本發(fā)明涉及半導(dǎo)體轉(zhuǎn)運設(shè)備，特別涉及一種半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體載板轉(zhuǎn)運設(shè)備能夠?qū)雽?dǎo)體載板由上一工位轉(zhuǎn)運到下一工位；現(xiàn)有的半導(dǎo)體載板轉(zhuǎn)運設(shè)備在轉(zhuǎn)運過程多數(shù)為開放式轉(zhuǎn)運，通過機(jī)械臂將物料從來料設(shè)備中取出，然后放在輸送線上，由輸送線運輸?shù)郊す饧庸ぬ?，此方式轉(zhuǎn)運時存在防塵效果不好的問題，對于fc-bga等防塵要求較高的半導(dǎo)體載板來說使用效果不好，對于fc-bga半導(dǎo)體載板來說灰塵和其他微粒污染物可能會導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷，影響最終產(chǎn)品的性能和可靠性。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的是提出一種半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，旨在解決半導(dǎo)體載板轉(zhuǎn)運時防塵效果不好的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，設(shè)于密封式運輸線的上游，其中密封式運輸線具有接料口，所述半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備包括：

3、第一箱體，內(nèi)設(shè)有隔斷層將第一箱體的內(nèi)部左右分隔為第一腔體和第二腔體，所述第一腔體中設(shè)置有送料位，所述第二腔體中設(shè)置有出料口，所述隔斷層上設(shè)置有第一阻隔門，所述第一腔體中設(shè)置有第二阻隔門；

4、封閉式的運輸機(jī)構(gòu)，用于運輸載板，能夠通過第二阻隔門進(jìn)入所述第一腔體，并位于送料位，所述運輸機(jī)構(gòu)位于所述送料位時，所述第二阻隔門處于關(guān)閉狀態(tài)；

5、轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述第二腔體，能夠通過第一阻隔門進(jìn)入所述第一腔體，將所述運輸機(jī)構(gòu)中的載板取出，并轉(zhuǎn)運至所述第二腔體；以及

6、傳輸機(jī)構(gòu)，設(shè)于第二腔體，用于承接所述轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)中的載板，并將所述載板通過所述出料口輸送至所述密封式運輸線。

7、在一實施方式中，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括第一安裝架、安裝于所述第一安裝架的輸送輪、以及驅(qū)動所述輸送輪轉(zhuǎn)動的第一驅(qū)動電機(jī)，所述第一安裝架具有第一底座，所述第一底座固設(shè)于所述第二腔體的腔底部。

8、在一實施方式中，所述轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)包括多軸機(jī)械臂、設(shè)于多軸機(jī)械臂的取料吸盤，所述多軸機(jī)械臂具有第二底座，所述第二底座固設(shè)于所述第二腔體的腔底部，所述多軸機(jī)械臂能夠帶動所述取料吸盤通過第一阻隔門進(jìn)入所述第一腔體，所述取料吸盤能夠吸附載板。

9、在一實施方式中，所述第一箱體底部安裝有具有自鎖功能的萬向輪，所述萬向輪使所述第一箱體的底部與地面之間具有間隙，所述第一腔體的底部為開口，所述第一腔體還設(shè)置有進(jìn)出口，所述進(jìn)出口位于所述第二阻隔門下方；

10、所述運輸機(jī)構(gòu)包括第二箱體、設(shè)于所述第二箱體的箱門、驅(qū)動所述第二箱體移動的agv小車，所述第二箱體中設(shè)置有置物架，所述置物架上設(shè)置有多層存放層，所述存放層用于供載板放置，所述agv小車能夠帶動所述第二箱體通過所述第二阻隔門進(jìn)出所述第一腔體。

11、在一實施方式中，所述第一阻隔門、所述第二阻隔門、所述箱門能夠沿第一箱體的高度方向往復(fù)移動，以使所述第一阻隔門、所述第二阻隔門、所述箱門打開或關(guān)閉；

