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一種芯片封裝用陣列柱結構的制作方法

文檔序號:40630985發(fā)布日期:2025-01-10 18:36閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種芯片封裝用陣列柱結構,其特征在于:包括塑封集成平臺以及嵌設于塑封集成平臺中的陣列柱組件,所述陣列柱組件包括多根導柱,所述導柱至少有一端設有電鍍層;所述塑封集成平臺的下表面與陣列柱組件的下端面齊平設置,所述塑封集成平臺的上表面與陣列柱組件的上端面之間的間距為h1;或者,所述塑封集成平臺的上表面與陣列柱組件的上端面之間的間距為h2,所述塑封集成平臺的下表面與陣列柱組件的下端面之間的間距為h3;其中,h1>0,h2>0,h3>0,h1>h2,h1>h3。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片封裝用陣列柱結構,其特征在于:所述塑封集成平臺采用塑封膠、uf膠、絕緣玻璃或者陶瓷制成。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片封裝用陣列柱結構,其特征在于:所述導柱包括金屬核柱,所述金屬核柱由金屬材料制成;或者,所述導柱包括塑核柱,所述塑核柱由有機材料制成。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種芯片封裝用陣列柱結構,其特征在于:所述金屬核柱或塑核柱的外壁上形成有金屬增厚層。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片封裝用陣列柱結構,其特征在于:所述導柱的外壁可進行化學蝕刻以減小導柱的直徑。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種芯片封裝用陣列柱結構,其特征在于:所述導柱的兩端均設有電鍍層。

7.根據(jù)權利要求1或6所述的一種芯片封裝用陣列柱結構,其特征在于:所述電鍍層包括電鍍鎳層,所述電鍍鎳層電鍍于導柱的端面。

8.根據(jù)權利要求7所述的一種芯片封裝用陣列柱結構,其特征在于:所述電鍍層還包括焊錫層或者鍍金層,所述焊錫層或者鍍金層焊接于電鍍鎳層上。


技術總結
本技術涉及芯片封裝技術領域,公開了一種芯片封裝用陣列柱結構,包括塑封集成平臺以及嵌設于塑封集成平臺中的陣列柱組件,所述陣列柱組件包括多根導柱,所述導柱至少有一端設有電鍍層;所述塑封集成平臺的下表面與陣列柱組件的下端面齊平設置,所述塑封集成平臺的上表面與陣列柱組件的上端面之間的間距為h1;或者,所述塑封集成平臺的上表面與陣列柱組件的上端面之間的間距為h2,所述塑封集成平臺的下表面與陣列柱組件的下端面之間的間距為h3;其中,h1>0,h2>0,h3>0,h1>h2,h1>h3;本技術提供的一種芯片封裝用陣列柱結構,解決了單顆銅柱在封裝集成中難度大、可靠性低和效率低的問題。

技術研發(fā)人員:饒躍峰
受保護的技術使用者:上海白澤芯半導體科技有限公司
技術研發(fā)日:20240131
技術公布日:2025/1/9
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