本發(fā)明涉及晶圓切割領域，尤其是涉及晶圓裝載治具控制領域，具體為一種晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)。

背景技術：

1、目前，在晶圓切割工程中會采用晶圓裝載治具，也就是fosb，通常放置在設備裝載區(qū)域，然而并沒有結構能夠限定晶圓裝載治具的穩(wěn)定安裝，也就會存在晶圓裝載治具掉落風險，導致晶圓出現(xiàn)大范圍碎裂的品質(zhì)事故發(fā)生。

2、現(xiàn)階段產(chǎn)品的問題發(fā)生主要原因如下：

3、1.晶圓裝載治具加載至設備，存在治具掉落的風險，造成產(chǎn)品缺陷的隱患；

4、2.不能作業(yè)產(chǎn)品，錯誤加載后設備誤作業(yè)。

技術實現(xiàn)思路

1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術的難點。

2、為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本發(fā)明提供一種晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，包括以下步驟：

3、s1：晶圓裝載待料：將需要待切割的晶圓裝載至晶圓裝載治具中；

4、s2：加載晶圓裝載治具：操作人員將步驟s1中裝載好晶圓的晶圓裝載治具安裝在設備相對應的位置上；

5、s3：晶圓裝載治具自動鎖定：通過自動鎖定單元判斷設備上已經(jīng)安裝的晶圓裝載治具，并將晶圓裝載治具與設備之間鎖定連接；

6、s4：加載晶圓裝載治具信息：將晶圓裝載治具已安裝的信號觸發(fā)發(fā)送至設備主控系統(tǒng)；

7、s5：晶圓裝載治具識別單元：通過晶圓裝載治具識別單元對加載后的晶圓裝載治具進行信息核對；

8、s6：設備解鎖：當正常作業(yè)完成之后，設備主控系統(tǒng)信號觸發(fā)自動鎖定單元，打開晶圓裝載治具底部鎖扣解鎖。

9、根據(jù)優(yōu)選方案，自動鎖定單元包括以下步驟：

10、s3.1信號觸發(fā)：將加載晶圓裝載治具的信號觸發(fā)發(fā)送至設備；

11、s3.2鎖定模塊接收信號：鎖定模塊接收來自設備觸發(fā)的信號；

12、s3.3鎖定晶圓裝載治具：鎖定裝置啟動，將晶圓裝載治具鎖定在設備上。

13、根據(jù)優(yōu)選方案，鎖定裝置安裝在晶圓裝載治具的底部。

14、根據(jù)優(yōu)選方案，晶圓裝載治具的底部通過安裝的掛鉤鎖定在設備上。

15、根據(jù)優(yōu)選方案，在所述步驟s5中，若核對通過則設備正常作業(yè)，若核對異常則設備停機并聯(lián)動報警。

16、根據(jù)優(yōu)選方案，在晶圓切割設備上安裝有電信號連接在主控模塊上的聲光報警器。

17、根據(jù)優(yōu)選方案，晶圓裝載治具識別單元包括以下步驟：

18、s5.1信息錄入：對待切割的晶圓裝載治具上的信息進行錄入；

19、s5.2信息判斷：對經(jīng)過上述步驟錄入的信息上傳至eap系統(tǒng)記錄信息，并在eis系統(tǒng)中進行判斷是否與作業(yè)信息一致。

20、根據(jù)優(yōu)選方案，步驟s5.1信息錄入中通過掃描晶圓裝載治具上的條碼獲得信息的錄入。

21、根據(jù)優(yōu)選方案，條碼采用二維碼或條形碼。

22、本發(fā)明在晶圓裝載治具的底部安裝鎖定裝置，鎖定裝置與主控模塊實現(xiàn)信號連接，并協(xié)同晶圓裝載治具信息的上傳與核對，達到設備作業(yè)結束前，晶圓裝載治具始終鎖止在設備上的效果，有效避免晶圓裝載治具掉落情況的發(fā)生，同時解決了晶圓產(chǎn)品碎裂缺陷發(fā)生的問題。

23、下文中將結合附圖對實施本發(fā)明的最優(yōu)實施例進行更詳盡的描述，以便能容易地理解本發(fā)明的特征和優(yōu)點。

技術特征：

1.一種晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，其特征在于，包括以下步驟：

2.根據(jù)權利要求1所述的晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，其特征在于，所述自動鎖定單元包括以下步驟：

3.根據(jù)權利要求2所述的晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，其特征在于，所述鎖定裝置安裝在晶圓裝載治具的底部。

4.根據(jù)權利要求3所述的晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，其特征在于，在所述步驟s5中，若核對通過則設備正常作業(yè)，若核對異常則設備停機并聯(lián)動報警。

5.根據(jù)權利要求4所述的晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓裝載治具識別單元包括以下步驟：

6.根據(jù)權利要求5所述的晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，其特征在于，所述步驟s5.1信息錄入中通過掃描晶圓裝載治具上的條碼獲得信息的錄入。

7.根據(jù)權利要求6所述的晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，其特征在于，所述條碼采用二維碼或條形碼。

技術總結
本發(fā)明提供一種晶圓切割工程產(chǎn)品裝載治具自動鎖定控制系統(tǒng)，包括以下步驟：S1：晶圓裝載待料；S2：加載晶圓裝載治具；S3：晶圓裝載治具自動鎖定；S4：加載晶圓裝載治具信息；S5：晶圓裝載治具識別單元；S6：設備解鎖。本發(fā)明在晶圓裝載治具的底部安裝鎖定裝置，鎖定裝置與主控模塊實現(xiàn)信號連接，并協(xié)同晶圓裝載治具信息的上傳與核對，達到設備作業(yè)結束前，晶圓裝載治具始終鎖止在設備上的效果，有效避免晶圓裝載治具掉落情況的發(fā)生，同時解決了晶圓產(chǎn)品碎裂缺陷發(fā)生的問題。

技術研發(fā)人員：諸敏敏,董瑞,曾紅,錢偉
受保護的技術使用者：海太半導體（無錫）有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/23