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一種用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置的制作方法

文檔序號(hào):40637172發(fā)布日期:2025-01-10 18:43閱讀:5來源:國(guó)知局
一種用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置的制作方法

本發(fā)明涉及芯片貼片,具體為一種用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置。


背景技術(shù):

1、目前在進(jìn)行芯片封裝的時(shí)候,通常采用芯片粘接、引線鍵合和倒裝連接技術(shù),其中在采用倒裝連接技術(shù)時(shí),不可避免的需要將凸點(diǎn)金屬化的芯片與基板貼合,這就需要對(duì)凸點(diǎn)金屬化后的芯片進(jìn)行翻轉(zhuǎn),而為了確保芯片在翻轉(zhuǎn)之前以及之后的位置不會(huì)出現(xiàn)變化,就需要對(duì)芯片進(jìn)行對(duì)準(zhǔn),而目前在對(duì)芯片進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的時(shí)候,多數(shù)是發(fā)生在貼片機(jī)組吸取并放下芯片的過程中,但是芯片在翻轉(zhuǎn)之前的對(duì)準(zhǔn)多數(shù)依靠翻轉(zhuǎn)組件夾頭進(jìn)行調(diào)整,而翻轉(zhuǎn)后依靠吸取組件進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)吸取,在連續(xù)作業(yè)的情況下,容易出現(xiàn)累積誤差;

2、例如公告號(hào)為cn221149976u所公開的一種半導(dǎo)體倒裝貼片的芯片翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),該申請(qǐng)雖然能夠通過在折板上均勻開設(shè)吸附孔以提高翻轉(zhuǎn)過程中對(duì)芯片的吸緊程度,但是在翻轉(zhuǎn)至吸取位時(shí),翻轉(zhuǎn)組件會(huì)有停頓致使芯片出現(xiàn)抖動(dòng)而錯(cuò)位,無法保證吸取時(shí)以及翻轉(zhuǎn)后芯片的位置仍然處于原設(shè)定位置,且芯片本體在輸送至翻轉(zhuǎn)位的過程中,也會(huì)因?yàn)闄C(jī)械停頓過程中出現(xiàn)波動(dòng)導(dǎo)致芯片本體的位置出現(xiàn)變化,cn108962791b所公開的一種芯片對(duì)準(zhǔn)貼裝裝置及其方法,雖然能夠縮短各個(gè)生產(chǎn)步驟之間的間隔,但是在芯片翻轉(zhuǎn)的過程中,僅依靠吸取并放下芯片的過程中對(duì)芯片本體的位置進(jìn)行對(duì)準(zhǔn),在連續(xù)作業(yè)的情況下,容易出現(xiàn)累積誤差導(dǎo)致后面的工序處調(diào)整所需時(shí)間增加,反而會(huì)降低生產(chǎn)速度;

3、因此提出一種用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置,解決了多數(shù)是發(fā)生在貼片機(jī)組吸取并放下芯片的過程中,但是芯片在翻轉(zhuǎn)之前的對(duì)準(zhǔn)多數(shù)依靠翻轉(zhuǎn)組件夾頭進(jìn)行調(diào)整,而翻轉(zhuǎn)后依靠吸取組件進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)吸取,在連續(xù)作業(yè)的情況下,容易出現(xiàn)累積誤差的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的,本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):一種用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置,包括貼片機(jī)本體、安裝在貼片機(jī)本體內(nèi)用于輸送基板的上料機(jī)組以及安裝在貼片機(jī)本體內(nèi)用于貼片的貼片機(jī)組,所述貼片機(jī)本體內(nèi)部設(shè)置有用于翻轉(zhuǎn)芯片本體的翻轉(zhuǎn)組件以及用于調(diào)整芯片本體位置的對(duì)準(zhǔn)組件,所述翻轉(zhuǎn)組件中包括:

3、翻轉(zhuǎn)電機(jī),通過電機(jī)箱固定在貼片機(jī)本體內(nèi)用于驅(qū)動(dòng)翻轉(zhuǎn)組件運(yùn)行,所述翻轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端上固定有轉(zhuǎn)動(dòng)軸,所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上固定有翻轉(zhuǎn)架,所述翻轉(zhuǎn)架上固定有夾頭;

4、氣泵,通過安裝板固定在貼片機(jī)本體內(nèi)用于輸送氣體至夾頭內(nèi),所述氣泵的輸出端連接有輸氣管,所述輸氣管的一端連接在夾頭上,所述夾頭上固定有墊片;

5、所述對(duì)準(zhǔn)組件中包括固定在貼片機(jī)本體上的上視相機(jī)以及固定在貼片機(jī)組上的下視相機(jī)。

6、通過將芯片本體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)后再貼合到基板上進(jìn)行封裝,無需靠金線鍵合來和基板連接,不用再打線,節(jié)約所需空間。