12、所述半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備還包括開關(guān)門機(jī)構(gòu)，所述開關(guān)門機(jī)構(gòu)能夠使所述第一阻隔門、所述第二阻隔門以及所述箱門沿所述第一箱體的高度方向往復(fù)移動。

13、在一實施方式中，所述開關(guān)門機(jī)構(gòu)包括第一開關(guān)門組件、第二開關(guān)門組件、第三開關(guān)門組件，所述第一開關(guān)門組件用以帶動所述第一阻隔門沿所述第一箱體的高度方向移動，所述第二開關(guān)門組件用以帶動所述第二阻隔門沿所述第一箱體的高度方向移動，所述第三開關(guān)門組件用以帶動所述箱門沿所述第一箱體的高度方向移動。

14、在一實施方式中，所述半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備還包括夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)設(shè)于所述第一腔體，所述夾持機(jī)構(gòu)用于夾持所述第二箱體，以使所述箱門打開過程中，第二箱體能夠保持穩(wěn)定。

15、在一實施方式中，所述agv小車具有承接端，所述承接端開設(shè)有多個避讓缺口，多個所述避讓缺口使所述第二箱體的底部顯露出來；

16、所述夾持機(jī)構(gòu)包括對稱設(shè)置的兩個第三底座，每一所述第三底座上均設(shè)置有氣動云臺、限位板、旋轉(zhuǎn)下壓氣缸以及抵推氣缸，所述氣動云臺上設(shè)置有滾珠，所述限位板和所述旋轉(zhuǎn)下壓氣缸相對設(shè)置，所述抵推氣缸設(shè)于所述限位板和所述旋轉(zhuǎn)下壓氣缸之間，所述氣動云臺能夠通過所述避讓缺口與所述第二箱體的底部接觸，并將所述第二箱體頂起，所述旋轉(zhuǎn)下壓氣缸能夠使得位于所述氣動云臺上的所述第二箱體朝向所述限位板移動，并使第二箱體與所述限位板相抵，兩所述第三底座上的抵推氣缸能夠相互靠近，并定位夾持所述第二箱體。

17、在一實施方式中，所述存放層水平設(shè)置；

18、所述轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)自下而上將所述置物架上的載板取出。

19、在一實施方式中，所述半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備還包括進(jìn)氣機(jī)構(gòu)，所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)包括進(jìn)氣管、進(jìn)氣風(fēng)機(jī)、過濾模塊，所述進(jìn)氣管與所述第一腔體連通，所述進(jìn)氣風(fēng)機(jī)用于將外界的氣體送入所述進(jìn)氣管，所述過濾模塊用于對進(jìn)入到第一腔體中的氣體進(jìn)行過濾，所述第一腔體的底部可拆卸連接有多塊隔板，所述隔板用以縮短所述第一腔體底部與地面之間的距離。

20、本發(fā)明的技術(shù)方案通過將轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)和傳輸機(jī)構(gòu)設(shè)置在第一箱體中，使得轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)將運輸機(jī)構(gòu)中的載板取出，并轉(zhuǎn)運至傳輸機(jī)構(gòu)上時，載板不會暴露在車間中，而是處于箱體內(nèi)部的第二腔體中，也就是轉(zhuǎn)運的過程中是在第一箱體的內(nèi)部進(jìn)行，此時在第一箱體的防護(hù)下能夠減少外部的灰塵對載板的影響，提高防塵效果，同時配合封閉式的運輸機(jī)構(gòu)，使得載板在進(jìn)入第一腔體之前，運輸機(jī)構(gòu)在運輸?shù)倪^程中，同樣能夠?qū)d板進(jìn)行防護(hù)的效果，進(jìn)一步地提高防塵效果，進(jìn)而解決現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體載板轉(zhuǎn)運時防塵效果不好的問題。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，設(shè)于密封式運輸線的上游，其中密封式運輸線具有接料口，所述半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備包括：

