本技術(shù)屬于半導(dǎo)體檢測，特別是涉及一種晶圓吸盤快換裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體生產(chǎn)的檢測環(huán)節(jié)中，因檢測效率需求需要轉(zhuǎn)臺(tái)攜帶晶圓高速旋轉(zhuǎn)，為了克服高轉(zhuǎn)速帶來的偏心振動(dòng)，需要轉(zhuǎn)臺(tái)晶圓及晶圓吸盤偏心矩盡量小。所以當(dāng)產(chǎn)線上半導(dǎo)體晶圓尺寸規(guī)格發(fā)生變化時(shí)，只能停機(jī)后打表裝調(diào)換裝吸盤以達(dá)到足夠的精度，如果這種替換頻繁的話將會(huì)對使用者非常不便，不僅需要適配兩種不同規(guī)格的晶圓吸盤，還需要避免換裝過程中繁復(fù)的打表工序。

2、目前普遍使用的是晶圓吸盤裝調(diào)適用的結(jié)構(gòu)與流程，由于無此快速換裝需求，只能換裝后打表檢測晶圓吸盤相對轉(zhuǎn)臺(tái)運(yùn)動(dòng)基準(zhǔn)的平面度和同軸度復(fù)合要求才可使用，不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力，尤其是裝調(diào)中頻繁松緊螺絲很容易崩落大量碎屑嚴(yán)重影響潔凈度造成生產(chǎn)環(huán)境的破壞從而降低良率。如cn219350190u所公開的種快換晶圓吸盤的結(jié)構(gòu)，通過周邊均布螺絲螺母擰緊固定，而定位方面，同軸度定位是直接通過螺孔定位，平行度方面則是通過手工研磨，雖然可實(shí)現(xiàn)快換目的，但是同軸度定位精度不高偏心嚴(yán)重，只能用于靜止或低速運(yùn)動(dòng)工況，而手工研磨出的平面度雖然精度高但是效率很差不適合大批量產(chǎn)的應(yīng)用。因此，本技術(shù)方案提出了一種晶圓吸盤快換裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提供了一種晶圓吸盤快換裝置，通過晶圓吸盤，晶圓吸盤，帶孔定位銷，轉(zhuǎn)接板和鎖緊螺絲構(gòu)成精準(zhǔn)定位機(jī)構(gòu)及快速裝卸機(jī)構(gòu)，能夠迅速的對晶圓吸盤進(jìn)行拆卸和換裝，定位精準(zhǔn)且拆卸方便，無需繁復(fù)的打標(biāo)裝調(diào)，能夠極大節(jié)約產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，且不需要通過專業(yè)調(diào)試人員參與即可實(shí)現(xiàn)快換；綜上解決了背景技術(shù)中的問題。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

3、本實(shí)用新型的一種晶圓吸盤快換裝置，包括止動(dòng)塊、由止動(dòng)塊圍抱的轉(zhuǎn)臺(tái)、安裝于轉(zhuǎn)臺(tái)上的轉(zhuǎn)接板、安裝于轉(zhuǎn)接板上的晶圓吸盤；

4、所述止動(dòng)塊上對稱設(shè)有兩連接臂，所述連接臂上通過插銷孔安裝有與轉(zhuǎn)接板側(cè)部止動(dòng)銷孔相匹配的止動(dòng)銷，使轉(zhuǎn)接板和轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺(tái)本體下部方形固定不動(dòng)而不會(huì)和上層的晶圓吸盤一起隨動(dòng)；

5、所述晶圓吸盤的盤面上相對軸心兩側(cè)對稱開設(shè)有兩個(gè)鑰匙狀的組合定位孔以及拉簧立柱螺紋安裝孔，組合定位孔包括小直徑半圓的定位孔以及大直徑的盲銷定位孔，盲銷定位孔打入有孔端朝上的帶孔定位銷，定位孔內(nèi)安裝有拉簧插銷，拉簧立柱螺紋安裝孔內(nèi)安裝有拉簧立柱，拉簧插銷上部拉簧孔與拉簧立柱上部拉簧孔之間連接拉簧，帶孔定位銷底部穿過盲銷定位孔與轉(zhuǎn)接板上的盲銷孔相連。