7、優(yōu)選的,所述對(duì)準(zhǔn)組件中還包括固定在貼片機(jī)本體上的固定架,所述固定架內(nèi)滑動(dòng)穿設(shè)有支撐桿,所述支撐桿上鉸接安裝有活動(dòng)軸,所述活動(dòng)軸上固定有滑動(dòng)板,所述滑動(dòng)板的側(cè)壁上抵接有后擠壓板,所述后擠壓板的一端固定在固定架的側(cè)壁上。

8、優(yōu)選的,所述固定架上固定有前擠壓板,所述滑動(dòng)板位于前擠壓板和后擠壓板之間,所述活動(dòng)軸上固定有后對(duì)準(zhǔn)夾,所述后對(duì)準(zhǔn)夾的一端釘耙形設(shè)置。

9、優(yōu)選的,所述固定架內(nèi)滑動(dòng)穿設(shè)有固定桿,所述固定桿內(nèi)滑動(dòng)穿設(shè)有上滑桿,所述上滑桿的底部固定有前對(duì)準(zhǔn)夾,所述上滑桿l形設(shè)置,所述前對(duì)準(zhǔn)夾的一端同樣釘耙形設(shè)置,所述上滑桿的一端設(shè)置有斜面,所述上滑桿的斜面處抵接有下滑桿。

10、優(yōu)選的,所述下滑桿的頂部設(shè)置有與上滑桿相適配的斜面,所述所述下滑桿的一端固定在固定架的側(cè)壁上,所述上滑桿上固定有彈簧一,所述彈簧一的另一端固定在固定桿的頂部。

11、優(yōu)選的,所述支撐桿和固定桿的側(cè)壁上均抵接有囊袋,所述囊袋上連通有進(jìn)氣管,所述進(jìn)氣管的一端連通在風(fēng)箱上,所述風(fēng)箱的一端固定在固定架的側(cè)壁上,所述風(fēng)箱的一端固定有壓板,所述壓板的一端固定有電動(dòng)推桿。

12、優(yōu)選的,所述電動(dòng)推桿的一端通過安裝座安裝在貼片機(jī)本體內(nèi),所述電動(dòng)推桿的一端固定有側(cè)對(duì)準(zhǔn)夾,所述側(cè)對(duì)準(zhǔn)夾內(nèi)滑動(dòng)穿設(shè)有固定在固定架上的導(dǎo)向桿,所述芯片本體位于后對(duì)準(zhǔn)夾和前對(duì)準(zhǔn)夾之間。

13、對(duì)芯片本體進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)后再翻轉(zhuǎn),避免芯片本體在由輸送帶或其他方式輸送的過程中,因?yàn)檩p微波動(dòng)導(dǎo)致芯片本體的位置出現(xiàn)變化,致使翻轉(zhuǎn)組件夾取時(shí)芯片本體未處于翻轉(zhuǎn)位,翻轉(zhuǎn)后的芯片本體無法準(zhǔn)確的安裝在基板上的情況出現(xiàn)。

14、優(yōu)選的,所述貼片機(jī)本體內(nèi)固定有減動(dòng)筒,所述減動(dòng)筒內(nèi)滑動(dòng)穿設(shè)有動(dòng)力桿,所述動(dòng)力桿的一端固定有減動(dòng)板,所述減動(dòng)板的頂部與翻轉(zhuǎn)架的頂部之間相適配,所述動(dòng)力桿上固定有活塞,所述減動(dòng)筒內(nèi)固定有用于助力活塞復(fù)位的彈簧二,所述動(dòng)力桿的下方安裝有控制開關(guān),翻轉(zhuǎn)架會(huì)先與減動(dòng)板接觸并向下擠壓減動(dòng)板,使翻轉(zhuǎn)架能夠平穩(wěn)的移動(dòng)至吸取位,避免夾取了芯片本體的翻轉(zhuǎn)架在翻轉(zhuǎn)至吸取位時(shí),由于猛然停頓導(dǎo)致芯片本體出現(xiàn)抖動(dòng)而錯(cuò)位,致使翻轉(zhuǎn)后的芯片本體無法準(zhǔn)確的安裝在基板上的情況出現(xiàn)。

15、優(yōu)選的,所述貼片機(jī)本體內(nèi)通過電機(jī)座固定有輸送電機(jī),所述輸送電機(jī)的輸出端上連接有輸出軸,所述輸出軸上固定有傳動(dòng)機(jī)組以及輸送輥組,所述輸送輥組上傳動(dòng)連接有用于輸送芯片本體的輸送帶。

16、本發(fā)明提供了一種用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果:

