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一種光電信號轉(zhuǎn)換器件及其制備方法與流程

文檔序號:40574232發(fā)布日期:2025-01-03 11:38閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,包括:

2.如權(quán)利要求1所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,所述第一晶圓包括第一表面,所述第一晶圓所包括的所述第一光電轉(zhuǎn)換單元與所述第二光電轉(zhuǎn)換單元一一相對,且各所述第一光電轉(zhuǎn)換單元和所相對的第二光電轉(zhuǎn)換單元在所述第一表面所在平面的正投影關(guān)于同一條直線對稱;

3.如權(quán)利要求2所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,在所述第一晶圓中,各所述第一光電轉(zhuǎn)換單元和所相對的第二光電轉(zhuǎn)換單元在所述第一表面所在平面的正投影關(guān)于第一直線對稱,每一所述第一光電轉(zhuǎn)換單元在垂直于所述第一直線上的尺寸大于所相對的第二光電轉(zhuǎn)換單元在垂直于所述第一直線上的尺寸;

4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,在每一個(gè)傳感器單元中,所述第二光電轉(zhuǎn)換單元設(shè)置為沿所述第一晶圓和所述第二晶圓堆疊的方向上在所對應(yīng)的第一光電轉(zhuǎn)換單元上的正投影,與所述對應(yīng)的第一光電轉(zhuǎn)換單元部分錯(cuò)開;

5.如權(quán)利要求4所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,所述第一晶圓包括第一表面,所述第一晶圓所包括的所有第一光電轉(zhuǎn)換單元的第一功能面和所有第二光電轉(zhuǎn)換單元的第二功能面均位于第一表面;所述第二晶圓包括第三表面,所述第二晶圓所包括的所有第一光電轉(zhuǎn)換單元的第一功能面和所有第二光電轉(zhuǎn)換單元的第二功能面均位于第三表面;

6.如權(quán)利要求4所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,所述第一晶圓包括相互背離的第一表面和第二表面,所述第一晶圓所包括的所述多個(gè)第一光電轉(zhuǎn)換單元和所述多個(gè)第二光電轉(zhuǎn)換單元中至少部分光電轉(zhuǎn)換單元的功能面位于所述第一表面,另一部分光電轉(zhuǎn)換單元的功能面位于所述第二表面;所述第二晶圓包括第三表面,所述第二晶圓所包括的所有第一光電轉(zhuǎn)換單元的第一功能面和所有第二光電轉(zhuǎn)換單元的第一功能面均位于第三表面;

7.如權(quán)利要求4所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,所述第一光電轉(zhuǎn)換單元上與所述第二光電轉(zhuǎn)換單元的正投影錯(cuò)開的區(qū)域還設(shè)有用以對所述第二光電轉(zhuǎn)換單元進(jìn)行電氣引出的第二外接焊盤。

8.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,所述第一晶圓所包括的多個(gè)第一光電轉(zhuǎn)換單元和多個(gè)第二光電轉(zhuǎn)換單元排布成多組光電轉(zhuǎn)換單元,所述第二晶圓所包括的多個(gè)第一光電轉(zhuǎn)換單元和多個(gè)第二光電轉(zhuǎn)換單元排布成多組光電轉(zhuǎn)換單元,每組光電轉(zhuǎn)換單元包括相鄰的一個(gè)第一光電轉(zhuǎn)換單元和一個(gè)第二光電轉(zhuǎn)換單元;在提供第一晶圓和提供第二晶圓之前,所述方法包括形成所述第一晶圓以及形成第二晶圓;其中

9.如權(quán)利要求1所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,在提供第一晶圓,以及提供第二晶圓之后,在將所述第一晶圓和所述第二晶圓鍵合之前,所述方法包括:

10.如權(quán)利要求1所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,將所述第一晶圓和所述第二晶圓鍵合包括:

11.如權(quán)利要求1所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,所述方法還包括:在所述第一光電轉(zhuǎn)換單元和所述第二光電轉(zhuǎn)換單元之間填充光學(xué)膠;