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括第一安裝架、安裝于所述第一安裝架的輸送輪、以及驅(qū)動所述輸送輪轉(zhuǎn)動的第一驅(qū)動電機(jī)，所述第一安裝架具有第一底座，所述第一底座固設(shè)于所述第二腔體的腔底部。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)包括多軸機(jī)械臂、設(shè)于多軸機(jī)械臂的取料吸盤，所述多軸機(jī)械臂具有第二底座，所述第二底座固設(shè)于所述第二腔體的腔底部，所述多軸機(jī)械臂能夠帶動所述取料吸盤通過第一阻隔門進(jìn)入所述第一腔體，所述取料吸盤能夠吸附載板。

4.如權(quán)利要求1至3任一項所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述第一箱體底部安裝有具有自鎖功能的萬向輪，所述萬向輪使所述第一箱體的底部與地面之間具有間隙，所述第一腔體的底部為開口，所述第一腔體還設(shè)置有進(jìn)出口，所述進(jìn)出口位于所述第二阻隔門下方；

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述第一阻隔門、所述第二阻隔門、所述箱門能夠沿第一箱體的高度方向往復(fù)移動，以使所述第一阻隔門、所述第二阻隔門、所述箱門打開或關(guān)閉；

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述開關(guān)門機(jī)構(gòu)包括第一開關(guān)門組件、第二開關(guān)門組件、第三開關(guān)門組件，所述第一開關(guān)門組件用以帶動所述第一阻隔門沿所述第一箱體的高度方向移動，所述第二開關(guān)門組件用以帶動所述第二阻隔門沿所述第一箱體的高度方向移動，所述第三開關(guān)門組件用以帶動所述箱門沿所述第一箱體的高度方向移動。

7.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備還包括夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)設(shè)于所述第一腔體，所述夾持機(jī)構(gòu)用于夾持所述第二箱體，以使所述箱門打開過程中，第二箱體能夠保持穩(wěn)定。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述agv小車具有承接端，所述承接端開設(shè)有多個避讓缺口，多個所述避讓缺口使所述第二箱體的底部顯露出來；

9.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述存放層水平設(shè)置；

10.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備還包括進(jìn)氣機(jī)構(gòu)，所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)包括進(jìn)氣管、進(jìn)氣風(fēng)機(jī)、過濾模塊，所述進(jìn)氣管與所述第一腔體連通，所述進(jìn)氣風(fēng)機(jī)用于將外界的氣體送入所述進(jìn)氣管，所述過濾模塊用于對進(jìn)入到第一腔體中的氣體進(jìn)行過濾，所述第一腔體的底部可拆卸連接有多塊隔板，所述隔板用以縮短所述第一腔體底部與地面之間的距離。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備，涉及半導(dǎo)體轉(zhuǎn)運設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，其中，半導(dǎo)體載板的封閉式轉(zhuǎn)運設(shè)備包括：第一箱體，內(nèi)設(shè)有隔斷層將第一箱體的內(nèi)部左右分隔為第一腔體和第二腔體，第一腔體中設(shè)置有送料位，第二腔體中設(shè)置有出料口，隔斷層上設(shè)置有第一阻隔門，第一腔體中設(shè)置有第二阻隔門；運輸機(jī)構(gòu)，用于運輸載板，能夠通過第二阻隔門進(jìn)入第一腔體，并位于送料位；轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)，設(shè)于第二腔體，能夠通過第一阻隔門進(jìn)入第一腔體，將運輸機(jī)構(gòu)中的載板取出，并轉(zhuǎn)運至第二腔體；以及傳輸機(jī)構(gòu)，用于承接轉(zhuǎn)運機(jī)構(gòu)中的載板，并將載板通過出料口輸送至密封式運輸線。本發(fā)明提供的技術(shù)方案能夠解決半導(dǎo)體載板轉(zhuǎn)運時防塵效果不好的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：韓飛,王嘯,劉軍,魏明豪
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市升達(dá)康科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9