17、(1)、該用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置,通過設(shè)置貼片機(jī)本體、上料機(jī)組、貼片機(jī)組、輸送電機(jī)、輸出軸、傳動(dòng)機(jī)組、輸送輥組、輸送帶、上視相機(jī)、翻轉(zhuǎn)電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、翻轉(zhuǎn)架、夾頭、墊片、輸氣管、氣泵、芯片本體,通過上料機(jī)組將待貼片的基板輸送至貼片機(jī)本體內(nèi)部,通過輸送電機(jī)驅(qū)動(dòng)輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng),輸出軸通過傳動(dòng)機(jī)組驅(qū)動(dòng)輸送輥組轉(zhuǎn)動(dòng),通過輸送輥組驅(qū)動(dòng)輸送帶移動(dòng),通過輸送帶將待貼片的芯片本體輸送至翻轉(zhuǎn)位,控制臺(tái)控制翻轉(zhuǎn)電機(jī)反向轉(zhuǎn)動(dòng),從而對(duì)夾緊后的芯片本體進(jìn)行翻轉(zhuǎn),使芯片本體的凸點(diǎn)朝下能夠直接互連到基板上,此時(shí)通過控制臺(tái)控制貼片機(jī)組運(yùn)行至吸取位,通過安裝在貼片機(jī)本體內(nèi)的上視相機(jī)以及安裝在貼片機(jī)組上的下視相機(jī)相互定位,確保貼片機(jī)組位于翻轉(zhuǎn)后芯片本體的正上方,對(duì)準(zhǔn)后通過貼片機(jī)組對(duì)翻轉(zhuǎn)后的芯片本體進(jìn)行吸取后轉(zhuǎn)移至基板處進(jìn)行后面的工序,通過將芯片本體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)后再貼合到基板上進(jìn)行封裝,無需靠金線鍵合來和基板連接,不用再打線,節(jié)約所需空間,封裝體可以做得更薄更輕,有利于小型化電子設(shè)備的設(shè)計(jì),減少了傳統(tǒng)引線鍵合所需的復(fù)雜步驟,減少了生產(chǎn)步驟,一定程度上提高生產(chǎn)速度。

18、(2)、該用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置,通過設(shè)置固定架、支撐桿、固定桿、活動(dòng)軸、滑動(dòng)板、前對(duì)準(zhǔn)夾、前擠壓板、后擠壓板、上滑桿、下滑桿、彈簧一、后對(duì)準(zhǔn)夾、側(cè)對(duì)準(zhǔn)夾、電動(dòng)推桿、壓板、風(fēng)箱、進(jìn)氣管、囊袋,通過將固定架安裝在在輸送帶的上方,當(dāng)芯片本體在輸送帶的驅(qū)動(dòng)下移至對(duì)準(zhǔn)位時(shí),通過控制臺(tái)控制電動(dòng)推桿啟動(dòng),由兩側(cè)的電動(dòng)推桿同步帶動(dòng)兩側(cè)的側(cè)對(duì)準(zhǔn)夾向芯片本體處移動(dòng),由兩側(cè)的側(cè)對(duì)準(zhǔn)夾對(duì)芯片本體推動(dòng)從而進(jìn)行對(duì)準(zhǔn);同時(shí)通過前對(duì)準(zhǔn)夾與后對(duì)準(zhǔn)夾相互配合對(duì)芯片本體的位置進(jìn)行再次對(duì)準(zhǔn),確保芯片本體能夠處于翻轉(zhuǎn)位,使翻轉(zhuǎn)組件翻轉(zhuǎn)至翻轉(zhuǎn)位后夾取到的芯片本體位置不會(huì)出現(xiàn)偏移;對(duì)芯片本體進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)后再翻轉(zhuǎn),避免芯片本體在由輸送帶或其他方式輸送的過程中,因?yàn)檩p微波動(dòng)導(dǎo)致芯片本體的位置出現(xiàn)變化,致使翻轉(zhuǎn)組件夾取時(shí)芯片本體未處于翻轉(zhuǎn)位,翻轉(zhuǎn)后的芯片本體無法準(zhǔn)確的安裝在基板上的情況出現(xiàn),可以確保芯片上的焊料凸點(diǎn)與基板上的焊盤精確對(duì)齊,后續(xù)的焊接工序(如回流焊接)會(huì)更加容易控制,減少電氣連接不良的情況,并能夠減少填充材料流動(dòng)時(shí)偏離目標(biāo)區(qū)域的風(fēng)險(xiǎn),提高了生產(chǎn)速度以及生產(chǎn)精度。

19、(3)、該用于倒裝芯片鍵合的翻轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)裝置,通過設(shè)置減動(dòng)板、減動(dòng)筒、彈簧二、動(dòng)力桿、控制開關(guān),在翻轉(zhuǎn)組件夾取芯片本體并翻轉(zhuǎn)至吸取位的過程中,翻轉(zhuǎn)架會(huì)先與減動(dòng)板接觸并向下擠壓減動(dòng)板,使翻轉(zhuǎn)架能夠平穩(wěn)的移動(dòng)至吸取位,避免夾取了芯片本體的翻轉(zhuǎn)架在翻轉(zhuǎn)至吸取位時(shí),由于猛然停頓導(dǎo)致芯片本體出現(xiàn)抖動(dòng)而錯(cuò)位,致使翻轉(zhuǎn)后的芯片本體無法準(zhǔn)確的安裝在基板上的情況出現(xiàn),同時(shí)通過機(jī)械零件自適應(yīng)控制輸送電機(jī)啟動(dòng),容易排查故障點(diǎn)維護(hù)方便,且能夠縮短輸送間隔,提高生產(chǎn)效率。

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