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一種晶圓取片器的制作方法

文檔序號(hào):40638651發(fā)布日期:2025-01-10 18:44閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種晶圓取片器,包括安裝板(1),其特征在于:所述安裝板(1)的一側(cè)固定有支撐架(2),所述支撐架(2)的前內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)筒(4),所述支撐架(2)的后內(nèi)壁上固定有固定筒(5),所述轉(zhuǎn)筒(4)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定筒(5)的外側(cè),所述轉(zhuǎn)筒(4)的側(cè)壁上固定有限位套筒(10),所述限位套筒(10)內(nèi)滑動(dòng)連接有活動(dòng)套筒(13),所述活動(dòng)套筒(13)的外端固定有自動(dòng)取料機(jī)構(gòu)(14);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述支撐架(2)的前側(cè)固定有第一馬達(dá)(3),且第一馬達(dá)(3)的輸出端與轉(zhuǎn)筒(4)相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述固定筒(5)的外側(cè)開(kāi)設(shè)有環(huán)形槽(6),且固定筒(5)內(nèi)固定有第二馬達(dá)(7),所述第二馬達(dá)(7)的底部與轉(zhuǎn)軸(8)相連接,且轉(zhuǎn)軸(8)位于環(huán)形槽(6)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述環(huán)形槽(6)的兩內(nèi)壁上對(duì)稱(chēng)開(kāi)設(shè)有弧形槽(9),且弧形槽(9)與轉(zhuǎn)軸(8)水平設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述限位套筒(10)設(shè)置有四個(gè),且四個(gè)限位套筒(10)周向均勻分布在轉(zhuǎn)筒(4)上,每個(gè)所述限位套筒(10)上均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一絲桿(11),且第一絲桿(11)的內(nèi)端固定有卡套(12),其中一個(gè)所述第一絲桿(11)上的卡套(12)卡合連接在轉(zhuǎn)軸(8)的外側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述第一絲桿(11)的外側(cè)螺紋連接有活動(dòng)套筒(13),且活動(dòng)套筒(13)與限位套筒(10)構(gòu)成伸縮結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述支撐板(1401)上固定有第三馬達(dá)(1402),且第三馬達(dá)(1402)的輸出端與齒盤(pán)(1403)相連接,所述支撐板(1401)內(nèi)開(kāi)設(shè)有凹槽(1404),且齒盤(pán)(1403)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在凹槽(1404)內(nèi),所述齒盤(pán)(1403)的外端面嚙合連接有圓齒輪(1405)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述圓齒輪(1405)的外端面固定有第二絲桿(1406),所述支撐板(1401)的外端面開(kāi)設(shè)有滑槽(1407),所述第二絲桿(1406)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在滑槽(1407)內(nèi),且第二絲桿(1406)的外側(cè)螺紋連接有滑塊(1408)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述移動(dòng)板(1410)的內(nèi)端面固定有第一活塞(1412),所述支撐板(1401)內(nèi)開(kāi)設(shè)有第一油槽(1413),所述第一活塞(1412)滑動(dòng)連接在第一油槽(1413)內(nèi),且第一油槽(1413)通過(guò)連接軟管(1414)與第二油槽(1416)相連接,所述連接軟管(1414)上固定有重球(1415),且重球(1415)活動(dòng)連接在滑槽(1407)內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓取片器,其特征在于:所述滑塊(1408)周向均勻分布在支撐板(1401)上,所述夾塊(1418)的內(nèi)端面固定有壓力傳感器(1419)。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓取片器,涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域,解決了現(xiàn)有的晶圓取片器通常只能一次取一片晶圓,取片效率不高以及取片之前難以自行扶正導(dǎo)致取片不精準(zhǔn)的問(wèn)題。該晶圓取片器,包括安裝板,所述安裝板的一側(cè)固定有支撐架,所述支撐架的前內(nèi)壁上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)筒,所述支撐架的后內(nèi)壁上固定有固定筒,所述轉(zhuǎn)筒轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定筒的外側(cè),所述轉(zhuǎn)筒的側(cè)壁上固定有限位套筒,所述限位套筒內(nèi)滑動(dòng)連接有活動(dòng)套筒,所述活動(dòng)套筒的外端固定有自動(dòng)取料機(jī)構(gòu);在本發(fā)明中,轉(zhuǎn)筒和四個(gè)限位套筒可整體旋轉(zhuǎn),方便輪流使用四個(gè)自動(dòng)取料機(jī)構(gòu)來(lái)取料,方便一次性拿取四個(gè)晶圓,以便提高取片效率,在取片之前可利用夾塊來(lái)夾持扶正晶圓,保證精準(zhǔn)吸取晶圓。

技術(shù)研發(fā)人員:丁勁鋒,劉念,莫玲瑩,覃發(fā)超,華鳴峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:無(wú)錫中斯盾科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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