本技術(shù)涉及晶圓存放，具體涉及一種片盒架。

背景技術(shù)：

1、晶圓在每次的工藝處理過程中都會受到污染，所以要進行清洗和干燥。而片盒作為晶圓的載具，也需要定期進行清洗和干燥。

2、為解決上述問題，申請?zhí)枮?02210318213.3的中國專利公開了一種便捷式片盒清洗機片盒專用架，上述公開的片盒專用架，包括固定架主體框架，所述固定架主體框架的內(nèi)側(cè)設置有片盒主體放置區(qū)，所述片盒主體放置區(qū)的頂部兩側(cè)皆設置有片盒主體放置軌道，所述片盒主體放置區(qū)的下方設置有片盒盒蓋放置區(qū)，所述片盒盒蓋放置區(qū)的頂部兩側(cè)皆設置有片盒盒蓋傾斜軌道，所述片盒盒蓋放置區(qū)的一側(cè)設置有片盒盒蓋阻擋結(jié)構(gòu)。申請?zhí)枮?01220255337.3的中國專利公開了一種晶片盒存放架，上述公開的晶片盒存放架，包括支架和位于支架下方的地腳，所述支架上方設有高效過濾器，所述支架的三面圍有防靜電軟簾，所述支架中間設有多組晶片盒固定槽，所述晶片盒固定槽內(nèi)設有尼龍導條。

3、晶圓尺寸從最初的1.5英寸發(fā)展到現(xiàn)在的12英寸，很多晶圓廠同時生產(chǎn)多種尺寸的晶圓，不同尺寸的晶圓需要不同尺寸的片盒，而片盒的形狀也是多種多樣，而上述方案中的片盒架只能放置單一尺寸形狀的片盒，這意味著，采用具有上述片盒架機構(gòu)的清洗機只能對單一規(guī)格的片盒進行清洗，如晶圓廠需要清洗不同規(guī)格的片盒時，就要購買不同型號的設備，進而就增加了生產(chǎn)成本。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，提供一種片盒架，該片盒架幾乎可以兼容市場上所有不同尺寸不同形狀的片盒，當晶圓廠需要清洗不同類型的片盒時，只需設計與片盒對應的模具即可，無需采購新的設備，從而大大減少了晶圓廠的成本。

2、為了實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：一種片盒架，包括：旋轉(zhuǎn)架，旋轉(zhuǎn)架中空設置；掛架，掛架沿旋轉(zhuǎn)架周向分布有若干個；所述掛架包括轉(zhuǎn)軸和掛件，掛架通過轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動連接，掛件為板狀結(jié)構(gòu)，掛件用于掛接內(nèi)置片盒的模具。

3、本實用新型設計的片盒架利用板狀掛件與內(nèi)置片盒的模具的掛接配合，當需要放置片盒時，將板狀掛件向旋轉(zhuǎn)架外部轉(zhuǎn)動，使板狀掛件位于旋轉(zhuǎn)架外側(cè)，然后將內(nèi)置有片盒的模具掛接在板狀掛件上，再將掛件向旋轉(zhuǎn)架內(nèi)部轉(zhuǎn)動，使模具位于旋轉(zhuǎn)架內(nèi)，從而可利用旋轉(zhuǎn)架內(nèi)部區(qū)域作為片盒儲存區(qū)域，無需再在片盒架上設計片盒固定放置區(qū)域，這意味著，片盒架結(jié)構(gòu)可不受片盒尺寸形狀限制，幾乎可以兼容市場上所有不同尺寸不同形狀的片盒，當晶圓廠需要清洗不同類型的片盒時，只需設計與片盒對應的模具結(jié)構(gòu)即可，無需采購新的設備，從而大大減少了晶圓廠的成本。

4、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，各掛架中均設有兩組掛件，兩組掛件分別設置于轉(zhuǎn)軸的相對兩側(cè)。

5、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述掛件包括若干沿片盒架高度方向布置的掛桿，所述模具形成有掛接部，掛接部掛接于掛桿上。

