本發(fā)明涉及半導(dǎo)體的生產(chǎn)設(shè)備的，特別涉及一種半導(dǎo)體處理設(shè)備及半導(dǎo)體處理方法。

背景技術(shù)：

1、在生產(chǎn)芯片時(shí)，先生產(chǎn)出半導(dǎo)體圓片，然后，將半導(dǎo)體圓片分切成若干排、若干列芯片，接著，對(duì)芯片測(cè)試，并標(biāo)識(shí)出不良品。

2、對(duì)于不良的芯片，通常是，人工拿取吸管，通過(guò)吸取不良芯片的方式，將不良芯片剔除掉。

3、然而，現(xiàn)有的去除不良品的方式效率低下，耗費(fèi)較多人工，同時(shí)，也不能夠高效地去除半導(dǎo)體圓片的邊緣空白。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本發(fā)明提出一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，能夠提高去除不良品的效率，同時(shí)，高效地去除半導(dǎo)體圓片的邊緣空白。

2、本發(fā)明還提出一種應(yīng)用于上述半導(dǎo)體處理設(shè)備的半導(dǎo)體處理方法。

3、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，包括：輸送裝置，用于平移地輸送載物圓片，載物圓片包括底片和半導(dǎo)體圓片，底片的頂部設(shè)置有酒精，半導(dǎo)體圓片放置于底片上，半導(dǎo)體圓片的不良芯片被磁性墨水標(biāo)記；邊緣空白剔除裝置，包括升降機(jī)構(gòu)和吸取機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)用于將載物圓片從輸送裝置提升至吸取機(jī)構(gòu)，吸取機(jī)構(gòu)包括若干吸取件，若干吸取件沿半導(dǎo)體圓片的周向布置，吸取件用于吸取半導(dǎo)體圓片的邊緣空白，待吸取完畢后，升降機(jī)構(gòu)用于將載物圓片放回輸送裝置；風(fēng)干裝置，位于邊緣空白剔除裝置的下游，用于清除半導(dǎo)體圓片和底片之間的酒精和靜電；不良品剔除裝置，位于風(fēng)干裝置的下游，包括磁吸機(jī)構(gòu)和收集件，磁吸機(jī)構(gòu)位于載物圓片的上方，磁吸機(jī)構(gòu)用于吸取不良芯片，以使不良芯片與載物圓片分離，收集件位于磁吸機(jī)構(gòu)和載物圓片的下方，待載物圓片移走后，磁吸機(jī)構(gòu)的吸力減弱或消失，不良芯片下落至收集件。

4、根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，至少具有如下有益效果：

5、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置輸送裝置，可以平移輸送載物圓片，進(jìn)而，使得半導(dǎo)體圓片可以自動(dòng)地依次經(jīng)過(guò)邊緣空白剔除裝置、風(fēng)干裝置和不良品剔除裝置，因而，可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體圓片的邊緣空白和不良芯片的全工序自動(dòng)剔除，自動(dòng)化程度高，生產(chǎn)高效。

6、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置邊緣空白剔除裝置，使邊緣空白剔除裝置包括升降機(jī)構(gòu)和吸取機(jī)構(gòu)，因而，當(dāng)載物圓片移動(dòng)至邊緣空白剔除裝置時(shí)，升降機(jī)構(gòu)可以提升載物圓片，使得半導(dǎo)體圓片靠近吸取機(jī)構(gòu)，可以方便吸取機(jī)構(gòu)將半導(dǎo)體圓片的邊緣空白吸除，簡(jiǎn)化吸取機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。

7、升降機(jī)構(gòu)使得載物圓片脫離了輸送裝置，方便對(duì)載物圓片進(jìn)行調(diào)整，例如旋轉(zhuǎn)載物圓片，使得載物圓片的邊緣空白的不同位置靠近吸取件，進(jìn)而，可以吸取半導(dǎo)體圓片的所有邊緣空白，避免遺漏，同時(shí)，又可以減少吸取件的數(shù)量，降低制造成本。

8、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置風(fēng)干裝置，可以清除酒精和靜電，使得半導(dǎo)體圓片的芯片容易與底片分離，進(jìn)而，既方便從底片上收集不良芯片，提高剔除不良品的效率，也方便從底片上分離合格芯片，提高生產(chǎn)效率。

