本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池,更具體地說,它涉及一種太陽(yáng)能硅片花籃。
背景技術(shù):
1、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等,會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。
2、在給硅片進(jìn)行清洗時(shí),需要采用對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)的花籃對(duì)硅片進(jìn)行裝載,并將放置在花籃中的硅片轉(zhuǎn)移至清洗車間進(jìn)行充分清洗,目前常見的花籃,其結(jié)構(gòu)均由兩個(gè)側(cè)板和多根固定連接在兩個(gè)側(cè)板之間的限位桿構(gòu)成,其結(jié)構(gòu)固定,限位桿的位置無法進(jìn)行便捷的調(diào)節(jié),且限位桿上的齒槽無法進(jìn)行旋轉(zhuǎn),無法適配不同形狀的硅片,因此,在生產(chǎn)不同形狀的硅片時(shí),需要進(jìn)行特定結(jié)構(gòu)的花籃的設(shè)計(jì)和生產(chǎn),工廠的加工成本增加,從而導(dǎo)致生產(chǎn)效益降低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的就在于為了解決上述問題而提供一種太陽(yáng)能硅片花籃。
2、本發(fā)明提供了一種太陽(yáng)能硅片花籃,包括兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的拼接式側(cè)板、設(shè)于拼接式側(cè)板上的滑動(dòng)軌道、可拆卸式連接在滑動(dòng)軌道上的若干個(gè)限位滑塊、設(shè)于對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)限位滑塊之間的限位桿、兩個(gè)分別套接在限位桿兩端處的限位桿固定機(jī)構(gòu)、兩個(gè)分別套設(shè)在限位桿兩端處的調(diào)節(jié)螺管以及兩個(gè)對(duì)稱設(shè)于限位滑塊內(nèi)的限位滑塊固定結(jié)構(gòu),所述限位滑塊上設(shè)有螺孔,所述限位桿的兩端分別穿過相對(duì)應(yīng)設(shè)置的螺孔并與對(duì)應(yīng)的限位滑塊活動(dòng)連接,所述限位桿固定機(jī)構(gòu)的一端固定連接在限位桿上,另一端可沿限位桿的長(zhǎng)度方向進(jìn)行滑動(dòng),所述調(diào)節(jié)螺管與相對(duì)應(yīng)設(shè)置的限位桿固定機(jī)構(gòu)的另一端接觸,且調(diào)節(jié)螺管的外圓面上設(shè)有與螺孔相配合的螺紋,兩個(gè)所述限位滑塊固定結(jié)構(gòu)的內(nèi)部空間均與限位桿固定機(jī)構(gòu)的內(nèi)部空間相連通;
3、當(dāng)調(diào)節(jié)螺管旋入螺孔時(shí),限位桿固定機(jī)構(gòu)處于縮短狀態(tài)并對(duì)調(diào)節(jié)螺管施加設(shè)定的壓力以形成阻力扭矩,阻力扭矩用于限制限位桿繞其自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng);
4、所述限位桿固定機(jī)構(gòu)包括彈性伸縮式儲(chǔ)氣組件以及設(shè)于彈性伸縮式儲(chǔ)氣組件一端的環(huán)形導(dǎo)氣組件,所述彈性伸縮式儲(chǔ)氣組件的一端固定連接在限位桿上,另一端可沿限位桿的長(zhǎng)度方向進(jìn)行滑動(dòng),兩個(gè)所述限位滑塊固定結(jié)構(gòu)均通過環(huán)形導(dǎo)氣組件與彈性伸縮式儲(chǔ)氣組件相連通,當(dāng)彈性伸縮式儲(chǔ)氣組件處于縮短狀態(tài)時(shí),其內(nèi)部氣體導(dǎo)入兩個(gè)限位滑塊固定結(jié)構(gòu)的內(nèi)部以形成設(shè)定數(shù)值的氣壓,并通過該氣壓驅(qū)使兩個(gè)限位滑塊固定結(jié)構(gòu)向滑動(dòng)軌道施加設(shè)定數(shù)值的壓力。
5、作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化方案,所述拼接式側(cè)板包括外框板、設(shè)于外框板中部位置處的圓形穿槽、設(shè)于圓形穿槽中心位置處的內(nèi)框板以及固定連接在外框板和內(nèi)框板之間的固定連接板,外框板、內(nèi)框板和固定連接板之間形成一弧形滑動(dòng)區(qū)域,若干個(gè)所述限位滑塊位于弧形滑動(dòng)區(qū)域。