12.如權(quán)利要求1所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件的制備方法,其特征在于,所述第一晶圓所包括的所有光電轉(zhuǎn)換單元呈陣列排布,所述第一晶圓的多個(gè)第一光電轉(zhuǎn)換單元排布成多行,所述第一晶圓的多個(gè)第二光電轉(zhuǎn)換單元排布成多行;所述第一晶圓所包括的多行第一光電轉(zhuǎn)換單元和多行第二光電轉(zhuǎn)換單元中至少包括一行第一光電轉(zhuǎn)換單元和一行第二光電轉(zhuǎn)換單元對應(yīng)且相鄰設(shè)置,所述一行第一光電轉(zhuǎn)換單元的多個(gè)光電轉(zhuǎn)換單元和所對應(yīng)的相鄰行第二光電轉(zhuǎn)換單元在垂直于光電轉(zhuǎn)換單元行方向上對齊,且所述一行第一光電轉(zhuǎn)換單元與所對應(yīng)的相鄰行第二光電轉(zhuǎn)換單元之間設(shè)有第一劃片槽;

13.一種光電信號轉(zhuǎn)換器件,其特征在于,包括:

14.如權(quán)利要求13所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件,其特征在于,所述第二光電轉(zhuǎn)換單元設(shè)置沿所述第一光電轉(zhuǎn)換單元和所述第二光電轉(zhuǎn)換單元堆疊的方向上在所對應(yīng)的第一光電轉(zhuǎn)換單元上的正投影,與所述對應(yīng)的第一光電轉(zhuǎn)換單元部分錯(cuò)開;

15.如權(quán)利要求13所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件,其特征在于,所述第一光電轉(zhuǎn)換單元的第一功能面朝向所述第二光電轉(zhuǎn)換單元的第二功能面;

16.如權(quán)利要求13所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件,其特征在于,所述第二光電轉(zhuǎn)換單元上設(shè)有用以將所述第二光電轉(zhuǎn)換單元電氣引出的引出焊盤,所述第一光電轉(zhuǎn)換單元包括與所述引出焊盤相對的連接焊盤,所述連接焊盤與所述第二外接焊盤電連接,所述連接焊盤與所述引出焊盤正對,并與所述引出焊盤通過所述多個(gè)焊接凸點(diǎn)的至少部分焊接連接。

17.如權(quán)利要求13所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件,其特征在于,所述第二光電轉(zhuǎn)換單元的第二功能面背離所述第一光電轉(zhuǎn)換單元的第一功能面,所述多個(gè)焊接凸點(diǎn)作為支撐凸點(diǎn)。

18.如權(quán)利要求13所述的光電信號轉(zhuǎn)換器件,其特征在于,所述第一光電轉(zhuǎn)換單元和所述第二光電轉(zhuǎn)換單元之間填充有光學(xué)膠;和/或,


技術(shù)總結(jié)
本申請涉及一種光電信號轉(zhuǎn)換器件及其制備方法,通過在第一晶圓和第二晶圓上分別設(shè)置第一光電轉(zhuǎn)換單元和第二光電轉(zhuǎn)換單元,且將第一晶圓和第二晶圓設(shè)置為每一所述第一晶圓的第一光電轉(zhuǎn)換單元與一個(gè)所述第二晶圓的第二光電轉(zhuǎn)換單元對應(yīng),每一個(gè)所述第一晶圓的第二光電轉(zhuǎn)換單元與一個(gè)所述第二晶圓的第一光電轉(zhuǎn)換單元對應(yīng),每一個(gè)第一光電轉(zhuǎn)換單元和對應(yīng)設(shè)置的一個(gè)第二光電轉(zhuǎn)換單元形成一個(gè)傳感器單元后,對晶圓組件進(jìn)行切分,即可形成多個(gè)光電信號轉(zhuǎn)換器件。此種制備方法能夠去除光電信號轉(zhuǎn)換器件在應(yīng)用過程中所需的支撐裝置,降低生產(chǎn)成本的同時(shí)還能夠提高測溫精度。

技術(shù)研發(fā)人員:張濤,張奇功,叢靖昆,陸栩杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:杭州??滴⒂皞鞲锌萍加邢薰?br/>技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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