本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種晶圓輸送機構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、在晶圓生產(chǎn)制造過程中，通常需要使用晶圓輸送機構(gòu)對晶圓進(jìn)行輸送?，F(xiàn)有技術(shù)中的晶圓輸送機構(gòu)所使用的大多數(shù)驅(qū)動組件為電機驅(qū)動，然而在晶圓搬運過程中需要機械手快速精確的搬運動作，目前采用電機進(jìn)行驅(qū)動機械手的方式響應(yīng)速度較慢，難以適用于晶圓的搬運。同時，電機的驅(qū)動方式由于需要依賴于電力系統(tǒng)，因此，目前采用電機驅(qū)動的機械手環(huán)境適應(yīng)性較差，在強電磁、潮濕的環(huán)境中容易產(chǎn)生較大的動作誤差，甚至宕機的現(xiàn)象。

2、因此，亟需設(shè)計一種晶圓輸送機構(gòu)，來解決以上技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提出一種晶圓輸送機構(gòu)，具有較高的響應(yīng)速度和較高的環(huán)境適應(yīng)能力，提高對晶圓輸送的可靠性和穩(wěn)定性。

2、為達(dá)此目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

3、本實用新型提供一種晶圓輸送機構(gòu)，包括：

4、固定座，所述固定座上設(shè)置有第一弧形通槽；

5、氣缸，所述氣缸設(shè)置在所述固定座上，且所述氣缸的輸出端連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸穿過所述固定座的一端連接有轉(zhuǎn)盤，以使所述轉(zhuǎn)軸能夠帶動所述轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動；

6、機械手，所述機械手設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤上，所述機械手用于夾持并轉(zhuǎn)運晶圓；

7、第一限位件，所述第一限位件的一端與所述轉(zhuǎn)盤連接，另一端穿過所述第一弧形通槽并位于所述固定座的一側(cè)；所述轉(zhuǎn)盤能夠帶動所述第一限位件沿所述第一弧形通槽轉(zhuǎn)動；

8、第二限位件，所述第二限位件設(shè)置在所述固定座上，所述第二限位件被配置為對所述第一限位件進(jìn)行限位。

9、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述第二限位件設(shè)置為兩個，且兩個所述第二限位件分別位于所述第一弧形通槽的兩端處。

10、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述第二限位件上還設(shè)置調(diào)節(jié)件，所述調(diào)節(jié)件和所述第二限位件分別位于所述固定座的相對兩側(cè)面，所述調(diào)節(jié)件的一端穿過所述第一弧形通槽與所述第二限位件連接并能夠?qū)⑺龅诙尬患潭ㄔ谒龉潭ㄗ希凰稣{(diào)節(jié)件配置為調(diào)節(jié)所述第二限位件在所述固定座上的位置。

11、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述晶圓輸送機構(gòu)還包括感應(yīng)擋板、第一固定件和第一位置傳感器，所述感應(yīng)擋板通過所述第一固定件與所述第一限位件遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)盤的一端連接；所述第一位置傳感器與所述第二限位件連接，所述第一位置傳感器用于檢測所述感應(yīng)擋板的位置。

12、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述第一位置傳感器設(shè)置為兩個，且所述第一位置傳感器與所述第二限位件一一對應(yīng)，以使兩個所述第一位置傳感器能夠分別檢測所述感應(yīng)擋板的兩個極限位。

13、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)盤上開設(shè)有安裝孔，所述晶圓輸送機構(gòu)還包括第二固定件，所述第一限位件穿過所述安裝孔并與所述第二固定件連接。

14、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)盤上開設(shè)有第二弧形通槽，所述機械手與所述第二弧形通槽連接。

15、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述機械手包括滾軸、連桿、驅(qū)動架、夾具和架體，所述滾軸可滑動地設(shè)置在所述第二弧形通槽內(nèi)，所述連桿的一端與所述滾軸連接，另一端與所述夾具連接，且所述驅(qū)動架設(shè)置在所述連桿上，所述驅(qū)動架的一側(cè)與所述架體上的導(dǎo)軌滑動連接，且所述導(dǎo)軌豎直設(shè)置。