6、進(jìn)一步地，所述晶圓吸盤底部設(shè)置有錐角導(dǎo)向法蘭，所述轉(zhuǎn)接板上設(shè)置有與錐角導(dǎo)向法蘭的中心圓孔相對應(yīng)的圓導(dǎo)向槽。

7、進(jìn)一步地，所述晶圓吸盤的錐角導(dǎo)向法蘭上還設(shè)有鎖緊螺栓連接孔，鎖緊螺栓連接孔內(nèi)安裝有與轉(zhuǎn)接板上螺栓連接孔相對應(yīng)的鎖緊螺絲。

8、本實(shí)用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)包括有以下有益效果：

9、本實(shí)用新型通過晶圓吸盤，晶圓吸盤，帶孔定位銷，轉(zhuǎn)接板和鎖緊螺絲構(gòu)成精準(zhǔn)定位機(jī)構(gòu)及快速裝卸機(jī)構(gòu)，能夠迅速的對晶圓吸盤進(jìn)行拆卸和換裝，定位精準(zhǔn)且拆卸方便，無需繁復(fù)的打標(biāo)裝調(diào)，能夠極大節(jié)約產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，且不需要通過專業(yè)調(diào)試人員參與即可實(shí)現(xiàn)快換。

10、當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓吸盤快換裝置，其特征在于，包括止動(dòng)塊(9)、由止動(dòng)塊(9)圍抱的轉(zhuǎn)臺(tái)(1)、安裝于轉(zhuǎn)臺(tái)(1)上的轉(zhuǎn)接板(2)、安裝于轉(zhuǎn)接板(2)上的晶圓吸盤(3)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓吸盤快換裝置，其特征在于，所述晶圓吸盤(3)底部設(shè)置有錐角導(dǎo)向法蘭，所述轉(zhuǎn)接板(2)上設(shè)置有與錐角導(dǎo)向法蘭的中心圓孔相對應(yīng)的圓導(dǎo)向槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓吸盤快換裝置，其特征在于，所述晶圓吸盤(3)的錐角導(dǎo)向法蘭上還設(shè)有鎖緊螺栓連接孔，鎖緊螺栓連接孔內(nèi)安裝有與轉(zhuǎn)接板(2)上螺栓連接孔相對應(yīng)的鎖緊螺絲(11)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種晶圓吸盤快換裝置，涉及半導(dǎo)體檢測技術(shù)領(lǐng)域。本技術(shù)包止動(dòng)塊、轉(zhuǎn)臺(tái)、轉(zhuǎn)接板、晶圓吸盤；止動(dòng)塊上對稱設(shè)有兩連接臂，連接臂上通過插銷孔安裝有與轉(zhuǎn)接板側(cè)部止動(dòng)銷孔相匹配的止動(dòng)銷，使轉(zhuǎn)接板和轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺(tái)本體下部方形固定不動(dòng)而不會(huì)和上層的晶圓吸盤一起隨動(dòng)；晶圓吸盤的盤面上相對軸心兩側(cè)對稱開設(shè)有兩個(gè)鑰匙狀的組合定位孔以及拉簧立柱螺紋安裝孔，組合定位孔包括小直徑半圓的定位孔以及大直徑的盲銷定位孔。本技術(shù)能夠迅速的對晶圓吸盤進(jìn)行拆卸和換裝，定位精準(zhǔn)且拆卸方便，無需繁復(fù)的打標(biāo)裝調(diào)，能夠極大節(jié)約產(chǎn)線停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，且不需要通過專業(yè)調(diào)試人員參與即可實(shí)現(xiàn)快換。

技術(shù)研發(fā)人員：王凱,彭博方
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海澈芯科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240430
技術(shù)公布日：2025/1/9