本發(fā)明涉及芯片加工，具體為一種用于芯片制造中抽檢裝置。

背景技術(shù)：

1、芯片在制造過程中需要使用到抽檢裝置對加工完成后的芯片進(jìn)行視覺檢測，通過光學(xué)顯微鏡對芯片進(jìn)行檢測，從而確定芯片是否完好，通過光學(xué)顯微鏡檢測，可以及時發(fā)現(xiàn)芯片制造過程中的問題，如缺陷、不均勻性或損壞，從而采取相應(yīng)的措施進(jìn)行修復(fù)或改進(jìn)，以提高芯片的質(zhì)量和性能。

2、現(xiàn)有的抽檢裝置多數(shù)采用吸盤夾具進(jìn)行直接夾持，然后把芯片放置在檢測區(qū)域進(jìn)行檢測，但是芯片如果在傳輸過程中出現(xiàn)了位置移動，就會導(dǎo)致設(shè)備的夾持結(jié)構(gòu)不能很好的對芯片夾持，即使夾持起來，也容易導(dǎo)致芯片的放置位置錯誤，影響設(shè)備的檢測效果。

3、所以需要針對上述問題設(shè)計一種用于芯片制造中抽檢裝置。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種用于芯片制造中抽檢裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用于芯片制造中抽檢裝置，包括外殼組件(1)和清潔組件，所述外殼組件的內(nèi)部上方安裝有動力組件，且動力組件的下端連接有夾持組件，所述清潔組件位于夾持組件的左右兩側(cè)，且夾持組件包括通氣管、渦輪和吸盤夾具，所述通氣管的內(nèi)部安裝有渦輪，且通氣管的下端安裝有吸盤夾具，所述清潔組件包括支撐架、清潔毛刷、第一傳動輪、皮帶和第二傳動輪，且支撐架的內(nèi)部安裝有清潔毛刷，所述支撐架的前后兩側(cè)連接有第一傳動輪，且第一傳動輪的外部設(shè)置有皮帶，所述皮帶遠(yuǎn)離第一傳動輪的一側(cè)連接有第二傳動輪。

3、進(jìn)一步的，所述夾持組件的兩側(cè)中部安裝有供氣組件，所述外殼組件的內(nèi)部右側(cè)安裝有箱體組件，且箱體組件的內(nèi)部設(shè)置有自動閉合組件，所述自動閉合組件的中部安裝有芯片本體，且自動閉合組件的兩側(cè)上端連接有密封組件，所述密封組件的前后兩端下方設(shè)置有鎖合組件，且密封組件在中部下端連接有閥體組件。

4、進(jìn)一步的，所述外殼組件包括殼體、風(fēng)機(jī)、風(fēng)管和皮帶輸送機(jī)，且殼體一側(cè)安裝有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的風(fēng)口連接有風(fēng)管，所述殼體的內(nèi)部左側(cè)安裝有皮帶輸送機(jī)。

5、進(jìn)一步的，所述動力組件包括電動滑軌和多節(jié)液壓缸，且電動滑軌的下端安裝有多節(jié)液壓缸。

6、進(jìn)一步的，所述供氣組件包括供氣管和滾動鋼珠，且供氣管的上端兩側(cè)安裝有滾動鋼珠。

7、進(jìn)一步的，所述箱體組件包括遮光箱、補(bǔ)光燈和檢測攝像頭，且遮光箱的內(nèi)部五壁安裝有補(bǔ)光燈，所述遮光箱的內(nèi)部左右兩壁安裝有檢測攝像頭。