16、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述驅(qū)動架內(nèi)設(shè)置有容置腔室，所述容置腔室內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動件、推桿和夾持塊，所述推桿的一端與所述夾持塊連接，所述推桿的另一端與所述驅(qū)動件連接，所述夾具上具有至少兩個夾持點，所述驅(qū)動件能夠帶動所述推桿使所述夾持塊與至少兩個所述夾持點共同夾持住所述晶圓。

17、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述容置腔室的底壁設(shè)置有滑軌和第二位置傳感器，所述推桿與所述滑軌滑動連接，所述推桿上設(shè)置有感應(yīng)片，所述第二位置傳感器用于檢測所述感應(yīng)片的位置。

18、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)軸伸出所述轉(zhuǎn)盤的一端設(shè)置有第三限位件，所述第三限位件被配置為防止所述轉(zhuǎn)軸上的軸承脫落。

19、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述固定座上還設(shè)置有角度標(biāo)識，所述角度標(biāo)識位于所述第一弧形通槽的上方。

20、作為一種晶圓輸送機構(gòu)的可選技術(shù)方案，所述晶圓輸送機構(gòu)還包括第三固定件，所述第三固定件穿設(shè)于所述固定座上，以將所述固定座固定在架體上。

21、本實用新型的有益效果至少包括：

22、本實用新型提供一種晶圓輸送機構(gòu)，該晶圓輸送機構(gòu)包括固定座、氣缸、機械手、轉(zhuǎn)盤、轉(zhuǎn)軸、第一限位件和第二限位件。其中，固定座上設(shè)置有第一弧形通槽。氣缸設(shè)置在固定座上，且氣缸的輸出端連接有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸穿過固定座的一端連接有轉(zhuǎn)盤，以使轉(zhuǎn)軸能夠帶動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動。機械手設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上，機械手用于夾持并轉(zhuǎn)運晶圓。第一限位件的一端與轉(zhuǎn)盤連接，另一端穿過第一弧形通槽并位于固定座的一側(cè)；轉(zhuǎn)盤能夠帶動第一限位件沿第一弧形通槽轉(zhuǎn)動。第二限位件設(shè)置在固定座上，第二限位件被配置為對第一限位件進(jìn)行限位。本實用新型中的晶圓輸送機構(gòu)通過氣缸對轉(zhuǎn)軸進(jìn)行驅(qū)動，相比于現(xiàn)有技術(shù)中的電機驅(qū)動，本實用新型中以氣缸作為驅(qū)動源，使得該晶圓輸送機構(gòu)具有較高的響應(yīng)速度和較高的環(huán)境適應(yīng)能力，能夠提高對晶圓輸送的可靠性和穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述第二限位件(600)設(shè)置為兩個，且兩個所述第二限位件(600)分別位于所述第一弧形通槽(110)的兩端處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述第二限位件(600)上還設(shè)置調(diào)節(jié)件(610)，所述調(diào)節(jié)件(610)和所述第二限位件(600)分別位于所述固定座(100)的相對兩側(cè)面，所述調(diào)節(jié)件(610)的一端穿過所述第一弧形通槽(110)與所述第二限位件(600)連接并能夠?qū)⑺龅诙尬患?600)固定在所述固定座(100)上；所述調(diào)節(jié)件(610)配置為調(diào)節(jié)所述第二限位件(600)在所述固定座(100)上的位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述晶圓輸送機構(gòu)還包括感應(yīng)擋板(700)、第一固定件(800)和第一位置傳感器(900)，所述感應(yīng)擋板(700)通過所述第一固定件(800)與所述第一限位件(500)遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)盤(400)的一端連接；所述第一位置傳感器(900)與所述第二限位件(600)連接，所述第一位置傳感器(900)用于檢測所述感應(yīng)擋板(700)的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述第一位置傳感器(900)設(shè)置為兩個，且所述第一位置傳感器(900)與所述第二限位件(600)一一對應(yīng)，以使兩個所述第一位置傳感器(900)能夠分別檢測所述感應(yīng)擋板(700)的兩個極限位。