本申請涉及芯粒電參數(shù)測試，具體而言，涉及一種芯粒電參數(shù)曲線測試臺及測試裝置。

背景技術：

1、半導體晶圓在制造過程中需要分析芯粒的電參數(shù)曲線，有時候需要給芯粒一邊加熱一邊測試，有時候芯粒已經做過裂片，已經不能夠使用探針臺進行測試，對于分析這些芯粒的參數(shù)曲線，操作起來非常繁瑣。

2、現(xiàn)有技術中用表筆手動接觸芯粒的電極，再調整晶體管圖示儀上的旋鈕來觀察芯粒的電參數(shù)特征曲線，有時候芯粒上的電極有許多，一個人就無法同時完成多根表筆接觸芯粒的不同電極的操作，以及不便于觀察芯粒的電參數(shù)特征曲線操作，此時就需要多人一起來操作。

3、可見，現(xiàn)有技術中測試芯粒的電參數(shù)曲線的效率比較低。

技術實現(xiàn)思路

1、本申請的主要目的在于提供一種芯粒電參數(shù)曲線測試臺及測試裝置，旨在解決現(xiàn)有技術中測試芯粒的電參數(shù)曲線的效率比較低的技術問題。

2、為解決上述技術問題，本申請?zhí)峁┝艘环N芯粒電參數(shù)曲線測試臺，所述測試臺包括：

3、墊板，所述墊板用于放置芯粒；

4、支撐圈，所述支撐圈通過支撐架安裝在所述墊板的上方；

5、探針組件，所述探針組件的數(shù)量為多個，多個所述探針組件均安裝在所述支撐圈上，所述探針組件與芯粒的電極電接觸。

6、在一些可能的實施方式中，所述測試臺還包括安裝在所述支撐圈上的放大支架，所述放大支架上安裝有放大鏡，所述放大鏡用于放大芯粒的電極。

7、在一些可能的實施方式中，所述放大支架包括第一段和第二段，所述第一段安裝在所述支撐圈上，所述放大鏡安裝在所述第二段上，所述第一段上開有螺紋孔，所述第二段通過所述螺紋孔與所述第一段螺紋連接。

8、在一些可能的實施方式中，所述支撐圈上開有盲孔，所述第一段的一端位于所述盲孔內，所述第一段能夠在所述盲孔內轉動。

9、在一些可能的實施方式中，所述探針組件包括安裝在所述支撐圈上的支座、安裝在所述支座上的延長臂以及安裝在所述延長臂上的探針。

10、在一些可能的實施方式中，所述延長臂包括第一延長部和第二延長部，所述第一延長部安裝在所述支座上，所述探針安裝在所述第二延長部上；

11、所述第一延長部上開有相互連通的滑動孔和第一固定孔，所述第二延長部穿過所述滑動孔，所述第一延長部和所述第二延長部通過延伸至所述第一固定孔內的固定螺栓固定。

12、在一些可能的實施方式中，所述第一延長部上延其延伸方向開有多個調節(jié)孔，所述支座上開有多個第二固定孔，所述第一延長部通過穿過所述第二固定孔和所述調節(jié)孔的固定螺釘固定在所述支座上。

13、在一些可能的實施方式中，所述墊板上還安裝有真空吸盤，所述真空吸盤上開有真空孔，所述真空孔用于放置芯粒。

14、在一些可能的實施方式中，所述真空吸盤上還安裝有加熱電極和接線柱，所述加熱電極用于為所述真空吸盤加熱。

15、在一些可能的實施方式中，本申請還提供了一種芯粒電參數(shù)曲線測試裝置，所述測試裝置包括：

16、如本申請中所述的芯粒電參數(shù)曲線測試臺；

17、晶體管圖示儀，所述晶體管圖示儀通過連接線與所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺的接線柱電連接，所述晶體管圖示儀還通過連接線與所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺的探針電連接。

18、相對于現(xiàn)有技術而言，本申請具有以下有益效果：

19、本申請實施例提出的一種芯粒電參數(shù)曲線測試臺及測試裝置，通過在支撐圈上設置多個探針組件，只需一個人就可以使探針組件與芯粒的多個電極接觸，不需要多個人同時操作，從而可以提高對芯粒的電參數(shù)曲線的測試效率。

技術特征：

1.一種芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述測試臺包括：

2.根據(jù)權利要求1所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述測試臺還包括安裝在所述支撐圈(5)上的放大支架(6)，所述放大支架(6)上安裝有放大鏡(63)，所述放大鏡(63)用于放大芯粒的電極。

3.根據(jù)權利要求2所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述放大支架(6)包括第一段(61)和第二段(62)，所述第一段(61)安裝在所述支撐圈(5)上，所述放大鏡(63)安裝在所述第二段(62)上，所述第一段(61)上開有螺紋孔(611)，所述第二段(62)通過所述螺紋孔(611)與所述第一段(61)螺紋連接。

4.根據(jù)權利要求3所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述支撐圈(5)上開有盲孔(51)，所述第一段(61)的一端位于所述盲孔(51)內，所述第一段(61)能夠在所述盲孔(51)內轉動。

5.根據(jù)權利要求1所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述探針組件(4)包括安裝在所述支撐圈(5)上的支座(42)、安裝在所述支座(42)上的延長臂以及安裝在所述延長臂上的探針(43)。

6.根據(jù)權利要求5所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述延長臂包括第一延長部(41)和第二延長部(44)，所述第一延長部(41)安裝在所述支座(42)上，所述探針(43)安裝在所述第二延長部(44)上；

7.根據(jù)權利要求6所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述第一延長部(41)上延其延伸方向開有多個調節(jié)孔(413)，所述支座(42)上開有多個第二固定孔(421)，所述第一延長部(41)通過穿過所述第二固定孔(421)和所述調節(jié)孔(413)的固定螺釘(45)固定在所述支座(42)上。

8.根據(jù)權利要求1-7任意一項所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述墊板(1)上還安裝有真空吸盤(7)，所述真空吸盤(7)上開有真空孔(71)，所述真空孔(71)用于放置芯粒。

9.根據(jù)權利要求8所述芯粒電參數(shù)曲線測試臺，其特征在于，所述真空吸盤(7)上還安裝有加熱電極(8)和接線柱(2)，所述加熱電極(8)用于為所述真空吸盤(7)加熱，所述接線柱(2)與芯粒的電極電連接。

10.一種芯粒電參數(shù)曲線測試裝置，其特征在于，所述測試裝置包括：

技術總結
本申請公開了一種芯粒電參數(shù)曲線測試臺及測試裝置，涉及芯粒電參數(shù)測試技術領域，用于解決現(xiàn)有技術中測試芯粒的電參數(shù)曲線的效率比較低的技術問題。所述測試臺包括墊板、支撐圈和探針組件，所述墊板用于放置芯粒；所述支撐圈通過支撐架安裝在所述墊板的上方；所述探針組件的數(shù)量為多個，多個所述探針組件均安裝在所述支撐圈上，所述探針組件與芯粒的電極電接觸。本申請通過在支撐圈上設置多個探針組件，只需一個人就可以使探針組件與芯粒的多個電極接觸，不需要多個人同時操作，從而可以提高對芯粒的電參數(shù)曲線的測試效率。

技術研發(fā)人員：王久峰,王斌,姚銳,于浩文,邢文超,孟鶴,常影
受保護的技術使用者：吉林華微電子股份有限公司
技術研發(fā)日：20240108
技術公布日：2024/12/26