8、進(jìn)一步的，所述自動閉合組件包括第一彈簧、檢測臺、連桿和連接塊，且第一彈簧的上端連接有檢測臺，所述檢測臺的上端連接有連桿，且連桿的上端連接有連接塊。

9、進(jìn)一步的，所述密封組件包括蓋門和密封氣墊，且蓋門的外側(cè)鑲嵌有密封氣墊。

10、進(jìn)一步的，所述鎖合組件包括鎖合頭和永磁體，且鎖合頭的靠近箱體組件的一側(cè)設(shè)置有永磁體。

11、進(jìn)一步的，所述閥體組件包括閥框、第二彈簧、移動塊和閥芯塊，且閥框的內(nèi)部設(shè)置有第二彈簧，所述第二彈簧靠近閥框中軸線的一側(cè)設(shè)置有移動塊，且移動塊遠(yuǎn)離第二彈簧的一側(cè)是有閥芯塊。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：該設(shè)備具有補(bǔ)氣結(jié)構(gòu)，避免夾持損壞芯片，該設(shè)備能夠?qū)π酒谋砻孢M(jìn)行清理，同時也能夠?qū)π酒M(jìn)行定位，該設(shè)備能夠進(jìn)行避光，避免光照影響設(shè)備的檢測效果，同時也具有密封結(jié)構(gòu)，避免連接處漏光。

13、1、本發(fā)明通過風(fēng)機(jī)進(jìn)行抽氣，從而使吸盤夾具具有一定吸力，對芯片本體進(jìn)行夾持，在夾持過程中通過供氣管能夠?qū)ν夤軆?nèi)部供氣，從而進(jìn)行補(bǔ)氣，避免吸盤夾具持續(xù)產(chǎn)生較大的吸力，對芯片本體造成損壞。

14、2、本發(fā)明在夾持工作時，通氣管內(nèi)部吸氣，產(chǎn)生空氣流動，從而帶動渦輪轉(zhuǎn)動，通過皮帶使渦輪帶動清潔毛刷轉(zhuǎn)動，從而使清潔毛刷能夠?qū)π酒倔w的表面進(jìn)行清潔。

15、3、本發(fā)明清潔毛刷對芯片本體表面清潔過程中，因渦輪受到的空氣流動是向上的，所以兩個渦輪均是向內(nèi)轉(zhuǎn)動，從而使清潔毛刷也進(jìn)行向內(nèi)轉(zhuǎn)動，使清潔毛刷可以對芯片本體向吸盤夾具的下方撥動，因兩個渦輪收到的風(fēng)力影響一致，所以渦輪的受力大小一致，從而使清潔毛刷的轉(zhuǎn)動力一致，從而使清潔毛刷在對芯片本體撥動時，會使芯片本體完成中心定位后就兩段受力一致無法移動，從而對芯片本體實現(xiàn)中心定位。

16、4、本發(fā)明在放置芯片本體時會對檢測臺向下按壓，從而使檢測臺通過連桿帶動蓋門關(guān)閉，從而使蓋門和遮光箱組合，形成一個密封環(huán)境，避免外部光源進(jìn)入，影響設(shè)備的檢測視覺檢測效果。

17、5、本發(fā)明在芯片本體放置后通氣管會進(jìn)行一定高度的上升，這時供氣管會與閥框?qū)?，從而把通過第二彈簧與閥框之間構(gòu)成彈性結(jié)構(gòu)的移動塊頂開，使閥芯塊張開，從而使供氣管對閥框內(nèi)部吹氣，從而使蓋門外部的密封氣墊膨脹，使密封氣墊可以對蓋門的邊緣處密封，增加蓋門與遮光箱之間的密封性，更好的增加避光效果，便于設(shè)備的工作。

