本說(shuō)明書涉及晶圓傳送，具體涉及一種刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指及傳送系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體制造中需要將晶圓從承載盒傳送至工藝腔體內(nèi)才能進(jìn)行工藝，其中大氣傳送部分通常使用氣缸夾取式手指，通過(guò)夾取的方式校正晶圓位置以提高傳送精度，在夾取晶圓的過(guò)程當(dāng)中，晶圓會(huì)在機(jī)械手上面滑動(dòng)，傳送手指通過(guò)增加墊片（pick）減小接觸面積，不能完全避免晶圓背部劃傷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本說(shuō)明書實(shí)施例提供一種刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指及傳送系統(tǒng)，通過(guò)在手指本體上設(shè)置至少三組不在同一條直線上的滾動(dòng)件，滾動(dòng)件對(duì)晶圓進(jìn)行支撐，當(dāng)推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)晶圓運(yùn)動(dòng)時(shí)，滾動(dòng)件相對(duì)于手指本體轉(zhuǎn)動(dòng)，將晶圓的滑動(dòng)摩擦轉(zhuǎn)變?yōu)闈L動(dòng)摩擦，避免晶圓背部出現(xiàn)劃傷的情況，同時(shí)在手指本體上設(shè)置限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)，限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)在晶圓被夾持固定時(shí)控制推動(dòng)機(jī)構(gòu)停止推動(dòng)晶圓運(yùn)動(dòng)，保證對(duì)晶圓的夾持效果。

2、本說(shuō)明書實(shí)施例提供以下技術(shù)方案：一種刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，包括手指本體和推動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)所述晶圓相對(duì)于所述手指本體運(yùn)動(dòng)，所述手指本體上設(shè)置有至少三組不在同一條直線上的滾動(dòng)件，所述滾動(dòng)件可相對(duì)于所述手指本體轉(zhuǎn)動(dòng)，所述手指本體遠(yuǎn)離所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端設(shè)置有限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)所述晶圓向靠近所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)的方向運(yùn)動(dòng)，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)與所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)相配合對(duì)所述晶圓進(jìn)行夾持固定，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)在所述晶圓被夾持固定時(shí)控制所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)停止推動(dòng)所述晶圓運(yùn)動(dòng)。

3、優(yōu)選的，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)包括外殼和夾板，所述外殼固定安裝于所述手指本體上，所述外殼內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)電片，所述導(dǎo)電片上固定連接有絕緣桿，所述絕緣桿穿過(guò)所述外殼與所述夾板相連接，所述外殼內(nèi)設(shè)置有第一電接觸塊、第二電接觸塊、蓄電池和控制器，所述第一電接觸塊和第二電接觸塊均與所述導(dǎo)電片相對(duì)應(yīng)，所述控制器控制連接所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)；

4、其中，所述蓄電池的正極與所述第一電接觸塊之間電連接，所述蓄電池的負(fù)極與所述控制器和所述第二電接觸塊之間依次電連接。

5、優(yōu)選的，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)還包括彈性件，所述彈性件的第一端與所述導(dǎo)電片之間相連接，所述彈性件的第二端與所述外殼內(nèi)壁相連接，所述導(dǎo)電片向靠近所述第一電接觸塊和第二電接觸塊的方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述彈性件的彈性量發(fā)生變化，以使得所述控制器啟動(dòng)時(shí)所述晶圓受到夾緊力到達(dá)一定數(shù)值。

6、優(yōu)選的，所述彈性件包括兩組彈簧，兩組所述彈簧關(guān)于所述絕緣桿對(duì)稱分布，所述彈簧的第一端與所述導(dǎo)電片靠近絕緣桿的一側(cè)相連接。

7、優(yōu)選的，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩組，兩組所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在所述手指本體的兩個(gè)指端上。

8、優(yōu)選的，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括氣缸和推塊，所述氣缸輸出端與所述推塊相連接。

9、優(yōu)選的，所述滾動(dòng)件包括滾動(dòng)軸承，所述滾動(dòng)件設(shè)置有三組，三組所述滾動(dòng)件成等腰三角形分布。

10、優(yōu)選的，所述手指本體上開設(shè)有分別用于容納三組滾動(dòng)軸承的三組容置槽，所述滾動(dòng)軸承與所述容置槽內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述滾動(dòng)軸承至少部分凸出于所述手指本體，所述傳送手指還包括管道，所述管道與三組所述容置槽相連通，所述管道分別向三組所述容置槽內(nèi)吹入氣體。

11、優(yōu)選的，所述管道包括進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的外端處于所述手指本體的外部，所述進(jìn)氣管的內(nèi)端延伸到所述手指本體內(nèi)部連接有分氣管，所述分氣管上連接有三根排氣管，三根所述排氣管的出口分別與三組所述容置槽相連通。

12、一種傳送系統(tǒng)，用于刻蝕機(jī)的晶圓傳送，所述傳送系統(tǒng)包括機(jī)器人和如上述任一項(xiàng)所述的傳送手指，所述手指本體和所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)均安裝于所述機(jī)器人上，所述機(jī)器人通過(guò)所述手指本體將所述晶圓傳送到所述刻蝕機(jī)內(nèi)部的靜電吸盤上。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本說(shuō)明書實(shí)施例采用的上述至少一個(gè)技術(shù)方案能夠達(dá)到的有益效果至少包括：