6、作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化方案,所述滑動(dòng)軌道包括設(shè)于圓形穿槽內(nèi)圓面上的第一限位滑槽以及設(shè)于內(nèi)框板外圓面上的第二限位滑槽,所述第一限位滑槽和第二限位滑槽均與弧形滑動(dòng)區(qū)域相匹配設(shè)置。
7、作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化方案,所述內(nèi)框板的中部位置設(shè)有若干個(gè)連接孔,用于外接旋轉(zhuǎn)軸。
8、作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化方案,所述彈性伸縮式儲(chǔ)氣組件包括固定連接在限位桿上的固定環(huán)體、滑動(dòng)連接在限位桿上的活動(dòng)環(huán)體、連接在固定環(huán)體和活動(dòng)環(huán)體之間的外伸縮波紋管、內(nèi)伸縮波紋管和第一彈簧,所述固定環(huán)體、活動(dòng)環(huán)體、外伸縮波紋管和內(nèi)伸縮波紋管之間形成一密封儲(chǔ)氣腔室,所述第一彈簧位于密封儲(chǔ)氣腔室內(nèi)。
9、作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化方案,所述環(huán)形導(dǎo)氣組件包括設(shè)于固定環(huán)體外圓面上的環(huán)形槽、設(shè)于固定環(huán)體內(nèi)部的第一氣體通道以及連接在固定環(huán)體外圓面上的兩個(gè)密封圈,兩個(gè)密封圈對(duì)稱分布在環(huán)形槽的兩側(cè),所述環(huán)形槽通過第一氣體通道與密封儲(chǔ)氣腔室相連通。
10、作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化方案,所述活動(dòng)環(huán)體的一端面上連接有第一阻尼層,所述調(diào)節(jié)螺管上設(shè)有與第一阻尼層相配合的第二阻尼層。
11、作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化方案,所述限位滑塊固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)于限位滑塊內(nèi)部的滑動(dòng)腔室、滑動(dòng)連接在滑動(dòng)腔室內(nèi)壁上的卡塊、連接在卡塊和滑動(dòng)腔室內(nèi)壁之間的伸縮套管和第二彈簧以及設(shè)于限位滑塊內(nèi)部的第二氣體通道,所述卡塊、伸縮套管和滑動(dòng)腔室的內(nèi)壁之間形成一密封空腔,所述第二氣體通道的一端與密封空腔相連通,所述第二彈簧的一端貫穿滑動(dòng)腔室,第二彈簧的一端設(shè)有與內(nèi)框板的外圓面或圓形穿槽的內(nèi)圓面相配合的弧面,且弧面上連接有第三阻尼層。
12、作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化方案,所述限位桿的兩端均連接有連接件,限位桿通過連接件與相應(yīng)的限位滑塊活動(dòng)連接,所述限位桿上設(shè)有若干個(gè)等距分布的齒槽,齒槽用于限位固定硅片。
13、本發(fā)明的有益效果在于:本發(fā)明可根據(jù)硅片的結(jié)構(gòu)進(jìn)行適應(yīng)的調(diào)整限位桿的數(shù)量、布置位置以及限位桿上的齒槽開口的布設(shè)方向,調(diào)節(jié)過程中,可以便捷的對(duì)限位桿和側(cè)板進(jìn)行連接和限位固定,從而可以全方位的對(duì)硅片進(jìn)行限位防護(hù),相較于常規(guī)的花籃,可以在硅片清洗過程中,對(duì)裝載有硅片的花籃進(jìn)行旋轉(zhuǎn),可提高硅片清洗效果以及清洗后的清洗液的甩脫效率,從而有效的提高硅片清洗效果以及對(duì)后續(xù)加工過程的輔助效率。
1.一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,包括兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的拼接式側(cè)板、設(shè)于拼接式側(cè)板上的滑動(dòng)軌道、可拆卸式連接在滑動(dòng)軌道上的若干個(gè)限位滑塊(5)、設(shè)于對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)限位滑塊(5)之間的限位桿(6)、兩個(gè)分別套接在限位桿(6)兩端處的限位桿固定機(jī)構(gòu)(8)、兩個(gè)分別套設(shè)在限位桿(6)兩端處的調(diào)節(jié)螺管(7)以及兩個(gè)對(duì)稱設(shè)于限位滑塊(5)內(nèi)的限位滑塊固定結(jié)構(gòu)(9),所述限位滑塊(5)上設(shè)有螺孔,所述限位桿(6)的兩端分別穿過相對(duì)應(yīng)設(shè)置的螺孔并與對(duì)應(yīng