本技術(shù)涉及晶圓生產(chǎn)輔助設(shè)備，具體涉及一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)。

背景技術(shù)：

1、晶圓在整個(gè)制造過(guò)程中均承載在晶舟盒內(nèi)，一個(gè)晶舟為一批。中測(cè)時(shí)將晶舟放于針測(cè)機(jī)臺(tái)晶舟承載臺(tái)上，這個(gè)步驟都是由人工操作的，人員往承載臺(tái)上放置晶舟時(shí)。

2、半導(dǎo)體芯片封測(cè)過(guò)程中，由于一般需要人工配合限位件輔助將晶舟固定到承載臺(tái)上，造成晶舟的取放效率不夠高，且承載臺(tái)上的晶舟一般開(kāi)口豎直朝上，人員從晶舟內(nèi)取放晶圓時(shí)存在視野盲區(qū)，容易放錯(cuò)、放斜晶圓，同時(shí)可能造成鄰近晶圓的擦傷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)。

2、本實(shí)用新型的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

3、一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，包括多個(gè)不同尺寸的晶舟本體、支撐座和承載板，所述承載板通過(guò)兩組連接組件轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于支撐座的豎直段頂端，所述晶舟本體的底端設(shè)置有兩個(gè)呈對(duì)稱(chēng)設(shè)置的限位板，所述承載板的頂端設(shè)置有兩個(gè)限位口，所述限位口的寬度大于限位板的寬度，不同尺寸的所述晶舟本體底端的兩個(gè)限位板間距不同，所述限位板的側(cè)壁設(shè)置有插拔孔，所述承載板的底端設(shè)置有用于固定晶舟本體的限位結(jié)構(gòu)，所述支撐座和承載板之間設(shè)置有用于調(diào)節(jié)承載板傾斜角度的傳動(dòng)組件。

4、優(yōu)選的，所述連接組件包括限位銷(xiāo)和限位塊，所述限位銷(xiāo)通過(guò)凸塊安裝于支撐座的豎直段頂端，所述限位塊固定安裝于承載板的底端，所述限位塊和限位銷(xiāo)呈轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

5、優(yōu)選的，所述限位結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)呈對(duì)稱(chēng)設(shè)置的插接折板，所述承載板的底端通過(guò)凸塊固定安裝有兩個(gè)支撐軸，所述支撐軸位于限位板的下方，所述插接折板滑動(dòng)安裝于兩個(gè)支撐軸之間，所述插接折板的水平段頂端與承載板的底端呈貼合滑動(dòng)設(shè)置，所述限位板通過(guò)插拔孔與插接折板滑動(dòng)連接，所述承載板的底端設(shè)置有第一液壓缸，所述第一液壓缸為雙向液壓缸，所述第一液壓缸的兩個(gè)活動(dòng)端分別與相鄰插接折板側(cè)壁固定連接。

6、優(yōu)選的，所述插接折板的水平段端部設(shè)置有兩個(gè)斜角，所述插接折板的豎直段側(cè)壁設(shè)置有橡膠層。

7、優(yōu)選的，所述傳動(dòng)組件包括滑塊、傳動(dòng)桿、支撐桿和兩個(gè)連接桿，所述支撐座的水平段頂端設(shè)置有兩個(gè)限位軌，所述滑塊滑動(dòng)安裝于兩個(gè)限位軌之間，所述支撐座的水平頂端設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)滑塊滑動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)桿通過(guò)凸塊轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于滑塊的側(cè)壁，所述支撐桿通過(guò)凸塊固定安裝于承載板的底端，所述連接桿的兩端分別通過(guò)凸環(huán)與傳動(dòng)桿和支撐桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

8、優(yōu)選的，所述限位軌的截面呈t型設(shè)置，所述滑塊的底端設(shè)置有滑槽，所述滑塊滑動(dòng)安裝于滑槽內(nèi)。

9、優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二液壓缸，所述第二液壓缸固定安裝于支撐座的水平段頂端，所述第二液壓缸的活動(dòng)端與滑塊側(cè)壁相連接。

10、本實(shí)用新型的有益效果為：

11、1、通過(guò)設(shè)置支撐座和承載板，承載板通過(guò)兩個(gè)限位口具有對(duì)不同尺寸的晶舟本體進(jìn)行放置，根據(jù)晶舟尺寸，第一液壓缸驅(qū)動(dòng)兩個(gè)插接折板相遠(yuǎn)離，分別插入相鄰的限位板插拔孔內(nèi)，完成對(duì)晶舟的自動(dòng)固定，提高了承載臺(tái)對(duì)晶舟的取放效率。

