本技術(shù)屬于晶圓輸送，具體涉及一種下料裝置。

背景技術(shù)：

1、在晶元清洗完畢后，晶圓清洗裝置的內(nèi)部所安裝的機械臂將清洗完畢后的晶圓從清洗艙室中取出并將其放置在花籃里，等待花籃滿籃后進(jìn)行下一步的工序，由于晶圓在清洗的過程中需要處于水平狀態(tài)，對花籃要求也處于水平狀態(tài)，在下料時，由于沒有下料裝置，花籃的開口始終朝向清洗裝置，作業(yè)人員不便于接觸到花籃的開口處，造成搬運不便的問題；同時工作人員直接對平放的花籃進(jìn)行搬運會導(dǎo)致花籃內(nèi)晶圓掉落的問題出現(xiàn)，損壞晶圓，造成損失；

2、因此，為了解決花籃在下料時由于處于水平狀態(tài)導(dǎo)致搬運不便的問題以及作業(yè)人員直接對平放的花籃進(jìn)行搬運導(dǎo)致花籃內(nèi)晶圓掉落的問題，亟需一種下料裝置。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是提供一種下料裝置。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種下料裝置，包括：底架，所述底架的頂部轉(zhuǎn)動設(shè)置有托盤，所述托盤的上部設(shè)置有卡設(shè)組件，所述卡設(shè)組件適于卡設(shè)花籃；傾斜副，所述傾斜副包括驅(qū)動件和聯(lián)動組件；所述驅(qū)動件設(shè)置在所述底架內(nèi)，所述聯(lián)動組件的一端與所述托盤的下部連接，所述聯(lián)動組件的另一端與所述驅(qū)動件的活動端連接；其中所述驅(qū)動件的活動端驅(qū)動聯(lián)動組件一端活動時，所述聯(lián)動組件的另一端驅(qū)動所述托盤在所述底架上傾斜。

3、進(jìn)一步地，所述聯(lián)動組件包括一對第一連桿、一對第二連桿和一對滑動支撐座；所述第一連桿的一端與所述驅(qū)動件的活動端鉸接，所述第一連桿的另一端穿過所述底架的上部且伸出端與所述第二連桿的中部鉸接；所述滑動支撐座設(shè)置在所述底架的上部，所述滑動支撐座上設(shè)置有滑動缺口，所述第二連桿的一端滑動設(shè)置在所述滑動缺口內(nèi)，所述第二連桿的另一端與所述托盤的下部鉸接。

4、進(jìn)一步地，所述第二連桿的一端設(shè)置有滾輪，所述滾輪滾動設(shè)置在所述滑動缺口內(nèi)。

5、進(jìn)一步地，所述托盤的下部設(shè)置有一對聯(lián)動塊；所述第二連桿的另一端設(shè)置有第一聯(lián)動柱，所述第一聯(lián)動柱轉(zhuǎn)動設(shè)置在所述第一聯(lián)動塊內(nèi)。

6、進(jìn)一步地，所述第二連桿的中部轉(zhuǎn)動設(shè)置有第二聯(lián)動柱，所述第一連桿的端部與所述第二聯(lián)動柱鉸接。

7、進(jìn)一步地，所述驅(qū)動件為氣缸，所述活動端設(shè)置在所述氣缸的活塞桿的端部，所述活動端設(shè)置有第三聯(lián)動柱，所述第一連桿的另一端與所述第三聯(lián)動柱鉸接；其中所述氣缸的活塞桿收縮時，所述托盤由水平狀態(tài)向傾斜狀態(tài)轉(zhuǎn)動。

8、進(jìn)一步地，所述底架包括底板和頂板，所述底板和所述頂板之間設(shè)置有若干支撐柱，所述氣缸設(shè)置在所述頂板的下部。

9、進(jìn)一步地，所述頂板的上部設(shè)置有一對支撐塊，所述支撐塊的側(cè)壁設(shè)置有支撐孔；所述托盤的下部設(shè)置有一對鉸接塊，所述鉸接塊的內(nèi)側(cè)設(shè)置有鉸接柱，其中所述鉸接柱轉(zhuǎn)動設(shè)置在所述支撐孔內(nèi)。

10、進(jìn)一步地，所述頂板的上部設(shè)置有至少兩個緩沖器，其中當(dāng)所述托盤處于水平狀態(tài)時，所述緩沖器的活動端適于抵持所述托盤的下部。

11、進(jìn)一步地，所述卡設(shè)組件包括一對抵持塊和一對限位塊，所述抵持塊鏡像設(shè)置在所述托盤的上部，所述花籃的上部適于被所述抵持塊抵持；所述限位塊鏡像設(shè)置在所述托盤的上部，所述限位塊相向設(shè)置有限位缺口，所述花籃的下部適于被所述限位缺口卡設(shè)。

12、本實用新型的有益效果：

13、通過設(shè)置傾斜副，當(dāng)晶圓清洗完后，驅(qū)動件通過驅(qū)動聯(lián)動組件運動從而帶動托盤在所述底架上轉(zhuǎn)動傾斜一定的角度，使花籃處于傾斜狀態(tài)，便于工作人員進(jìn)行花籃的搬運工作，加快了工作效率；同時，有效避免作業(yè)人員直接對平放的花籃進(jìn)行搬運導(dǎo)致花籃內(nèi)晶圓掉落的問題出現(xiàn)，損壞晶圓，避免了損失。

技術(shù)特征：

1.一種下料裝置，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的下料裝置，其特征在于，

3.如權(quán)利要求2所述的下料裝置，其特征在于，

4.如權(quán)利要求3所述的下料裝置，其特征在于，

5.如權(quán)利要求4所述的下料裝置，其特征在于，

6.如權(quán)利要求5所述的下料裝置，其特征在于，

7.如權(quán)利要求6所述的下料裝置，其特征在于，

8.如權(quán)利要求7所述的下料裝置，其特征在于，

9.如權(quán)利要求8所述的下料裝置，其特征在于，

10.如權(quán)利要求1所述的下料裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于晶圓輸送技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種下料裝置，包括：底架，底架的頂部轉(zhuǎn)動設(shè)置有托盤，托盤的上部設(shè)置有卡設(shè)組件，卡設(shè)組件適于卡設(shè)花籃；傾斜副，傾斜副包括驅(qū)動件和聯(lián)動組件；驅(qū)動件設(shè)置在底架內(nèi)，聯(lián)動組件的一端與托盤的下部連接，聯(lián)動組件的另一端與驅(qū)動件的活動端連接；其中驅(qū)動件的活動端驅(qū)動聯(lián)動組件一端活動時，聯(lián)動組件的另一端驅(qū)動托盤在底架上傾斜；通過設(shè)置傾斜副，當(dāng)晶圓清洗完后，驅(qū)動件通過驅(qū)動聯(lián)動組件運動從而帶動托盤在底架上轉(zhuǎn)動傾斜，使花籃處于傾斜狀態(tài)，便于工作人員進(jìn)行花籃的搬運工作，加快了工作效率；同時，有效避免作業(yè)人員直接對平放的花籃進(jìn)行搬運導(dǎo)致花籃內(nèi)晶圓掉落的問題出現(xiàn)，損壞晶圓，避免了損失。

技術(shù)研發(fā)人員：左國軍,蔡嘉雄,孫偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：創(chuàng)微微電子（常州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240511
技術(shù)公布日：2025/1/6