1.一種光伏電池背面的處理方法,其特征在于,包括如下步驟:
2.根據(jù)權利要求1所述的一種光伏電池背面的處理方法,其特征在于,步驟s1中,所述拋光處理為堿拋光處理,堿拋光液為koh溶液或naoh溶液,濃度為5~8wt%,堿拋光溫度為50~70℃,堿拋光時間為100~300s。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種光伏電池背面的處理方法,其特征在于,步驟s3中,所述摻雜的摻雜源為硼源或者磷源;
4.根據(jù)權利要求1或3所述的一種光伏電池背面的處理方法,其特征在于,步驟s3中,所述摻雜多晶硅層為磷重摻雜多晶硅層;
5.根據(jù)權利要求1所述的一種光伏電池背面的處理方法,其特征在于,步驟s4中,所述氧化處理為氧離子注入,以在非金屬化區(qū)形成注氧多晶硅層,再退火,將非金屬化區(qū)的注氧多晶硅層轉(zhuǎn)化成所述氧化硅層。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種光伏電池背面的處理方法,其特征在于,步驟s4中,氧離子的注入劑量為1×1015~1×1018atoms/cm2,注入能量為10~100kev,注入溫度為20~200℃;氧離子的注入深度超過隧穿氧化層和摻雜多晶硅層的總厚度,并到達摻雜多晶硅帶尾附近,氧離子的注入深度為65~150nm。
7.根據(jù)權利要求5所述的一種光伏電池背面的處理方法,其特征在于,步驟s4中,所述退火的氣氛為氮氣,退火溫度為800~950℃,退火時間為60~120min。
8.一種topcon電池的制備方法,其特征在于,包括如下制備步驟:
9.一種topcon電池,其特征在于,其采用權利要求8所述的一種topcon電池的制備方法制得。
10.一種光伏組件,其特征在于,包括權利要求9所述的一種topcon電池。