本技術(shù)涉及半導(dǎo)體硅晶圓片腐蝕清洗，具體是指一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體硅晶圓片工序中，需要使用化學(xué)腐蝕的工藝，來消除因切片、研磨等機(jī)械加工而產(chǎn)生的損傷層。中國半導(dǎo)體市場(chǎng)需求很大，但人工成本不斷攀升，迫使半導(dǎo)體硅晶圓片生產(chǎn)廠商提高自動(dòng)化設(shè)備的程度，要求一次腐蝕的產(chǎn)品數(shù)量最大化來擴(kuò)大產(chǎn)能，并改進(jìn)工藝提高晶圓片的良品率。

2、現(xiàn)有技術(shù)，存在以下問題：

3、(1)因一次腐蝕很多晶圓片，故裝片完成的腐蝕籠過重且體積較大，不容易裝夾到腐蝕清洗機(jī)上；(2)腐蝕籠的轉(zhuǎn)軸是圓形，在裝滿100片晶圓片的腐蝕籠在重載情況下高速旋轉(zhuǎn)，又因裝夾點(diǎn)的圓形卡槽因磨損產(chǎn)生間隙，并突然停止?fàn)顟B(tài)下，會(huì)導(dǎo)致腐蝕籠的轉(zhuǎn)軸與裝夾點(diǎn)相對(duì)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)；(3)靜置狀態(tài)下進(jìn)行晶圓片的腐蝕，導(dǎo)致表面晶圓片的表面腐蝕的不均勻，使晶圓片的良品率降低，故需要在腐蝕過程中腐蝕籠在可控狀態(tài)下勻速自轉(zhuǎn)；

4、故現(xiàn)需要一種可以把腐蝕籠便捷的安裝在裝夾點(diǎn)的鎖緊結(jié)構(gòu)，并可防止腐蝕籠的轉(zhuǎn)軸與裝夾點(diǎn)相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，且腐蝕過程中腐蝕籠在可控狀態(tài)下可以勻速自轉(zhuǎn)的一套機(jī)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是克服以上的技術(shù)缺陷，提供一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案為一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置，包括u型支撐架體，所述u型支撐架體的兩側(cè)分別設(shè)有主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上分別設(shè)有用于固定腐蝕籠的傳動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)和從動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)，所述u型支撐架體內(nèi)還安裝有動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)以及與動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)配合的動(dòng)能傳遞機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)通過動(dòng)能傳遞機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)。

3、優(yōu)選地，所述主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)擋套，所述主動(dòng)擋套的內(nèi)部設(shè)有主動(dòng)軸承和主動(dòng)隔套，所述主動(dòng)軸承的兩側(cè)分別設(shè)有主動(dòng)鎖緊擋套和限位軸擋，所述限位軸擋的外端設(shè)有傳動(dòng)齒輪，所述傳動(dòng)齒輪的外端設(shè)有主動(dòng)限位板；

4、所述從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括從動(dòng)擋套，所述從動(dòng)擋套內(nèi)部設(shè)有從動(dòng)軸承和從動(dòng)隔套，所述從動(dòng)擋套的兩側(cè)分別設(shè)有從動(dòng)限位擋套和從動(dòng)鎖緊擋套。

5、優(yōu)選地，所述傳動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)軸，所述主動(dòng)軸的一端為帶齒輪鍵槽的圓軸且圓軸端穿過主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)并與傳動(dòng)齒輪的內(nèi)孔連接，所述主動(dòng)軸另一端為帶主動(dòng)限位卡槽的半軸端，所述主動(dòng)限位卡槽上口設(shè)有主動(dòng)入槽倒角；

6、所述從動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)包括從動(dòng)軸，所述從動(dòng)軸的一端為從動(dòng)圓軸且另一端為帶從動(dòng)限位卡槽的半軸端，所述從動(dòng)限位卡槽上口設(shè)有從動(dòng)入槽倒角，所述從動(dòng)軸的圓軸端伸入從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)內(nèi)部并能夠自由轉(zhuǎn)動(dòng)，所述腐蝕籠兩端的方軸分別卡設(shè)在主動(dòng)限位卡槽和從動(dòng)限位卡槽內(nèi)。

7、優(yōu)選地，所述主動(dòng)限位卡槽以及從動(dòng)限位卡槽上均設(shè)有卡緊蓋板，所述卡緊蓋板包括方形蓋板，所述方形蓋板上設(shè)有用于螺栓穿過的安裝孔，所述方形蓋板下方設(shè)有楔形擋塊。

8、優(yōu)選地，所述動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)包括輸出電機(jī)，所述輸出電機(jī)的輸出軸設(shè)有主動(dòng)齒輪，所述動(dòng)能傳遞機(jī)構(gòu)包括多個(gè)相互嚙合連接的從動(dòng)齒輪，上端所述從動(dòng)齒輪與主動(dòng)齒輪嚙合，且下端所述從動(dòng)齒輪與傳動(dòng)齒輪嚙合。