技術(shù)特征：

1.一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，包括外殼組件(1)和清潔組件(4)，所述外殼組件(1)的內(nèi)部上方安裝有動力組件(2)，且動力組件(2)的下端連接有夾持組件(3)，所述清潔組件(4)位于夾持組件(3)的左右兩側(cè)，且夾持組件(3)包括通氣管(301)、渦輪(302)和吸盤夾具(303)，所述通氣管(301)的內(nèi)部安裝有渦輪(302)，且通氣管(301)的下端安裝有吸盤夾具(303)，所述清潔組件(4)包括支撐架(401)、清潔毛刷(402)、第一傳動輪(403)、皮帶(404)和第二傳動輪(405)，且支撐架(401)的內(nèi)部安裝有清潔毛刷(402)，所述支撐架(401)的前后兩側(cè)連接有第一傳動輪(403)，且第一傳動輪(403)的外部設(shè)置有皮帶(404)，所述皮帶(404)遠(yuǎn)離第一傳動輪(403)的一側(cè)連接有第二傳動輪(405)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述夾持組件(3)的兩側(cè)中部安裝有供氣組件(5)，所述外殼組件(1)的內(nèi)部右側(cè)安裝有箱體組件(6)，且箱體組件(6)的內(nèi)部設(shè)置有自動閉合組件(7)，所述自動閉合組件(7)的中部安裝有芯片本體(8)，且自動閉合組件(7)的兩側(cè)上端連接有密封組件(9)，所述密封組件(9)的前后兩端下方設(shè)置有鎖合組件(10)，且密封組件(9)在中部下端連接有閥體組件(11)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述外殼組件(1)包括殼體(101)、風(fēng)機(jī)(102)、風(fēng)管(103)和皮帶輸送機(jī)(104)，且殼體(101)一側(cè)安裝有風(fēng)機(jī)(102)，所述風(fēng)機(jī)(102)的風(fēng)口連接有風(fēng)管(103)，所述殼體(101)的內(nèi)部左側(cè)安裝有皮帶輸送機(jī)(104)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述動力組件(2)包括電動滑軌(201)和多節(jié)液壓缸(202)，且電動滑軌(201)的下端安裝有多節(jié)液壓缸(202)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述供氣組件(5)包括供氣管(501)和滾動鋼珠(502)，且供氣管(501)的上端兩側(cè)安裝有滾動鋼珠(502)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述箱體組件(6)包括遮光箱(601)、補(bǔ)光燈(602)和檢測攝像頭(603)，且遮光箱(601)的內(nèi)部五壁安裝有補(bǔ)光燈(602)，所述遮光箱(601)的內(nèi)部左右兩壁安裝有檢測攝像頭(603)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述自動閉合組件(7)包括第一彈簧(701)、檢測臺(702)、連桿(703)和連接塊(704)，且第一彈簧(701)的上端連接有檢測臺(702)，所述檢測臺(702)的上端連接有連桿(703)，且連桿(703)的上端連接有連接塊(704)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述密封組件(9)包括蓋門(901)和密封氣墊(902)，且蓋門(901)的外側(cè)鑲嵌有密封氣墊(902)。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述鎖合組件(10)包括鎖合頭(1001)和永磁體(1002)，且鎖合頭(1001)的靠近箱體組件(6)的一側(cè)設(shè)置有永磁體(1002)。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述閥體組件(11)包括閥框(1101)、第二彈簧(1102)、移動塊(1103)和閥芯塊(1104)，且閥框(1101)的內(nèi)部設(shè)置有第二彈簧(1102)，所述第二彈簧(1102)靠近閥框(1101)中軸線的一側(cè)設(shè)置有移動塊(1103)，且移動塊(1103)遠(yuǎn)離第二彈簧(1102)的一側(cè)是有閥芯塊(1104)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于芯片制造中抽檢裝置，包括外殼組件和清潔組件，所述外殼組件的內(nèi)部上方安裝有動力組件，且動力組件的下端連接有夾持組件，所述清潔組件位于夾持組件的左右兩側(cè)，且夾持組件包括通氣管、渦輪和吸盤夾具，所述通氣管的內(nèi)部安裝有渦輪，且通氣管的下端安裝有吸盤夾具，所述清潔組件包括支撐架、清潔毛刷、第一傳動輪、皮帶和第二傳動輪，且支撐架的內(nèi)部安裝有清潔毛刷，所述支撐架的前后兩側(cè)連接有第一傳動輪，本發(fā)明的有益效果是：該設(shè)備具有補(bǔ)氣結(jié)構(gòu)，避免夾持損壞芯片，該設(shè)備能夠?qū)π酒谋砻孢M(jìn)行清理，同時也能夠?qū)π酒M(jìn)行定位，該設(shè)備能夠進(jìn)行避光，避免光照影響設(shè)備的檢測效果，同時也具有密封結(jié)構(gòu)，避免連接處漏光。

技術(shù)研發(fā)人員：談曉東,陳貽云,丁長勝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市友恩半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6