本技術(shù)屬于半導(dǎo)體封裝，具體涉及一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，貼膜機(jī)是用來(lái)貼背面背膠膜，它的工作原理主要包括薄膜供料、膜材貼合以及薄膜切割等步驟，現(xiàn)有的下壓機(jī)構(gòu)硬度較硬，在作業(yè)100um左右厚度的硅片時(shí)，現(xiàn)有的下壓機(jī)構(gòu)容易將硅片壓碎，且在貼膜時(shí)，當(dāng)膜沒(méi)有拉緊時(shí)，硅片與膜之間容易有氣泡產(chǎn)生，影響貼膜的質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的現(xiàn)有的下壓機(jī)構(gòu)硬度較硬，在作業(yè)厚度較薄的硅片時(shí)，容易將硅片壓碎，且在貼膜時(shí)，當(dāng)膜沒(méi)有拉緊時(shí)，硅片與膜之間容易有氣泡產(chǎn)生，影響貼膜的質(zhì)量問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，包括臺(tái)體，所述臺(tái)體的表面安裝有電動(dòng)伸縮桿，所述電動(dòng)伸縮桿的輸出端安裝有按壓柱，所述按壓柱包括安裝板、不銹鋼圓柱和硅膠套，所述安裝板與電動(dòng)伸縮桿的輸出端固定連接，所述不銹鋼圓柱固定連接在安裝板的底面，所述硅膠套固定連接在不銹鋼圓柱的圓弧面上，所述安裝板的側(cè)壁固定連接有連接塊，所述連接塊的底面固定連接有第二電機(jī)，所述第二電機(jī)的輸出端固定連接有長(zhǎng)桿，所述長(zhǎng)桿的圓弧面固定連接有條形板，所述條形板的表面固定連接有橡膠球。

4、優(yōu)選的：所述臺(tái)體的兩側(cè)均固定連接有固定板，兩個(gè)所述固定板的正面均安裝有第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的輸出端固定連接有圓輥，兩個(gè)所述圓輥的圓弧面共同設(shè)有薄膜。

5、優(yōu)選的：所述臺(tái)體的端面固定連接有兩個(gè)立塊，兩個(gè)所述立塊的表面均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有限位輥。

6、優(yōu)選的：兩個(gè)所述限位輥分別位于兩個(gè)圓輥的下方，所述限位輥的圓弧面與薄膜相貼合。

7、優(yōu)選的：所述橡膠球?yàn)榘肭蝮w。

8、優(yōu)選的：所述安裝板的側(cè)壁固定連接有圓筒，所述圓筒的圓弧面開(kāi)設(shè)有矩形孔，所述圓筒的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有壓板，所述圓筒的內(nèi)壁粘接有氣墊，所述壓板的端面固定連接有連接桿，所述連接桿遠(yuǎn)離壓板的一端固定連接有方塊，所述方塊螺紋連接在長(zhǎng)桿的圓弧面上，所述長(zhǎng)桿的圓弧面上設(shè)有螺紋，所述氣墊的表面連通有導(dǎo)管。

9、優(yōu)選的：所述連接桿借助圓筒上的矩形孔貫穿圓筒，所述導(dǎo)管遠(yuǎn)離氣墊一端的截面形狀呈梯形。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

11、1、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置不銹鋼圓柱、硅膠套，通過(guò)增加最外層硅膠的厚度，縮小不銹鋼圓柱外徑，降低按壓柱的整體硬度，來(lái)增加緩沖，減少碎片情況的發(fā)生，可以在不降低氣壓的情況下，通過(guò)降低硬度來(lái)減少接觸力且硅膠墊價(jià)格低廉，容易購(gòu)買(mǎi)和制作，且按壓柱總外徑?jīng)]有變化，這樣在使用過(guò)程中不需要調(diào)節(jié)平臺(tái)高度。

12、2、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置橡膠球、借助橡膠球的柔性，以及半球狀，在貼膜時(shí)能夠先從硅片的中心向周邊慢慢鋪開(kāi)，減少薄膜和硅片之間的氣泡產(chǎn)生，通過(guò)設(shè)置氣墊、借助第二電機(jī)的驅(qū)動(dòng)，只要使用到橡膠球，就會(huì)擠壓到氣墊，通過(guò)擠壓出的氣流對(duì)薄膜上方進(jìn)行送風(fēng)，盡量將此處的灰塵吹向遠(yuǎn)處。

