本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種調(diào)平裝置及鍵合設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的持續(xù)演進(jìn)與更新，產(chǎn)品類型的多樣化趨勢(shì)日益顯著。由此，對(duì)用于承載芯片的鍵合平臺(tái)水平調(diào)整的要求亦逐步提升。同時(shí)，對(duì)于鍵合平臺(tái)的多樣化以及更換頻率亦呈現(xiàn)增加的趨勢(shì)。參圖1所示，圖1為一實(shí)施例中調(diào)平裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，10-承載臺(tái)；20-螺釘；30-固定塊，40-平臺(tái)。承載臺(tái)10用于承載待焊接芯片等物體。在現(xiàn)有的半導(dǎo)體封裝工藝設(shè)備中，為了使得承載臺(tái)處于水平狀態(tài)，通過(guò)在承載臺(tái)與平臺(tái)之間的縫隙墊塞尺的方式，來(lái)調(diào)節(jié)承載臺(tái)的水平度。然后，再將螺釘20貫穿固定塊30與平臺(tái)螺紋連接，以將承載臺(tái)10與平臺(tái)固定。

2、現(xiàn)有的調(diào)節(jié)承載臺(tái)水平度的方式，不僅操作繁瑣，調(diào)整時(shí)間長(zhǎng)，降低了工作效率，而且調(diào)節(jié)精度難以保證。

3、需要說(shuō)明的是，公開于該實(shí)用新型背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在加深對(duì)本實(shí)用新型一般背景技術(shù)的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種調(diào)平裝置及鍵合設(shè)備，以解決傳統(tǒng)的調(diào)平方式存在操作繁瑣，調(diào)整時(shí)間長(zhǎng)，工作效率低，調(diào)節(jié)精度難以保證的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種調(diào)平裝置，包括：

3、工作臺(tái)；

4、鍵合平臺(tái)，配置于所述工作臺(tái)的表面；

5、多個(gè)固定部，連接至所述鍵合平臺(tái)，且多個(gè)所述固定部沿所述鍵合平臺(tái)的周向布置；

6、調(diào)節(jié)部，沿縱向方向貫穿所述固定部，并與所述工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，其中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述調(diào)節(jié)部，以帶動(dòng)所述固定部沿其縱向方向運(yùn)動(dòng)，從而對(duì)所述鍵合平臺(tái)的水平度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

7、優(yōu)選地，所述調(diào)平裝置還包括限位部，所述限位部貫穿所述調(diào)節(jié)部并連接至所述工作臺(tái)。

8、優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)部沿其縱向方向設(shè)置有通孔，所述限位部具有第一端和第二端，所述限位部的第一端貫穿所述通孔，且所述第一端的直徑小于所述通孔的直徑，所述第二端的直徑大于所述通孔的直徑。

9、優(yōu)選地，所述限位部為固定螺絲，所述固定螺絲與所述固定部螺紋連接。

10、優(yōu)選地，所述工作臺(tái)的表面設(shè)置有多個(gè)螺紋孔，且所述螺紋孔與所述固定螺絲的位置相對(duì)應(yīng)，所述固定螺絲與所述螺紋孔螺紋連接。

11、優(yōu)選地，所述固定部設(shè)置有凹槽，且凹槽的直徑大于所述第二端的直徑。

12、優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)部為螺紋套。

13、優(yōu)選地，所述螺紋套與所述固定部螺紋連接。

14、優(yōu)選地，所述固定部設(shè)置有四個(gè)，且四個(gè)所述固定部沿所述鍵合平臺(tái)的周向方向均勻布置。

15、基于相同的發(fā)明思想，本實(shí)用新型還提供了一種鍵合設(shè)備，包括上述所述的調(diào)平裝置。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的調(diào)平裝置具有如下優(yōu)點(diǎn)：

