(nèi)壁還固定連接有第一固定軸，所述第一固定軸的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂和第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂，且所述第四筒件的內(nèi)壁固定連接有第二固定軸，所述第二固定軸的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂和第四轉(zhuǎn)動(dòng)臂，所述伸縮件的一側(cè)兩端分別與第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂和第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且所述伸縮件的另一側(cè)兩端分別與第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂和第四轉(zhuǎn)動(dòng)臂轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述升降件與伸縮件連接。

10、優(yōu)選的，所述第二筒件、第三筒件上均開設(shè)有限位槽，所述伸縮件上設(shè)置有限位桿，且所述限位桿滑動(dòng)連接于限位槽的內(nèi)部。

11、優(yōu)選的，所述包括第一步進(jìn)電機(jī)和第二步進(jìn)電機(jī)，所述第一步進(jìn)電機(jī)和第二步進(jìn)電機(jī)分別固定安裝在框體的右側(cè)和背部，所述第一步進(jìn)電機(jī)的輸出端延伸至框體的內(nèi)部，并與第一支撐架固定連接，所述第一支撐架的內(nèi)部兩側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸，兩組所述轉(zhuǎn)軸相互靠近的一端均與噴頭固定連接，所述噴頭的左側(cè)安裝有連接桿，所述連接桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第二支撐架的內(nèi)部，且所述第二支撐架固定連接在第二步進(jìn)電機(jī)的輸出端。

12、優(yōu)選的，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二螺紋桿，所述第二螺紋桿設(shè)置有兩組并分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在箱體的內(nèi)部兩側(cè)，所述框體和活動(dòng)板均螺紋連接在第二螺紋桿的外表面上，且所述第二螺紋桿的一端延伸至箱體的外部，并與第一錐齒輪固定連接，所述箱體的右側(cè)頂端固定安裝有雙軸電機(jī)，所述雙軸電機(jī)的兩輸出端均固定連接有與第一錐齒輪嚙合的第二錐齒輪。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，具備以下有益效果：

14、本發(fā)明通過伸縮機(jī)構(gòu)和夾持機(jī)構(gòu)的配合使用，可實(shí)現(xiàn)對(duì)不同大小的半導(dǎo)體板進(jìn)行夾持固定，通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)和噴頭機(jī)構(gòu)進(jìn)行噴灑清洗液，且噴灑角度可調(diào)，噴灑范圍更廣，對(duì)半導(dǎo)體板表面進(jìn)行全面清洗，且清洗后的水掉落在箱體的內(nèi)部底端，箱體的內(nèi)部底端安裝有過濾板，對(duì)清洗后的水進(jìn)行過濾，又通過箱體左側(cè)底端的水泵作用，可實(shí)現(xiàn)對(duì)水資源的循環(huán)利用；接著通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)的配合使用，實(shí)現(xiàn)了對(duì)清洗后的半導(dǎo)體板表面存留的水份擦去，方便快捷，滿足了工作人員的需求。