9、本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于：

10、1)該申請(qǐng)?jiān)O(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，便于腐蝕籠的裝載及拆卸及其容易，且腐蝕籠裝上后可以鎖定翻轉(zhuǎn)總成融為一體，與鎖定翻轉(zhuǎn)總成中的每個(gè)零部件精密配合，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，可承受裝滿100片晶圓片的腐蝕籠的重載；

11、2)腐蝕籠的旋轉(zhuǎn)方軸結(jié)構(gòu)可以與從動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)上的方形限位卡槽緊密配合，在加上卡緊蓋板的壓制限位，可使腐蝕籠與鎖定翻轉(zhuǎn)總成連接處緊密配合，可以保證腐蝕籠在重載、高速旋轉(zhuǎn)情況下急停，杜絕出現(xiàn)腐蝕籠轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)；

12、3)動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)可根據(jù)工藝要求精密控制旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)時(shí)間、旋轉(zhuǎn)方向的正反，可嚴(yán)格控制腐蝕精度與均勻性，自動(dòng)化程度高，腐蝕效率高，無需人工參與，提高了產(chǎn)品的潔凈度，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。

技術(shù)特征：

1.一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括u型支撐架體(1)，所述u型支撐架體(1)的兩側(cè)分別設(shè)有主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)，所述主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)上分別設(shè)有用于固定腐蝕籠(9)的傳動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)(3)和從動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)(2)，所述u型支撐架體(1)內(nèi)還安裝有動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)(8)以及與動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)(8)配合的動(dòng)能傳遞機(jī)構(gòu)(7)，所述動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)(8)通過動(dòng)能傳遞機(jī)構(gòu)(7)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)的轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)包括主動(dòng)擋套(6-3)，所述主動(dòng)擋套(6-3)的內(nèi)部設(shè)有主動(dòng)軸承(6-1)和主動(dòng)隔套(6-4)，所述主動(dòng)軸承(6-1)的兩側(cè)分別設(shè)有主動(dòng)鎖緊擋套(6-2)和限位軸擋(6-5)，所述限位軸擋(6-5)的外端設(shè)有傳動(dòng)齒輪(6-6)，所述傳動(dòng)齒輪(6-6)的外端設(shè)有主動(dòng)限位板(6-7)；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)(3)包括主動(dòng)軸，所述主動(dòng)軸的一端為帶齒輪鍵槽(3-3)的圓軸且圓軸端穿過主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(6)并與傳動(dòng)齒輪(6-6)的內(nèi)孔連接，所述主動(dòng)軸另一端為帶主動(dòng)限位卡槽(3-1)的半軸端，所述主動(dòng)限位卡槽(3-1)上口設(shè)有主動(dòng)入槽倒角(3-2)；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述主動(dòng)限位卡槽(3-1)以及從動(dòng)限位卡槽(2-1)上均設(shè)有卡緊蓋板(4)，所述卡緊蓋板(4)包括方形蓋板(4-1)，所述方形蓋板(4-1)上設(shè)有用于螺栓穿過的安裝孔，所述方形蓋板(4-1)下方設(shè)有楔形擋塊(4-2)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)(8)包括輸出電機(jī)(8-1)，所述輸出電機(jī)(8-1)的輸出軸設(shè)有主動(dòng)齒輪(8-2)，所述動(dòng)能傳遞機(jī)構(gòu)(7)包括多個(gè)相互嚙合連接的從動(dòng)齒輪(7-1)，上端所述從動(dòng)齒輪(7-1)與主動(dòng)齒輪(8-2)嚙合，且下端所述從動(dòng)齒輪(7-1)與傳動(dòng)齒輪(6-6)嚙合。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置，包括U型支撐架體，所述U型支撐架體的兩側(cè)分別設(shè)有主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上分別設(shè)有用于固定腐蝕籠的傳動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)和從動(dòng)鎖定承載機(jī)構(gòu)，所述U型支撐架體內(nèi)還安裝有動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)以及與動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)配合的動(dòng)能傳遞機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)能輸出機(jī)構(gòu)通過動(dòng)能傳遞機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)。該設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，便于腐蝕籠的裝載及拆卸，且腐蝕籠裝上后可以鎖定翻轉(zhuǎn)總成融為一體，與鎖定翻轉(zhuǎn)總成中的每個(gè)零部件精密配合，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，可承受裝滿100片晶圓片的腐蝕籠的重載。

技術(shù)研發(fā)人員：王云飛,賈世杰,魏守沖
受保護(hù)的技術(shù)使用者：磐石創(chuàng)新（江蘇）電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240415
技術(shù)公布日：2025/1/2