17、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置工作臺(tái)；鍵合平臺(tái)，配置于所述工作臺(tái)的表面；多個(gè)固定部，連接至所述鍵合平臺(tái)，且多個(gè)所述固定部沿所述鍵合平臺(tái)的周向布置；調(diào)節(jié)部，沿縱向方向貫穿所述固定部并與所述工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，其中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述調(diào)節(jié)部，以帶動(dòng)所述固定部沿其縱向方向運(yùn)動(dòng)，從而對(duì)所述鍵合平臺(tái)的水平度進(jìn)行調(diào)節(jié)。由此，本實(shí)用新型提供的調(diào)平裝置，由于在固定部設(shè)置調(diào)節(jié)部，當(dāng)需要調(diào)整鍵合平臺(tái)的水平度時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)部，能夠帶動(dòng)固定部沿縱向方向運(yùn)動(dòng)，固定部帶動(dòng)鍵合平臺(tái)的一側(cè)向上或者向下移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)鍵合平臺(tái)的水平度。該調(diào)平裝置，不僅操作簡(jiǎn)便，縮短了調(diào)平時(shí)間，調(diào)整效率提高，提高了工作效率，而且還進(jìn)一步提高了調(diào)節(jié)的精度。

18、本實(shí)用新型提供的鍵合設(shè)備與本實(shí)用新型提供的調(diào)平裝置屬于同一發(fā)明構(gòu)思，因此，本實(shí)用新型提供的鍵合設(shè)備至少具有本實(shí)用新型提供的調(diào)平裝置的所有優(yōu)點(diǎn)，鍵合設(shè)備在對(duì)芯片進(jìn)行鍵合時(shí)，便于調(diào)節(jié)鍵合平臺(tái)的水平度，并且調(diào)節(jié)的精度高。

技術(shù)特征：

1.一種調(diào)平裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述調(diào)平裝置還包括限位部，所述限位部貫穿所述調(diào)節(jié)部并連接至所述工作臺(tái)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)部沿其縱向方向設(shè)置有通孔，所述限位部具有第一端和第二端，所述限位部的第一端貫穿所述通孔，且所述第一端的直徑小于所述通孔的直徑，所述第二端的直徑大于所述通孔的直徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述限位部為固定螺絲，所述固定螺絲與所述固定部螺紋連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)的表面設(shè)置有多個(gè)螺紋孔，且所述螺紋孔與所述固定螺絲的位置相對(duì)應(yīng)，所述固定螺絲與所述螺紋孔螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述固定部設(shè)置有凹槽，且凹槽的直徑大于所述第二端的直徑。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)部為螺紋套。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述螺紋套與所述固定部螺紋連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)平裝置，其特征在于，所述固定部設(shè)置有四個(gè)，且四個(gè)所述固定部沿所述鍵合平臺(tái)的周向方向均勻布置。

10.一種鍵合設(shè)備，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種調(diào)平裝置及鍵合設(shè)備，屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域。該調(diào)平裝置包括工作臺(tái)；鍵合平臺(tái)，配置于所述工作臺(tái)的表面；多個(gè)固定部，連接至所述鍵合平臺(tái)，且多個(gè)所述固定部沿所述鍵合平臺(tái)的周向布置；調(diào)節(jié)部，沿縱向方向貫穿所述固定部，并與所述工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，其中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述調(diào)節(jié)部，以帶動(dòng)所述固定部沿其縱向方向運(yùn)動(dòng)，從而對(duì)所述鍵合平臺(tái)的水平度進(jìn)行調(diào)節(jié)。本技術(shù)通過(guò)在固定部設(shè)置調(diào)節(jié)部，當(dāng)需要調(diào)整鍵合平臺(tái)的水平度時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)部，能夠帶動(dòng)固定部沿縱向方向運(yùn)動(dòng)，固定部帶動(dòng)鍵合平臺(tái)的一側(cè)向上或者向下移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)鍵合平臺(tái)的水平度。該調(diào)平裝置，不僅操作簡(jiǎn)便，縮短了調(diào)平時(shí)間，調(diào)整效率提高，提高了工作效率，而且還進(jìn)一步提高了調(diào)節(jié)的精度。

技術(shù)研發(fā)人員：瞿華亭,張成
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海光鍵半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240425
技術(shù)公布日：2025/1/2