14、通過(guò)在手指本體上設(shè)置至少三組不在同一條直線上的滾動(dòng)件，滾動(dòng)件對(duì)晶圓進(jìn)行支撐，當(dāng)推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)晶圓運(yùn)動(dòng)時(shí)，滾動(dòng)件相對(duì)于手指本體轉(zhuǎn)動(dòng)，將晶圓的滑動(dòng)摩擦轉(zhuǎn)變?yōu)闈L動(dòng)摩擦，避免晶圓背部出現(xiàn)劃傷的情況，同時(shí)在手指本體上設(shè)置限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)，限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)在晶圓被夾持固定時(shí)控制推動(dòng)機(jī)構(gòu)停止推動(dòng)晶圓運(yùn)動(dòng)，保證對(duì)晶圓的夾持效果。

技術(shù)特征：

1.一種刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，包括手指本體和推動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)所述晶圓相對(duì)于所述手指本體運(yùn)動(dòng)，其特征在于，所述手指本體上設(shè)置有至少三組不在同一條直線上的滾動(dòng)件，所述滾動(dòng)件可相對(duì)于所述手指本體轉(zhuǎn)動(dòng)，所述手指本體遠(yuǎn)離所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端設(shè)置有限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)所述晶圓向靠近所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)的方向運(yùn)動(dòng)，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)與所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)相配合對(duì)所述晶圓進(jìn)行夾持固定，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)在所述晶圓被夾持固定時(shí)控制所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)停止推動(dòng)所述晶圓運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，其特征在于，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)包括外殼和夾板，所述外殼固定安裝于所述手指本體上，所述外殼內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)電片，所述導(dǎo)電片上固定連接有絕緣桿，所述絕緣桿穿過(guò)所述外殼與所述夾板相連接，所述外殼內(nèi)設(shè)置有第一電接觸塊、第二電接觸塊、蓄電池和控制器，所述第一電接觸塊和第二電接觸塊均與所述導(dǎo)電片相對(duì)應(yīng)，所述控制器控制連接所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，其特征在于，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)還包括彈性件，所述彈性件的第一端與所述導(dǎo)電片之間相連接，所述彈性件的第二端與所述外殼內(nèi)壁相連接，所述導(dǎo)電片向靠近所述第一電接觸塊和第二電接觸塊的方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述彈性件的彈性量發(fā)生變化，以使得所述控制器啟動(dòng)時(shí)所述晶圓受到夾緊力到達(dá)一定數(shù)值。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，其特征在于，所述彈性件包括兩組彈簧，兩組所述彈簧關(guān)于所述絕緣桿對(duì)稱分布，所述彈簧的第一端與所述導(dǎo)電片靠近絕緣桿的一側(cè)相連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，其特征在于，所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩組，兩組所述限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在所述手指本體的兩個(gè)指端上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，其特征在于，所述滾動(dòng)件包括滾動(dòng)軸承，所述滾動(dòng)件設(shè)置有三組，三組所述滾動(dòng)件成等腰三角形分布。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，其特征在于，所述手指本體上開設(shè)有分別用于容納三組滾動(dòng)軸承的三組容置槽，所述滾動(dòng)軸承與所述容置槽內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述滾動(dòng)軸承至少部分凸出于所述手指本體，所述傳送手指還包括管道，所述管道與三組所述容置槽相連通，所述管道分別向三組所述容置槽內(nèi)吹入氣體。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，其特征在于，所述管道包括進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的外端處于所述手指本體的外部，所述進(jìn)氣管的內(nèi)端延伸到所述手指本體內(nèi)部連接有分氣管，所述分氣管上連接有三根排氣管，三根所述排氣管的出口分別與三組所述容置槽相連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指，其特征在于，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括氣缸和推塊，所述氣缸輸出端與所述推塊相連接。

10.一種傳送系統(tǒng)，其特征在于，用于刻蝕機(jī)的晶圓傳送，所述傳送系統(tǒng)包括機(jī)器人和如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的傳送手指，所述手指本體和所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)均安裝于所述機(jī)器人上，所述機(jī)器人通過(guò)所述手指本體將所述晶圓傳送到所述刻蝕機(jī)內(nèi)部的靜電吸盤上。

技術(shù)總結(jié)
本說(shuō)明書實(shí)施例提供一種刻蝕機(jī)用晶圓傳送手指及傳送系統(tǒng)，傳送手指包括手指本體和推動(dòng)機(jī)構(gòu)，推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)晶圓相對(duì)于手指本體運(yùn)動(dòng)，手指本體上設(shè)置有至少三組不在同一條直線上的滾動(dòng)件，手指本體遠(yuǎn)離推動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端設(shè)置有限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)，推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)晶圓向靠近限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)的方向運(yùn)動(dòng)，限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)與推動(dòng)機(jī)構(gòu)相配合對(duì)晶圓進(jìn)行夾持固定。通過(guò)在手指本體上設(shè)置至少三組不在同一條直線上的滾動(dòng)件，當(dāng)推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)晶圓運(yùn)動(dòng)時(shí)，滾動(dòng)件相對(duì)于手指本體轉(zhuǎn)動(dòng)，將晶圓的滑動(dòng)摩擦轉(zhuǎn)變?yōu)闈L動(dòng)摩擦，避免晶圓背部出現(xiàn)劃傷的情況，同時(shí)在手指本體上設(shè)置限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)，限位感應(yīng)機(jī)構(gòu)在晶圓被夾持固定時(shí)控制推動(dòng)機(jī)構(gòu)停止推動(dòng)晶圓運(yùn)動(dòng)，保證對(duì)晶圓的夾持效果。

技術(shù)研發(fā)人員：朱亞迪,王兆祥,彭國(guó)發(fā),梁潔,方文強(qiáng),陳剛,劉虎
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30