12、2、通過(guò)設(shè)置傳動(dòng)組件，第二液壓缸驅(qū)動(dòng)滑塊在兩個(gè)限位軌之間滑動(dòng)，傳動(dòng)桿同步滑動(dòng)，配合支撐桿和兩個(gè)連接桿驅(qū)動(dòng)承載板繞限位銷(xiāo)轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)節(jié)晶舟的開(kāi)口朝向人員眼部，具有了對(duì)圓舟傾斜度的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，降低圓晶取放過(guò)程碰撞、破損的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，包括多個(gè)不同尺寸的晶舟本體(1)、支撐座(2)和承載板(3)，其特征在于：所述承載板(3)通過(guò)兩組連接組件(4)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于支撐座(2)的豎直段頂端，所述晶舟本體(1)的底端設(shè)置有兩個(gè)呈對(duì)稱(chēng)設(shè)置的限位板(5)，所述承載板(3)的頂端設(shè)置有兩個(gè)限位口(6)，所述限位口(6)的寬度大于限位板(5)的寬度，不同尺寸的所述晶舟本體(1)底端的兩個(gè)限位板(5)間距不同，所述限位板(5)的側(cè)壁設(shè)置有插拔孔，所述承載板(3)的底端設(shè)置有用于固定晶舟本體(1)的限位結(jié)構(gòu)，所述支撐座(2)和承載板(3)之間設(shè)置有用于調(diào)節(jié)承載板(3)傾斜角度的傳動(dòng)組件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，其特征在于：所述連接組件(4)包括限位銷(xiāo)(401)和限位塊(402)，所述限位銷(xiāo)(401)通過(guò)凸塊安裝于支撐座(2)的豎直段頂端，所述限位塊(402)固定安裝于承載板(3)的底端，所述限位塊(402)和限位銷(xiāo)(401)呈轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，其特征在于：所述限位結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)呈對(duì)稱(chēng)設(shè)置的插接折板(8)，所述承載板(3)的底端通過(guò)凸塊固定安裝有兩個(gè)支撐軸(7)，所述支撐軸(7)位于限位板(5)的下方，所述插接折板(8)滑動(dòng)安裝于兩個(gè)支撐軸(7)之間，所述插接折板(8)的水平段頂端與承載板(3)的底端呈貼合滑動(dòng)設(shè)置，所述限位板(5)通過(guò)插拔孔與插接折板(8)滑動(dòng)連接，所述承載板(3)的底端設(shè)置有第一液壓缸(9)，所述第一液壓缸(9)為雙向液壓缸，所述第一液壓缸(9)的兩個(gè)活動(dòng)端分別與相鄰插接折板(8)側(cè)壁固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，其特征在于：所述插接折板(8)的水平段端部設(shè)置有兩個(gè)斜角，所述插接折板(8)的豎直段側(cè)壁設(shè)置有橡膠層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，其特征在于：所述傳動(dòng)組件包括滑塊(11)、傳動(dòng)桿(13)、支撐桿(14)和兩個(gè)連接桿(15)，所述支撐座(2)的水平段頂端設(shè)置有兩個(gè)限位軌(10)，所述滑塊(11)滑動(dòng)安裝于兩個(gè)限位軌(10)之間，所述支撐座(2)的水平頂端設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)滑塊(11)滑動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)桿(13)通過(guò)凸塊轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于滑塊(11)的側(cè)壁，所述支撐桿(14)通過(guò)凸塊固定安裝于承載板(3)的底端，所述連接桿(15)的兩端分別通過(guò)凸環(huán)與傳動(dòng)桿(13)和支撐桿(14)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，其特征在于：所述限位軌(10)的截面呈t型設(shè)置，所述滑塊(11)的底端設(shè)置有滑槽，所述滑塊(11)滑動(dòng)安裝于滑槽內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二液壓缸(12)，所述第二液壓缸(12)固定安裝于支撐座(2)的水平段頂端，所述第二液壓缸(12)的活動(dòng)端與滑塊(11)側(cè)壁相連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及晶圓生產(chǎn)輔助設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種具有角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的晶舟承載臺(tái)，包括多個(gè)不同尺寸的晶舟本體、支撐座和承載板，所述承載板通過(guò)兩組連接組件轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于支撐座的豎直段頂端，所述晶舟本體的底端設(shè)置有兩個(gè)呈對(duì)稱(chēng)設(shè)置的限位板，所述承載板的頂端設(shè)置有兩個(gè)限位口，所述限位口的寬度大于限位板的寬度，不同尺寸的所述晶舟本體底端的兩個(gè)限位板間距不同，所述限位板的側(cè)壁設(shè)置有插拔孔，所述承載板的底端設(shè)置有用于固定晶舟本體的限位結(jié)構(gòu)，所述支撐座和承載板之間設(shè)置有傳動(dòng)組件。本技術(shù)提高了承載臺(tái)對(duì)晶舟的取放效率，具有了對(duì)圓舟傾斜度的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，降低圓晶取放過(guò)程碰撞、破損的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：王秋華,李昊,李志祥,季成飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江芯植微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240510
技術(shù)公布日：2025/1/6