9、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置不良品剔除裝置，因而，對(duì)磁吸機(jī)構(gòu)通電，可以利用不良芯片上的磁性墨水標(biāo)記，將不良芯片吸除，使得載物圓片上僅存留有合格芯片，滿(mǎn)足剔除不良品的需要。

10、而當(dāng)輸送裝置將載物圓片移走后，對(duì)磁吸機(jī)構(gòu)斷電或減少電力供應(yīng)，使得磁吸機(jī)構(gòu)的磁性消失或減弱，不良芯片因重力而下落至收集件，快捷高效，無(wú)需人手逐一吸取，節(jié)省人工。

11、本發(fā)明中還提供了一種半導(dǎo)體處理方法，具有上述有益效果。

12、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，半導(dǎo)體圓片的直徑小于底片的直徑，底片上未被半導(dǎo)體圓片遮擋的部分設(shè)置有標(biāo)識(shí)點(diǎn)，根據(jù)標(biāo)識(shí)點(diǎn)，半導(dǎo)體圓片以設(shè)定角度并同心地放置于底片上。

13、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置標(biāo)識(shí)點(diǎn)，使半導(dǎo)體圓片相對(duì)標(biāo)識(shí)點(diǎn)以相應(yīng)的角度放置在底片上，因而，在吸取半導(dǎo)體圓片的邊緣空白前，可以通過(guò)標(biāo)識(shí)點(diǎn)來(lái)確定半導(dǎo)體圓片上芯片的縱橫排列方向，降低識(shí)別的難度，降低制造成本，例如省去識(shí)別縱橫排列方向的影像裝置，進(jìn)而，確定要去除的邊緣空白的位置，以便更加高效地去除半導(dǎo)體圓片的邊緣空白。

14、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，輸送裝置包括多個(gè)輸送單元，多個(gè)輸送單元包括第一輸送單元，第一輸送單元與邊緣空白剔除裝置對(duì)應(yīng)；第一輸送單元包括兩條并排的輸送帶、兩個(gè)定位柱和兩條限位板；兩條限位板位于兩條輸送帶相遠(yuǎn)離的一側(cè)，兩條限位板用于將載物圓片限位于兩條輸送帶上；兩條輸送帶之間的空間允許升降機(jī)構(gòu)提升載物圓片；兩個(gè)定位柱能夠位于升降機(jī)構(gòu)沿載物圓片輸送方向的一側(cè)，兩個(gè)定位柱用于抵接底片的邊緣空白以定位載物圓片的圓心并阻止載物圓片移動(dòng)。

15、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置多個(gè)輸送單元，因而，可以將輸送裝置拆分成多段，進(jìn)而，可以根據(jù)產(chǎn)能匹配情況，合理安排輸送單元的數(shù)量，滿(mǎn)足生產(chǎn)需要，同時(shí)，也可以根據(jù)邊緣空白剔除裝置、風(fēng)干裝置和不良品剔除裝置的實(shí)際情況，做對(duì)應(yīng)調(diào)整，滿(mǎn)足各部分工作需要。

16、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置第一輸送單元，使第一輸送單元包括兩條并排的輸送帶，因而，兩條輸送帶可以支撐載物圓片，滿(mǎn)足輸送需要。

17、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置兩條限位板，可以將載物圓片限位在兩條輸送帶上，避免載物圓片的一側(cè)與輸送帶脫離而使載物圓片掉落，提高輸送的可靠性。

18、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置兩個(gè)定位柱，因而，當(dāng)載物圓片觸及兩個(gè)定位柱時(shí)，載物圓片靜止，又由于兩個(gè)定位柱觸及了載物圓片的外圓、載物圓片的外圓的直徑不變，由幾何關(guān)系可以確定載物圓片的圓心或中心，進(jìn)而，可以使得載物圓片的圓心準(zhǔn)確地位于升降機(jī)構(gòu)的設(shè)定位置，確保吸取件正對(duì)半導(dǎo)體圓片的邊緣空白，滿(mǎn)足吸取半導(dǎo)體圓片的邊緣空白的需要。

19、同時(shí)，由于載物圓片的圓心準(zhǔn)確地位于升降機(jī)構(gòu)的設(shè)定位置，還方便進(jìn)行旋轉(zhuǎn)調(diào)整，減少旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的偏移，因而，無(wú)需增加吸取件的數(shù)量或調(diào)整吸取件的位置，就可以吸除半導(dǎo)體圓片的整個(gè)邊緣空白，避免遺漏。