)的限位滑塊(5)活動(dòng)連接,所述限位桿固定機(jī)構(gòu)(8)的一端固定連接在限位桿(6)上,另一端可沿限位桿(6)的長(zhǎng)度方向進(jìn)行滑動(dòng),所述調(diào)節(jié)螺管(7)與相對(duì)應(yīng)設(shè)置的限位桿固定機(jī)構(gòu)(8)的另一端接觸,且調(diào)節(jié)螺管(7)的外圓面上設(shè)有與螺孔相配合的螺紋,兩個(gè)所述限位滑塊固定結(jié)構(gòu)(9)的內(nèi)部空間均與限位桿固定機(jī)構(gòu)(8)的內(nèi)部空間相連通;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,所述拼接式側(cè)板包括外框板(1)、設(shè)于外框板(1)中部位置處的圓形穿槽(101)、設(shè)于圓形穿槽(101)中心位置處的內(nèi)框板(2)以及固定連接在外框板(1)和內(nèi)框板(2)之間的固定連接板(3),外框板(1)、內(nèi)框板(2)和固定連接板(3)之間形成一弧形滑動(dòng)區(qū)域,若干個(gè)所述限位滑塊(5)位于弧形滑動(dòng)區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,所述滑動(dòng)軌道包括設(shè)于圓形穿槽(101)內(nèi)圓面上的第一限位滑槽(102)以及設(shè)于內(nèi)框板(2)外圓面上的第二限位滑槽(201),所述第一限位滑槽(102)和第二限位滑槽(201)均與弧形滑動(dòng)區(qū)域相匹配設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,所述內(nèi)框板(2)的中部位置設(shè)有若干個(gè)連接孔(4),用于外接旋轉(zhuǎn)軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,所述彈性伸縮式儲(chǔ)氣組件包括固定連接在限位桿(6)上的固定環(huán)體(801)、滑動(dòng)連接在限位桿(6)上的活動(dòng)環(huán)體(802)、連接在固定環(huán)體(801)和活動(dòng)環(huán)體(802)之間的外伸縮波紋管(803)、內(nèi)伸縮波紋管(804)和第一彈簧(805),所述固定環(huán)體(801)、活動(dòng)環(huán)體(802)、外伸縮波紋管(803)和內(nèi)伸縮波紋管(804)之間形成一密封儲(chǔ)氣腔室,所述第一彈簧(805)位于密封儲(chǔ)氣腔室內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,所述環(huán)形導(dǎo)氣組件包括設(shè)于固定環(huán)體(801)外圓面上的環(huán)形槽(806)、設(shè)于固定環(huán)體(801)內(nèi)部的第一氣體通道(807)以及連接在固定環(huán)體(801)外圓面上的兩個(gè)密封圈(808),兩個(gè)密封圈(808)對(duì)稱分布在環(huán)形槽(806)的兩側(cè),所述環(huán)形槽(806)通過第一氣體通道(807)與密封儲(chǔ)氣腔室相連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,所述活動(dòng)環(huán)體(802)的一端面上連接有第一阻尼層,所述調(diào)節(jié)螺管(7)上設(shè)有與第一阻尼層相配合的第二阻尼層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,所述限位滑塊固定結(jié)構(gòu)(9)包括設(shè)于限位滑塊(5)內(nèi)部的滑動(dòng)腔室(901)、滑動(dòng)連接在滑動(dòng)腔室(901)內(nèi)壁上的卡塊(902)、連接在卡塊(902)和滑動(dòng)腔室(901)內(nèi)壁之間的伸縮套管(903)和第二彈簧(904)以及設(shè)于限位滑塊(5)內(nèi)部的第二氣體通道(905),所述卡塊(902)、伸縮套管(903)和滑動(dòng)腔室(901)的內(nèi)壁之間形成一密封空腔,所述第二氣體通道(905)的一端與密封空腔相連通,所述第二彈簧(904)的一端貫穿滑動(dòng)腔室(901),第二彈簧(904)的一端設(shè)有與內(nèi)框板(2)的外圓面或圓形穿槽(101)的內(nèi)圓面相配合的弧面,且弧面上連接有第三阻尼層。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種太陽(yáng)能硅片花籃,其特征在于,所述限位桿(6)的兩端均連接有連接件(602),限位桿(6)通過連接件(602)與相應(yīng)的限位滑塊(5)活動(dòng)連接,所述限位桿(6)上設(shè)有若干個(gè)等距分布的齒槽(601),齒槽(601)用于限位固定硅片。