技術(shù)特征：

1.一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，包括臺(tái)體(1)，其特征在于，所述臺(tái)體(1)的表面安裝有電動(dòng)伸縮桿(2)，所述電動(dòng)伸縮桿(2)的輸出端安裝有按壓柱(3)，所述按壓柱(3)包括安裝板(33)、不銹鋼圓柱(31)和硅膠套(32)，所述安裝板(33)與電動(dòng)伸縮桿(2)的輸出端固定連接，所述不銹鋼圓柱(31)固定連接在安裝板(33)的底面，所述硅膠套(32)固定連接在不銹鋼圓柱(31)的圓弧面上，所述安裝板(33)的側(cè)壁固定連接有連接塊(10)，所述連接塊(10)的底面固定連接有第二電機(jī)(11)，所述第二電機(jī)(11)的輸出端固定連接有長(zhǎng)桿(12)，所述長(zhǎng)桿(12)的圓弧面固定連接有條形板(13)，所述條形板(13)的表面固定連接有橡膠球(14)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述臺(tái)體(1)的兩側(cè)均固定連接有固定板(4)，兩個(gè)所述固定板(4)的正面均安裝有第一電機(jī)(5)，所述第一電機(jī)(5)的輸出端固定連接有圓輥(6)，兩個(gè)所述圓輥(6)的圓弧面共同設(shè)有薄膜(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述臺(tái)體(1)的端面固定連接有兩個(gè)立塊(8)，兩個(gè)所述立塊(8)的表面均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有限位輥(9)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，其特征在于：兩個(gè)所述限位輥(9)分別位于兩個(gè)圓輥(6)的下方，所述限位輥(9)的圓弧面與薄膜(7)相貼合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述橡膠球(14)為半球體。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述安裝板(33)的側(cè)壁固定連接有圓筒(15)，所述圓筒(15)的圓弧面開(kāi)設(shè)有矩形孔，所述圓筒(15)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有壓板(17)，所述圓筒(15)的內(nèi)壁粘接有氣墊(16)，所述壓板(17)的端面固定連接有連接桿(18)，所述連接桿(18)遠(yuǎn)離壓板(17)的一端固定連接有方塊(19)，所述方塊(19)螺紋連接在長(zhǎng)桿(12)的圓弧面上，所述長(zhǎng)桿(12)的圓弧面上設(shè)有螺紋，所述氣墊(16)的表面連通有導(dǎo)管(20)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述連接桿(18)借助圓筒(15)上的矩形孔貫穿圓筒(15)，所述導(dǎo)管(20)遠(yuǎn)離氣墊(16)一端的截面形狀呈梯形。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種背膠膜貼膜機(jī)用輔助貼合結(jié)構(gòu)，包括臺(tái)體，所述臺(tái)體的表面安裝有電動(dòng)伸縮桿，所述電動(dòng)伸縮桿的輸出端安裝有按壓柱，所述按壓柱包括安裝板、不銹鋼圓柱和硅膠套，所述安裝板與電動(dòng)伸縮桿的輸出端固定連接，不銹鋼圓柱固定連接在安裝板的底面，硅膠套固定連接在不銹鋼圓柱的圓弧面上。本技術(shù)通過(guò)設(shè)置不銹鋼圓柱、硅膠套，通過(guò)增加最外層硅膠的厚度，縮小不銹鋼圓柱外徑，降低按壓柱的整體硬度，來(lái)增加緩沖，減少碎片情況的發(fā)生，可以在不降低氣壓的情況下，通過(guò)降低硬度來(lái)減少接觸力且硅膠墊價(jià)格低廉，且按壓柱總外徑?jīng)]有變化，這樣在使用過(guò)程中不需要調(diào)節(jié)平臺(tái)高度。

技術(shù)研發(fā)人員：蔣東峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：晶通（高郵）集成電路有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240511
技術(shù)公布日：2024/12/23