20、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，邊緣空白剔除裝置還包括用于識(shí)別標(biāo)識(shí)點(diǎn)的識(shí)別器，升降機(jī)構(gòu)包括升降架，升降架設(shè)置有旋轉(zhuǎn)盤(pán)，旋轉(zhuǎn)盤(pán)用于承托載物圓片，當(dāng)升降架提升載物圓片后，根據(jù)識(shí)別器的指示信息，邊緣空白剔除裝置控制旋轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)，以使吸取件吸取半導(dǎo)體圓片的不同位置。

21、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置識(shí)別器，可以通過(guò)識(shí)別標(biāo)識(shí)點(diǎn)來(lái)判斷半導(dǎo)體圓片的芯片的縱橫排列信息，以便控制旋轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而，完成對(duì)半導(dǎo)體圓片的邊緣空白的吸取，同時(shí)，將吸取件的數(shù)量、旋轉(zhuǎn)盤(pán)的旋轉(zhuǎn)角度綜合性地降低，具有設(shè)備制造成本低、吸取效率高的雙重優(yōu)勢(shì)。

22、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，升降機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)并排豎立的固定板，兩個(gè)固定板之間設(shè)置帶動(dòng)升降架升降的動(dòng)力件，固定板和升降架之間設(shè)置導(dǎo)柱和容置導(dǎo)柱的導(dǎo)孔，導(dǎo)柱和導(dǎo)孔配合形成升降軌道。

23、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置兩個(gè)固定板，可以在升降架的邊緣空白設(shè)置導(dǎo)柱和導(dǎo)孔，以便對(duì)升降架的升降導(dǎo)向，提高升降的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，減少偏擺。

24、同時(shí)，兩個(gè)固定板之間還預(yù)留空間，方便布置帶動(dòng)升降架升降的動(dòng)力，同時(shí)，使得該動(dòng)力容易處于升降架的幾何中心或重心，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)升降和順滑升降，避免動(dòng)力和重力的合力產(chǎn)生扭矩，減少卡滯和偏磨。

25、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，吸取件的數(shù)量為四個(gè)，四個(gè)吸取件沿半導(dǎo)體圓片的周向均布，吸取機(jī)構(gòu)包括安裝架，安裝架的頂部設(shè)置吸取件，安裝架設(shè)置有上下貫通的開(kāi)口，吸取件沿開(kāi)口的邊緣空白布置，吸取件穿過(guò)開(kāi)口后吸取半導(dǎo)體圓片的邊緣空白。

26、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置四個(gè)吸取件，因而，可以對(duì)縱橫排列的半導(dǎo)體芯片的四個(gè)方位的邊緣空白進(jìn)行吸取，既滿(mǎn)足吸取需要，又將吸取件的數(shù)量設(shè)定在合適范圍內(nèi)，減少占用空間，方便布置，同時(shí)，有利于減少旋轉(zhuǎn)盤(pán)的旋轉(zhuǎn)范圍，例如，使旋轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)90度就可以完成吸取一整圈的需要。

27、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，吸取件包括吸取嘴、用于安裝吸取嘴的三軸調(diào)整座，三軸調(diào)整座能夠?qū)ξ∽爝M(jìn)行z軸位移調(diào)整、x軸位移調(diào)整和y軸位移調(diào)整。

28、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置三軸調(diào)整座，還實(shí)現(xiàn)了吸取件位置的多方向調(diào)整，可以根據(jù)設(shè)備的安裝情況以及半導(dǎo)體圓片的規(guī)格，進(jìn)行合理調(diào)整，滿(mǎn)足使用需要，具有良好的適應(yīng)性和廣泛的通用性。

29、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，風(fēng)干裝置包括第一吹風(fēng)機(jī)構(gòu)和第二吹風(fēng)機(jī)構(gòu)，第一吹風(fēng)機(jī)構(gòu)和第二吹風(fēng)機(jī)構(gòu)之間允許輸送裝置輸送載物圓片，第一吹風(fēng)機(jī)構(gòu)和第二吹風(fēng)機(jī)構(gòu)能夠上下擺動(dòng)，以調(diào)整吹風(fēng)方向。

30、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置第一吹風(fēng)機(jī)構(gòu)和第二吹風(fēng)機(jī)構(gòu)，可以相對(duì)地吹干載物圓片，減少底片對(duì)半導(dǎo)體圓片的粘附，使得半導(dǎo)體圓片的合格芯片和不良芯片均容易從底片上分離，以便進(jìn)行篩選和收集。