6、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述掛架還包括上板和下板，上板和下板分別連接于所述掛件的相對兩端。

7、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述旋轉(zhuǎn)架包括上轉(zhuǎn)盤、下轉(zhuǎn)盤和若干支撐柱，上轉(zhuǎn)盤和下轉(zhuǎn)盤連接于若干支撐柱相對兩端，若干支撐柱沿上轉(zhuǎn)盤和下轉(zhuǎn)盤的周向方向設置。

8、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述轉(zhuǎn)軸的兩端分別與上轉(zhuǎn)盤和下轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動連接，且每個掛架均設置于相鄰的支撐柱之間。

9、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述片盒架還包括用于限定所述掛架與旋轉(zhuǎn)架相對位置的定位件。在內(nèi)置片盒的模具掛接于掛件上后，可利用定位件使掛架與旋轉(zhuǎn)架的相對位置固定，從而確保旋轉(zhuǎn)架在清洗機內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)清洗晶圓時，掛架能夠保持穩(wěn)定。

10、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，定位件包括下定位件，下定位件包括定位塊與旋鈕柱塞，下定位件中的定位塊設置于下轉(zhuǎn)盤上靠近掛架的一側(cè)，下定位件中的旋鈕柱塞適于穿過下板與定位塊配合。在需要掛接模具時，拉出旋鈕柱塞的旋鈕，使旋鈕柱塞前端從定位塊中縮回，此時掛架與旋轉(zhuǎn)架處于解鎖狀態(tài)，旋轉(zhuǎn)掛件至旋轉(zhuǎn)架外側(cè)，在掛件上掛接模具后再將掛件向旋轉(zhuǎn)架內(nèi)部轉(zhuǎn)動，使模具位于旋轉(zhuǎn)架內(nèi)，然后按壓旋鈕柱塞的旋鈕，使旋鈕柱塞前端凸出伸入定位塊中，此時掛架與旋轉(zhuǎn)架相對位置固定，掛架與旋轉(zhuǎn)架處于鎖定狀態(tài)，從而確保后續(xù)旋轉(zhuǎn)架在清洗機內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)清洗晶圓時，掛架能夠保持穩(wěn)定。

11、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，定位件還包括上定位件，上定位件包括定位塊與旋鈕柱塞，上定位件中的定位塊設置于上轉(zhuǎn)盤上靠近掛架的一側(cè)，上定位件中的旋鈕柱塞適于穿過上板與定位塊配合。

12、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，同一掛架上的下定位件與上定位件錯位布置。通過錯位布置的下定位件和上定位件，可進一步提高掛架與旋轉(zhuǎn)架處于鎖定狀態(tài)時的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。

13、作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述掛接部設置為掛接槽，掛接槽沿模具高度方向設置多個。通過設置多個沿模具高度方向的掛接槽有利于提升模具掛接的穩(wěn)定性。

14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

15、1、通過設置在旋轉(zhuǎn)架上的若干掛架，每個掛架上的掛件在轉(zhuǎn)軸的作用下與旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動連接，同時掛件為板狀結(jié)構(gòu)，從而無需再在片盒架上設計片盒固定放置區(qū)，可直接在掛件上掛接模具并利用旋轉(zhuǎn)架中空的內(nèi)部空間作為放置區(qū)，進而使得片盒架結(jié)構(gòu)可不受片盒尺寸形狀限制，滿足了對不同尺寸規(guī)格的片盒的存放；

16、2、進一步的，通過在模具的掛接部上設置于掛桿相匹配的掛接槽，從而方便了模具的取放，進而便于片盒的存放，另外通過設置在上轉(zhuǎn)盤的上定位塊和下轉(zhuǎn)盤的下定位塊分別與相對應的上板的上旋鈕柱塞和下板的下旋鈕柱塞的配合，同時同一掛架上的上定位件與下定位件錯位設置，從而將掛架固定在旋轉(zhuǎn)架上，確保旋轉(zhuǎn)架在高速旋轉(zhuǎn)時，掛架能夠保持穩(wěn)定。