技術(shù)特征：

1.一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括箱體(1)，所述箱體(1)的內(nèi)部兩側(cè)均固定安裝有支撐板(101)，兩側(cè)所述支撐板(101)相互靠近的一側(cè)均通過伸縮機(jī)構(gòu)(2)與連接座(102)固定連接，所述連接座(102)的外側(cè)設(shè)置有夾持機(jī)構(gòu)(3)，所述箱體(1)的內(nèi)部頂端通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)與框體(104)和活動(dòng)板(105)連接，且所述框體(104)的內(nèi)部設(shè)置有噴頭機(jī)構(gòu)(5)，所述活動(dòng)板(105)的內(nèi)部固定安裝有第一筒件(106)，所述第一筒件(106)的內(nèi)部滑動(dòng)連接有第二筒件(107)，所述第二筒件(107)的內(nèi)部滑動(dòng)連接有第三筒件(108)，且所述第三筒件(108)的內(nèi)部滑動(dòng)連接有第四筒件(109)，所述第一筒件(106)、第二筒件(107)、第三筒件(108)和第四筒件(109)之間通過升降機(jī)構(gòu)(4)連接，所述第四筒件(109)的底端固定安裝有清理板(110)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述伸縮機(jī)構(gòu)(2)包括固定板(201)，所述固定板(201)固定安裝在支撐板(101)的內(nèi)側(cè)，所述固定板(201)的周表面通過軸承(202)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有端面齒輪(203)，且所述固定板(201)上固定連接有四組固定座(204)，所述固定座(204)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿(205)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(205)的一端固定連接有與端面齒輪(203)嚙合的傳動(dòng)齒輪(206)，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(205)的另一端固定連接有第一連接臂(207)，所述第一連接臂(207)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)桿(205)的一端與第二連接臂(208)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第二連接臂(208)遠(yuǎn)離第一連接臂(207)的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接座(102)的外側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述支撐板(101)的內(nèi)側(cè)還固定連接有電機(jī)安裝板，所述電機(jī)安裝板上固定安裝有傳動(dòng)電機(jī)(209)，所述傳動(dòng)電機(jī)(209)的輸出端貫穿電機(jī)安裝板的側(cè)面，并與其中一個(gè)所述傳動(dòng)齒輪(206)的外側(cè)中部固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述夾持機(jī)構(gòu)(3)包括第一固定塊(301)、第一螺紋桿(305)和活動(dòng)板(306)，所述連接座(102)外側(cè)的上下對(duì)稱位置處均固定連接有兩組第一固定塊(301)，且兩組所述第一固定塊(301)的內(nèi)部均與導(dǎo)向桿(302)固定連接，所述導(dǎo)向桿(302)的兩端均焊接有連接板(303)，所述連接座(102)的外側(cè)中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)板(310)，所述導(dǎo)向桿(302)外表面的兩端分別滑動(dòng)連接有傳動(dòng)板(308)和活動(dòng)板(306)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板(310)的兩端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連桿(311)，且兩組所述連桿(311)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)板(310)的一端分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在傳動(dòng)板(308)和活動(dòng)板(306)的外側(cè)表面，且所述傳動(dòng)板(308)和活動(dòng)板(306)的外側(cè)均通過連接件與第一夾持板(309)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述連接座(102)的外側(cè)還固定連接有第二固定塊(304)，所述第二固定塊(304)和其中一個(gè)所述連接板(303)之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一螺紋桿(305)，所述活動(dòng)板(306)螺紋連接于第一螺紋桿(305)的表面，且其中一個(gè)所述連接板(303)的外側(cè)中部固定安裝有步進(jìn)電機(jī)(307)，所述第一螺紋桿(305)的一端固定連接在步進(jìn)電機(jī)(307)的輸出端。