本技術(shù)涉及連接設(shè)備，特別涉及一種磁吸式朗繆爾探針電連接裝置。

背景技術(shù)：

1、在現(xiàn)代工業(yè)制造領(lǐng)域，低溫等離子體技術(shù)因其獨(dú)特的處理效果和廣泛的應(yīng)用范圍而受到了極大的重視。低溫等離子體不僅被應(yīng)用于材料表面處理、污染控制、納米材料合成等多個(gè)領(lǐng)域，其在能源技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體加工中的角色也日益突顯。然而，等離子體技術(shù)的有效應(yīng)用和推廣，尤其是在工業(yè)生產(chǎn)過程中，需要對(duì)等離子體的各種參數(shù)進(jìn)行精確控制和調(diào)節(jié)。

2、對(duì)等離子體參數(shù)的精確獲取和控制，是提升低溫等離子體處理效果和工藝可靠性的前提。其中，朗繆爾探針法作為一種有效的低溫等離子體診斷工具，因其裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉和能夠提供多個(gè)等離子體參數(shù)的特點(diǎn)，成為了目前工業(yè)應(yīng)用中的首選技術(shù)。通過朗繆爾探針可以獲得等離子體的基本參數(shù)，如電子溫度、電子密度等，這些參數(shù)對(duì)于等離子體的生成和控制至關(guān)重要。

3、然而，當(dāng)前的朗繆爾探針系統(tǒng)在探針或探針陣列與后續(xù)電路的連接方面，主要采用焊接式和接插式連接方式。焊接式連接雖然能夠提供相對(duì)穩(wěn)定的電學(xué)連接，但其操作復(fù)雜，一旦需要調(diào)整或更換探針，就會(huì)遇到操作麻煩和拆卸困難等問題。而接插式連接，雖然在拆卸和維護(hù)方面相比焊接式有所改善，但其主要采用螺紋緊固連接方式，存在容易松動(dòng)，可靠性差等問題。

4、因此，如何實(shí)現(xiàn)朗繆爾探針方便拆卸的同時(shí)，又能保證其電學(xué)連接的可靠性，成為了亟待解決的技術(shù)難題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的主要目的是提供一種磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，旨在實(shí)現(xiàn)朗繆爾探針方便拆卸的同時(shí)，又能保證其電學(xué)連接的可靠性。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，包括：

3、插頭連接器本體，所述插頭連接器本體的第一端設(shè)有探針，所述插頭連接器本體的第一端還設(shè)有支撐管，所述探針的軸線與所述支撐管的軸線互相重合，所述支撐管與所述探針之間留有間隙，所述支撐管的管壁上設(shè)有至少兩個(gè)關(guān)于支撐管的軸線中心對(duì)稱的卡槽，所述支撐管上遠(yuǎn)離插頭連接器本體第一端的一側(cè)設(shè)有第一永磁體；

4、插座連接器本體，所述插座連接器本體的第一端設(shè)有用于包覆所述探針的探針接口，所述插座連接器本體的第一端還設(shè)有連接管，所述探針接口的軸線與所述連接管的軸線互相重合，所述連接管與所述探針接口之間留有縫隙，所述連接管的管壁上設(shè)有凸起部，所述連接管上遠(yuǎn)離插座連接器本體第一端的一側(cè)設(shè)有與所述第一永磁鐵互相配合的第二永磁體，所述連接管的凸起部可卡接于所述卡槽內(nèi)，當(dāng)所述凸起部卡接于所述卡槽內(nèi)時(shí)，所述第二永磁體與所述第一永磁體互相吸附。

5、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述卡槽為l形。

6、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，當(dāng)所述插頭連接器本體上的第一永磁體數(shù)量和插座連接器本體上的第二永磁體的數(shù)量均為兩個(gè)時(shí)，兩個(gè)所述第一永磁體的極性相反，兩個(gè)所述第二永磁的極性相反，當(dāng)所述凸起部卡接于所述卡槽內(nèi)時(shí)，所述第二永磁體與所述第一永磁體均處于異性相吸的狀態(tài)。

7、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述支撐管與所述探針之間還設(shè)有第一金屬屏蔽管，所述探針接口與所述連接管之間還設(shè)有第二金屬屏蔽管，當(dāng)所述凸起部卡接于所述卡槽內(nèi)時(shí)，所述第一金屬屏蔽管包覆于所述第二金屬屏蔽管外側(cè)。