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤(400)上開設(shè)有安裝孔(410)，所述晶圓輸送機構(gòu)還包括第二固定件，所述第一限位件(500)穿過所述安裝孔(410)并與所述第二固定件連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤(400)上開設(shè)有第二弧形通槽(420)，所述機械手(10)與所述第二弧形通槽(420)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述機械手(10)包括滾軸(11)、連桿(12)、驅(qū)動架(13)、夾具(14)和架體(20)，所述滾軸(11)可滑動地設(shè)置在所述第二弧形通槽(420)內(nèi)，所述連桿(12)的一端與所述滾軸(11)連接，另一端與所述夾具(14)連接，且所述驅(qū)動架(13)設(shè)置在所述連桿(12)上，所述驅(qū)動架(13)的一側(cè)與所述架體(20)上的導(dǎo)軌(21)滑動連接，且所述導(dǎo)軌(21)豎直設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動架(13)內(nèi)設(shè)置有容置腔室(131)，所述容置腔室(131)內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動件(132)、推桿(133)和夾持塊(134)，所述推桿(133)的一端與所述夾持塊(134)連接，所述推桿(133)的另一端與所述驅(qū)動件(132)連接，所述夾具(14)上具有至少兩個夾持點(141)，所述驅(qū)動件(132)能夠帶動所述推桿(133)使所述夾持塊(134)與至少兩個所述夾持點(141)共同夾持住所述晶圓。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述容置腔室(131)的底壁設(shè)置有滑軌(135)和第二位置傳感器(136)，所述推桿(133)與所述滑軌(135)滑動連接，所述推桿(133)上設(shè)置有感應(yīng)片(137)，所述第二位置傳感器(136)用于檢測所述感應(yīng)片(137)的位置。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸(300)伸出所述轉(zhuǎn)盤(400)的一端設(shè)置有第三限位件(320)，所述第三限位件(320)被配置為防止所述轉(zhuǎn)軸(300)上的軸承(310)脫落。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述固定座(100)上還設(shè)置有角度標(biāo)識(120)，所述角度標(biāo)識(120)位于所述第一弧形通槽(110)的上方。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓輸送機構(gòu)，其特征在于，所述晶圓輸送機構(gòu)還包括第三固定件(130)，所述第三固定件(130)穿設(shè)于所述固定座(100)上，以將所述固定座(100)固定在架體(20)上。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓輸送機構(gòu)。該晶圓輸送機構(gòu)包括固定座、氣缸、機械手、轉(zhuǎn)盤、轉(zhuǎn)軸、第一限位件和第二限位件。其中，固定座上設(shè)置有第一弧形通槽。氣缸設(shè)置在固定座上，且氣缸的輸出端連接有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸穿過固定座的一端連接有轉(zhuǎn)盤，以使轉(zhuǎn)軸能夠帶動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動。機械手設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上，機械手用于夾持并轉(zhuǎn)運晶圓。第一限位件的一端與轉(zhuǎn)盤連接，另一端穿過第一弧形通槽并位于固定座的一側(cè)。第二限位件設(shè)置在固定座上，第二限位件被配置為對第一限位件進(jìn)行限位。本技術(shù)中以氣缸作為驅(qū)動源，使得該晶圓輸送機構(gòu)具有較高的響應(yīng)速度和較高的環(huán)境適應(yīng)能力，提高對晶圓輸送的可靠性和穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：崔致元
受保護(hù)的技術(shù)使用者：晶合特半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240517
技術(shù)公布日：2025/1/2