技術(shù)特征：

1.一種片盒架，其特征在于：包括：旋轉(zhuǎn)架(1)，旋轉(zhuǎn)架(1)中空設置；掛架(2)，掛架(2)沿旋轉(zhuǎn)架(1)周向分布有若干個；所述掛架(2)包括轉(zhuǎn)軸(202)和掛件(201)，掛架(2)通過轉(zhuǎn)軸(202)與旋轉(zhuǎn)架(1)轉(zhuǎn)動連接，掛件(201)為板狀結(jié)構(gòu)，掛件(201)用于掛接內(nèi)置片盒(3)的模具(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，各所述掛架(2)中均設有兩組掛件(201)，兩組掛件(201)分別設置于轉(zhuǎn)軸(202)的相對兩側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛件(201)包括若干沿片盒架高度方向布置的掛桿(2011)，所述模具(4)形成有掛接部(401)，掛接部(401)掛接于掛桿(2011)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛架(2)還包括上板(203)和下板(204)，上板(203)和下板(204)分別連接于所述掛件(201)的相對兩端。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種片盒架，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)架(1)包括上轉(zhuǎn)盤(101)、下轉(zhuǎn)盤(103)和若干支撐柱(102)，上轉(zhuǎn)盤(101)和下轉(zhuǎn)盤(103)連接于若干支撐柱(102)相對兩端，若干支撐柱(102)沿上轉(zhuǎn)盤(101)和下轉(zhuǎn)盤(103)的周向方向設置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種片盒架，其特征在于，所述片盒架還包括用于限定所述掛架(2)與旋轉(zhuǎn)架(1)相對位置的定位件(5)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種片盒架，其特征在于，所述定位件(5)包括下定位件(501)，下定位件(501)包括下定位塊(5011)與下旋鈕柱塞(5012)，下定位件(501)中的下定位塊(5011)設置于下轉(zhuǎn)盤(103)上靠近掛架(2)的一側(cè)，下定位件(501)中的下旋鈕柱塞(5012)適于穿過下板(204)與下定位塊(5011)配合。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種片盒架，其特征在于，所述定位件(5)還包括上定位件(502)，上定位件(502)包括上定位塊(5021)與上旋鈕柱塞(5022)，上定位件(502)中的上定位塊(5021)設置于上轉(zhuǎn)盤(101)上靠近掛架(2)的一側(cè)，上定位件(502)中的上旋鈕柱塞(5022)適于穿過上板(203)與上定位塊(5021)配合。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種片盒架，其特征在于，同一所述掛架(2)上的下定位件(501)與上定位件(502)錯位布置。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛接部(401)設置為掛接槽(4011)，掛接槽(4011)沿模具(4)高度方向設置多個。

技術(shù)總結(jié)
一種片盒架，包括：旋轉(zhuǎn)架，旋轉(zhuǎn)架中空設置；掛架，掛架沿旋轉(zhuǎn)架周向分布有若干個；所述掛架包括轉(zhuǎn)軸和掛件，掛架通過轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動連接，掛件為板狀結(jié)構(gòu)，掛件用于掛接內(nèi)置片盒的模具；與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請通過設置在旋轉(zhuǎn)架上的若干掛架，每個掛架上的掛件轉(zhuǎn)軸的作用下與旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動連接，同時掛件為板狀結(jié)構(gòu)，從而無需再在片盒架上設計片盒固定放置區(qū)，可直接在掛件上掛接模具并利用旋轉(zhuǎn)架中空的內(nèi)部空間作為放置區(qū)，進而使得片盒架結(jié)構(gòu)可不受片盒尺寸形狀限制，滿足了對不同尺寸規(guī)格的片盒的存放。

技術(shù)研發(fā)人員：李鵬,王鍇,請求不公布姓名
受保護的技術(shù)使用者：無錫琨圣芯成科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240416
技術(shù)公布日：2025/1/9