8、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述探針接口上設(shè)有當(dāng)所述探針插入時(shí)可使所述探針接口向外側(cè)發(fā)生位移的開口部。

9、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述探針上設(shè)有環(huán)形凸起部，當(dāng)所述探針插接于所述探針接口內(nèi)時(shí)，所述環(huán)形凸起部貼合于所述探針接口的內(nèi)側(cè)壁上。

10、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述支撐管與所連接管均為金屬材料。

11、采用上述技術(shù)方案，磁吸式朗繆爾探針電連接裝置通過磁力與機(jī)械結(jié)構(gòu)的巧妙結(jié)合，不僅提供了快速而可靠的電連接方式，也使得插頭與插座的連接與分離更為便捷和直觀。其在使用過程中，無需過多壓力或復(fù)雜操作即可完成連接或分離，極大降低了操作難度，提高了工作效率。在需要頻繁更換或者維護(hù)探針的應(yīng)用場(chǎng)景中，這套裝置將顯著減少設(shè)備維護(hù)的時(shí)間與成本。利用永磁體的磁力作為連接媒介，相比傳統(tǒng)的機(jī)械螺絲或卡扣式固定方式，磁吸式連接具有更小的磨損和更長(zhǎng)的使用壽命。

技術(shù)特征：

1.一種磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，其特征在于，所述卡槽為l形。

3.如權(quán)利要求1所述的磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，其特征在于，當(dāng)所述插頭連接器本體上的第一永磁體數(shù)量和插座連接器本體上的第二永磁體的數(shù)量均為兩個(gè)時(shí)，兩個(gè)所述第一永磁體的極性相反，兩個(gè)所述第二永磁的極性相反，當(dāng)所述凸起部卡接于所述卡槽內(nèi)時(shí)，所述第二永磁體與所述第一永磁體均處于異性相吸的狀態(tài)。

4.如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，其特征在于，所述支撐管與所述探針之間還設(shè)有第一金屬屏蔽管，所述探針接口與所述連接管之間還設(shè)有第二金屬屏蔽管，當(dāng)所述凸起部卡接于所述卡槽內(nèi)時(shí)，所述第一金屬屏蔽管包覆于所述第二金屬屏蔽管外側(cè)。

5.如權(quán)利要求4所述的磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，其特征在于，所述探針接口上設(shè)有當(dāng)所述探針插入時(shí)可使所述探針接口向外側(cè)發(fā)生位移的開口部。

6.如權(quán)利要求5所述的磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，其特征在于，所述探針上設(shè)有環(huán)形凸起部，當(dāng)所述探針插接于所述探針接口內(nèi)時(shí)，所述環(huán)形凸起部貼合于所述探針接口的內(nèi)側(cè)壁上。

7.如權(quán)利要求1所述的磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，其特征在于，所述支撐管與所連接管均為金屬材料。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種磁吸式朗繆爾探針電連接裝置，涉及連接設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。包括插頭連接器本體的第一端設(shè)有探針，插頭連接器本體的第一端還設(shè)有支撐管，支撐管的管壁上設(shè)有至少兩個(gè)關(guān)于支撐管的軸線中心對(duì)稱的卡槽，支撐管上遠(yuǎn)離插頭連接器本體第一端的一側(cè)設(shè)有第一永磁體；插座連接器本體的第一端設(shè)有用于包覆探針的探針接口，插座連接器本體的第一端還設(shè)有連接管，連接管的管壁上設(shè)有凸起部，連接管上遠(yuǎn)離插座連接器本體第一端的一側(cè)設(shè)有與第一永磁鐵互相配合的第二永磁體，連接管的凸起部可卡接于卡槽內(nèi)，當(dāng)凸起部卡接于卡槽內(nèi)時(shí)，第二永磁體與第一永磁體互相吸附。旨在實(shí)現(xiàn)朗繆爾探針方便拆卸的同時(shí)，又能保證其電學(xué)連接的可靠性。

技術(shù)研發(fā)人員：周海洋,李佳序,張洪萊,尹澤霖,孫玄,衛(wèi)子安,李遠(yuǎn)杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：20240508
技術(shù)公布日：2025/1/2