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：兩個(gè)所述第一夾持板(309)相互靠近的一側(cè)均固定安裝有兩組安裝座(312)，兩組所述安裝座(312)相互遠(yuǎn)離的一側(cè)均固定安裝有電動(dòng)推桿(313)，且所述電動(dòng)推桿(313)的輸出端貫穿安裝座(312)的外側(cè)，并與第二夾持板(314)固定連接，兩組所述第二夾持板(314)的內(nèi)側(cè)固定連接有若干組橡膠軟盤(315)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述升降機(jī)構(gòu)(4)包括伺服電機(jī)(401)，所述伺服電機(jī)(401)固定安裝在第一筒件(106)的內(nèi)壁，所述第一筒件(106)的內(nèi)壁還固定連接有橫板(403)，所述第一螺紋桿(402)的一端固定連接在第一伺服電機(jī)(401)的輸出端，且所述第一螺紋桿(402)另一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于橫板(403)的內(nèi)部，所述升降件(406)螺紋連接在第一螺紋桿(402)的外表面上，所述第一筒件(106)的內(nèi)壁還固定連接有第一固定軸，所述第一固定軸的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂(404)和第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂(405)，且所述第四筒件(109)的內(nèi)壁固定連接有第二固定軸，所述第二固定軸的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂(407)和第四轉(zhuǎn)動(dòng)臂(408)，所述伸縮件(409)的一側(cè)兩端分別與第一轉(zhuǎn)動(dòng)臂(404)和第二轉(zhuǎn)動(dòng)臂(405)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且所述伸縮件(409)的另一側(cè)兩端分別與第三轉(zhuǎn)動(dòng)臂(407)和第四轉(zhuǎn)動(dòng)臂(408)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述升降件(406)與伸縮件(409)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第二筒件(107)、第三筒件(108)上均開設(shè)有限位槽(410)，所述伸縮件(409)上設(shè)置有限位桿(411)，且所述限位桿(411)滑動(dòng)連接于限位槽(410)的內(nèi)部。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述噴頭機(jī)構(gòu)(5)包括第一步進(jìn)電機(jī)(501)和第二步進(jìn)電機(jī)(507)，所述第一步進(jìn)電機(jī)(501)和第二步進(jìn)電機(jī)(507)分別固定安裝在框體(104)的右側(cè)和背部，所述第一步進(jìn)電機(jī)(501)的輸出端延伸至框體(105)的內(nèi)部，并與第一支撐架(502)固定連接，所述第一支撐架(502)的內(nèi)部兩側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸(505)，兩組所述轉(zhuǎn)軸(505)相互靠近的一端均與噴頭(504)固定連接，所述噴頭(504)的左側(cè)安裝有連接桿(505)，所述連接桿(505)轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第二支撐架(506)的內(nèi)部，且所述第二支撐架(506)固定連接在第二步進(jìn)電機(jī)(507)的輸出端。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)包括第二螺紋桿(601)，所述第二螺紋桿(601)設(shè)置有兩組并分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接在箱體(1)的內(nèi)部兩側(cè)，所述框體(104)和活動(dòng)板(105)均螺紋連接在第二螺紋桿(601)的外表面上，且所述第二螺紋桿(601)的一端延伸至箱體(1)的外部，并與第一錐齒輪(602)固定連接，所述箱體(1)的右側(cè)頂端固定安裝有雙軸電機(jī)(603)，所述雙軸電機(jī)(603)的兩輸出端均固定連接有與第一錐齒輪(602)嚙合的第二錐齒輪(604)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體清洗機(jī)的快速裝夾機(jī)構(gòu)，包括箱體，所述箱體的內(nèi)部兩側(cè)均固定安裝有支撐板，兩側(cè)所述支撐板相互靠近的一側(cè)均通過伸縮機(jī)構(gòu)與連接座固定連接。通過伸縮機(jī)構(gòu)和夾持機(jī)構(gòu)的配合使用，可實(shí)現(xiàn)對(duì)不同大小的半導(dǎo)體板進(jìn)行夾持固定，通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)和噴頭機(jī)構(gòu)進(jìn)行噴灑清洗液，且噴灑角度可調(diào)，噴灑范圍更廣，對(duì)半導(dǎo)體板表面進(jìn)行全面清洗，且清洗后的水掉落在箱體的內(nèi)部底端，箱體的內(nèi)部底端安裝有過濾板，對(duì)清洗后的水進(jìn)行過濾，又通過箱體左側(cè)底端的水泵作用，可實(shí)現(xiàn)對(duì)水資源的循環(huán)利用；接著通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)的配合使用，實(shí)現(xiàn)了對(duì)清洗后的半導(dǎo)體板表面存留的水份擦去，方便快捷，滿足了工作人員的需求。

技術(shù)研發(fā)人員：壽浙瓊,陳浩,張峰,顧凱峰,吳城墾,張羽豐,柴曉程,馮磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江晶睿電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6