31、同時(shí)，設(shè)置第一吹風(fēng)機(jī)構(gòu)和第二吹風(fēng)機(jī)構(gòu)，可以使各芯片到吹風(fēng)機(jī)構(gòu)的距離較為均衡，使得各芯片均勻風(fēng)干，有利于縮短風(fēng)干用時(shí)，提升效率。

32、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理方法，應(yīng)用于任意一項(xiàng)的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，處理方法包括：

33、載物圓片制造步驟，對(duì)半導(dǎo)體圓片的芯片進(jìn)行測(cè)試，用磁性墨水標(biāo)記不良芯片，在底片上噴灑酒精，將已被磁性墨水標(biāo)記的半導(dǎo)體圓片放置至底片上；

34、吸取邊緣空白步驟，將載物圓片放置于輸送裝置的上料位置，輸送裝置將載物圓片移動(dòng)至邊緣空白剔除裝置的吸取機(jī)構(gòu)的正下方，升降機(jī)構(gòu)將載物圓片提升至吸取機(jī)構(gòu)處，吸取件吸取半導(dǎo)體圓片的邊緣空白，待吸取邊緣空白完畢后，升降機(jī)構(gòu)將載物圓片放回輸送裝置；

35、風(fēng)干步驟，輸送裝置將載物圓片移動(dòng)至風(fēng)干裝置處，風(fēng)干裝置向載物圓片吹風(fēng)，以清除半導(dǎo)體圓片與底片之間的酒精和靜電；

36、不良品剔除步驟，輸送裝置將載物圓片輸送至磁吸機(jī)構(gòu)的下方，對(duì)磁吸機(jī)構(gòu)通電，磁吸機(jī)構(gòu)磁性吸附被磁性墨水標(biāo)記的不良芯片，使不良芯片與載物圓片分離，輸送裝置繼續(xù)輸送載物圓片至下料位置，然后，對(duì)磁吸機(jī)構(gòu)斷電或減電，不良芯片下落至收集件。

37、有益的是，本發(fā)明通過(guò)先吸附半導(dǎo)體圓片的邊緣空白、然后進(jìn)行風(fēng)干、最后進(jìn)行磁性吸附的方式，去除了半導(dǎo)體圓片的邊緣空白，剔除了不良芯片，留下了合格芯片，實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體圓片的全工序自動(dòng)分選，極少使用人工，生產(chǎn)效率高。

38、根據(jù)本發(fā)明的一種半導(dǎo)體處理方法，

39、在吸取邊緣空白步驟中，輸送裝置將載物圓片移動(dòng)至邊緣空白剔除裝置的吸取機(jī)構(gòu)的正下方，包括，兩條限位板將載物圓片限位于兩條輸送帶上，兩條輸送帶輸送載物圓片，兩個(gè)定位柱抵接載物圓片以使載物圓片靜止，并且，載物圓片的圓心與旋轉(zhuǎn)盤(pán)的中心上下重合；

40、在吸取邊緣空白步驟中，吸取件吸取半導(dǎo)體圓片的邊緣空白，包括，旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)盤(pán)，使識(shí)別器識(shí)別到一標(biāo)識(shí)點(diǎn)，然后，使旋轉(zhuǎn)盤(pán)靜止，吸取件吸取半導(dǎo)體圓片的一局部邊緣空白，接著，吸取件停止吸取，然后，繼續(xù)旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)盤(pán)，使識(shí)別器識(shí)別到另一標(biāo)識(shí)點(diǎn)，然后，使旋轉(zhuǎn)盤(pán)再次靜止，吸取件吸取半導(dǎo)體圓片的另一局部邊緣空白。

41、本發(fā)明通過(guò)使用限位板、輸送帶和定位柱，既滿(mǎn)足輸送需要，又方便銜接邊緣空白剔除裝置，以便對(duì)載物圓片進(jìn)行定位。

42、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置旋轉(zhuǎn)盤(pán)和識(shí)別器，因而，通過(guò)識(shí)別標(biāo)識(shí)點(diǎn)，來(lái)控制旋轉(zhuǎn)盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)，使得半導(dǎo)體圓片的不同位置處于吸取件的吸取范圍內(nèi)，可以減少吸取件的數(shù)量，同時(shí)，擴(kuò)大吸取機(jī)構(gòu)的吸取范圍，將半導(dǎo)體圓片的邊緣空白完全吸除，避免遺漏。

43、本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。